Патгиг-о. ,^^ гехнич?с;;л$] ^^-библногека

 

256879

ОПИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республин

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 2lg, 11/02

Заявлено 29.111.1968 (№ 1228700/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.XI.1969. Бюллетень № 35

Дата опубликования описания 16.Ж.1970

Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров

СССР

МПК Н 011

УДК 621.382.2/3 (088.8) <- . Ст ж. я1- т-.

П..ЛГ11 т;,,т

ЬИБЛйj д>,;, „

В. М. Эпельман, В. М. Ходяк и H. И. Калиневич )g

Авторы изобретения

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФИКСАЦИИ СЛИТКА

Устройство относится к области производства полупроводниковых материалов и может быть использовано, например, в установках, осуществляющих зонную перекристаллизацию или вытягивание монокристаллов из расплава по методу Чохральского.

В полупроводниковой промышленности применяются установки для производства полупроводниковых материалов, например, типа

«Кристалл».

Известное устройство для фиксации слитка представляет собой два вертикально расположенных цилиндрических штока, нижний из которых имеет конусную верхнюю часть, на которую надевается через графитовую втулку цанговый зажим. Конусная графитовая втулка, установленная между штоком и цанговым зажимом, предназначена для проскальзывания цангового зажима при «подмораживании» зоны, предотвращая этим поломку затравки.

Цанговый зажим, будучи надет на шток, значительно превышает его диаметр, что не дает возможности полностью использовать производительность установки, так как патроны упираются в днище вакуумной камеры, не позволяя штокам перемещаться на полную длину рабочего хода. Кроме того, узел проскальзывания существующего устройства недостаточно надежен в работе, так как происходит заклинивание узла или пригорание графитовой втулки к штоку и цанговому зажиму, что при «подморажива ии» зоны ылечет за собой поломку затравки.

В предложенном устройстве для повышения надежности работы узел проскальзывания выполнен в виде втулки с размещенными внутри нее подшипниками качения, вмонтированной в углубление торцовой части несущего штока.

Подшипники надеты на палец, являющийся продолжением корпуса цангового зажима.

На чертеже показано устройство для фиксирования слитка.

Устройство представляет собой водоохлаждаемый шток I, имеющий в торцовой части цилиндрическое углубление с нарезанной внутренней резьбой, куда ввернута втулка 2 с размещенными внутри Нее двумя подшипниками

8 и 4, разделенными упорной шайбой 5. На подшипниках закреплен корпус 6 цангового зажима с. помощью резьбового пальца, являющегося его продолжением. Корпус 6 имеет цилиндрическое резьбовое углубление, аналогичное углублению в штоке 1, куда ввернута обойма 7 цангового зажима с внутренним конусом, в объеме которого расположены сухари 8. Втулка 2, корпус 6 и обойма 7 имеют лыски под ключ.

Устройство работает следующим образом.

Вращенньш в слиток молибденовый хвостоЗО вик вставляется между сухарями 8 и заворачиванием обоймы 7 зажимается в цанговом

256879

Предмет изобретения

3

Редактор Н. С. Коган

Заказ 737/13 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 зажиме верхнего штока. В цанговом зажиме нижнего штока таким же образом закрепляется затравка, которая затем сплавляется со слитком. Во время перекристализации слитка. например, зонной плавкой верхний и нижний штоки вращаются в противоположных направлениях с целью интенсивного перемешивания расплавленной зоны. При этом ввиду того, что сопротивление вращению подшипников 8 и 4 больше, чем сопротивление разрыву пленки поверхностного натяжения расплавленного металла, проворачивания подшипников не происходит. Если происходит «подмораживание» зоны, т. е. когда из-за недостаточной мощности подогрева металл из жидкого состояния переходит в твердое, перемешивание зоны прекращается, а верхняя часть слитка совместно с корпусом б цангового зажима приводится во вращение нижним штоком, про. ворачивая подшипники. По окончании плавки цанговые зажимы поочередно разжимают, и слиток извлекается.

Устройство для фиксации слитка к установкам, производящим полупроводниковые м ате10 риалы, содержащее подающий шток, узел проскальзывания, цанговый зажим, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы, узел проскальзывания вмонтирован в углубление торцовой части несущего штока и

15 выполнен в виде втулки с размещенными внутри нее подшипниками качения, надетыми на палец, являющийся продолжением корпуса цангового зажима.

Составитель В. В. Шведова

Техред Т. П. Курилко Корректор В. И. )Колудева

Патгиг-о. ,^^ гехнич?с;;л$] ^^-библногека Патгиг-о. ,^^ гехнич?с;;л$] ^^-библногека 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технологии выращивания монокристаллов методом Чохральского

Изобретение относится к области выращивания высококачественных чистых монокристаллических материалов, прежде всего полупроводниковых, и может быть использовано, в частности, в установках для получения бездислокационных монокристаллов кремния разного диаметра и длины методами бестигельной зонной плавки (БЗП), Чохральского и другими

Изобретение относится к области выращивания высококачественных, чистых монокристаллических материалов, прежде всего - полупроводниковых и может быть использовано, в частности, при получении бездислокационных монокристаллов кремния разного диаметра и длины методом бестигельной зонной плавки

Изобретение относится к оборудованию для получения полупроводниковых материалов и может быть использовано в установках для выращивания монокристаллов на затравку, например, кремния методом Чохральского

Изобретение относится к получению полупроводниковых материалов, в частности к получению стержней поликристаллического кремния как исходного сырья для выращивания монокристаллов кремния

Изобретение относится к технологии получения монокристаллов тугоплавких оксидов методом Чохральского

Изобретение относится к устройствам для выращивания монокристаллов методом Чохральского и может быть использовано в электронной технике
Наверх