Техяичеснал -" бкб^шотекал. с. агроскин

Авторы патента:

G02B21 - Микроскопы (окуляры G02B 25/00; поляризующие оптические системы G02B 27/28; измерительные микроскопы G01B 9/04; микротомы G01N 1/06; исследование или анализ поверхностных структур в атомном диапазоне с использованием метода сканирующего зонда, например метод с использованием сканирующего туннельного микроскопа или оптического микроскопа, сканирующего в ближней зоне G01N 13/10; конструктивные детали устройств сканирующих зондов вообще G12B 21/00)

G01J1/36 - с использованием электрических детекторов излучения

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

257067

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 15.VII.1968 (№ 1258054/18-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.Х1.1969. Бюллетень № 35

Дата опубликования описания З.IV.1970

Кл. 42h, 17/02 трс4 д (п напк о оц7IQ

УДК 535.242.2 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Автор пзобретени

Заявитель

ДВУХКАНАЛЬНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ МИКРОСКОП-ФОТОМЕТР

Изобретение относится к области оптикомеханической промышленности, а именно, к двухканальным сканирующим микроскоп-фотометрам.

Известные двухканальные сканирующие фотометры с каналами сравнения и измерения, содержащие источник излучения, разделитель световых пучков, сканирующий элемент, контролируемый объект, оптические клинья-компенсаторы и устройство с фотоэлектрической регистрацией, не обеспечивают получения высокой точности измерений и фиксирования координат измеряемых точек.

В предлагаемом устройстве компенсационный кольцевой клин с приводом для непрерывного вращения в канале сравнения снабжен датчиком, периодически вырабатывающим импульсы в момент равенства опорного и измерительного сигналов, с преобразователем «положение-цифра», регистрирующим положение кольцевого клина iB момент ра венства этих сигналов, и датчиком для фиксации моментов окончания каждого цикла измерений, импульсы которого используются для управления сканирующим элементов.

Блок-схема предлагаемого двуканального микро" коп-фотометра показана на чертеже.

Он содержит измерительную ветвь и ветвь сравнения, Измерительная ветвь состоит из осветител;

1, сканирующего устройства 2, микроскопа с исследуемым объектом и приемника 4.

Оптическая .ветвь сравнения состоит и: светоделителей 5 и б зеркал 7 и 8. Разделе ние световых потоков происходит дисковых модулятором 9. Переменный сигнал, возни кающий на выходе приемника 4, усиливаетст в блоке 10 и поступает на схему сравнени

10 11, где сравниваются измерительный сигна; с опорным.

Для реализации принципа оптической ком пенсации в ветвь сравнения,введен оптиче ский клиновой ослабитель 12, выполненный т

15 виде кольца. При помощи двигателя 18 этот клин совершает непрерывное вращение плоскости, перпендикулярной лучу, и таких образом периодически изменяет ахтплитуд сигнала сравнения в соответствии с измене

20 нием прозрачности. В момент равенства ам плитуд обеих сигналов схема сравнения 1i вырабатывает импульс на регистрацию поло жения клина. При помощи преобразователт. угол вЂ” код 14 это положение фиксируется г25 выхсдном блоке 15 в цифровой фсрме. Величины, регистрируемые в блоке 15, могут быть выражены непосредственно в единицах оптической плотности, поскольку угоч поворота клина однозначно связан с его плотностью.

30 В ветви сравнения предусмотрен другой кли257067

Редактор М. Афанасьева

Составитель Колибрииа Корректор В. И. Жолудева

Заказ 711/11

Тираж 480

Подписное

ЦНИИПИ

Типография, пр, Сапунова, 2 звой ослабитель 1б для начальной балансиовки ветвей в отсутствие объекта, Помимо преобразователя угол вЂ” код мехаизм клина содержит датчик 17, который выабатывает импульсы по окончании каждого змерительного цикла. Эти импульсы управяют шаговым механизмом 18 строчной разертки сканирующего устройства 2. Положеие сканирующего элемента через преобразоате чь 19 регистрируется в блоке,15 как кордйната Х измеряемой точки объекта. Шазвый механизм 20 кадровой развертки упавляется в зависимости от программы кажым и-ным импульсом строчной развертки.

1ри помощи преобразователя 21 положение канирующего элемента по кадру отмечается блоке 15 как координата У измеряемой очки объекта. ф В

Таким образом, каж 1ой и1меденное значеие оптической пдс1тнос и,.1оуаЖвается снаб<енным координатами соответствующей точ.и поля и может бь1ть зБфМсировано в циф овой форме.

Средняя оптическая характеристика поля, авная сумме всех отсчетов, деленной на число отсчетов, параллельно регистрируется интегратором 22.

Предмет изобретения

5 Двухканальный сканирующий микроскопфотометр с каналами сравнения и измерения, содержащий источник излучения, микроскоп, сканирующий элемент, разделитель световых потоков, зеркала, компенсационные клинья, 10 фоторегистрирующий блок со схемой выделения полезного сигнала, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений в цифровой форме с одновременным фиксированием координат измеряемых точек, компен15 сационный кольцевой клин с приводом для непрерывного вращения в канале сравнения снабжен датчиком, периодически вырабатывающим импульсы в момент равенства опорного и измерительного cHI íàëîâ, с преобра20 зователем «положение вЂ” цифра», регистрирующим положение кольцевого клина,в момент равенства этих сигналов, и датчиком для фиксации моментов окончания каждого цикла измерений, импульсы которого исполь25 зуются для управления сканирующим элементом.