Устройство для обнаружения течи в высоковакуумных объектах
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
257095
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”
Заявлено 12 11.1968 (¹ 1239273/18-10) с присоединением заявки ЛЪ—
Приоритет
Опубликовано 11.Х1,1969. Бюллетень № 35
Дата опубликования описания 10.1 .1970
Кл. 42к, 30/01
Комитет по лелам
МПК О 011
УД К 533.599.2 (088,8) изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБНАРУ)КЕНИЯ ТЕт1И
В В Ь! СО КО ВАКУУМ Н Ь1Х ОБЪЕКТАХ
Изобретение относится к устройствам контроля параметров.
Известны устройства для обнаружения течи в высоковакуумных объектах, содержащие индикатор течи, присоединенный к исследуемому объекту, вакуумный натекатель и блок регистрации.
Однако эти устройства cJIO?KHbl по конструкции и не позволяют обнаружить сверхмалые течи.
Цель настоящего изобретения — повышение чувствительности и упрощение конструкции устройства.
Это достигается тем, что индикатор течи выполнен в виде вакуумной камеры с вакуумплотным окном, прозрачным для теплового излучения, возникающего при окислении поверхности помещенного в ней датчика парциального давления кислорода, выполненного в виде пластины монокристаллического кремния, с системой очистки его поверхности от адсорбированных газов, а приемник теплового излучения блока регистрации, например болометр, установлен вне вакуумной камеры.
На чертеже представлена блок-схема описываемого устройства.
Устройство содержит индикатор 1 течи, присоединенный к исследуемому объекту 2, выполненный в виде вакуумной камеры 8, в которой установлен датчик 4 парциального давления кислорода, выполненный в виде пластины монокристаллического кремния, с системой очистки его поверхности от адсорбированных газов 5.
Вакуумная камера 8 снабжена вакуумноплотным окном 6, прозрачным для теплового излучения, и соединена с вакуумным натекателем 7.
Блок 8 регистрации течи содержит прием10 ник теплового излучения (болометр) 9, установленный вне вакуумной камеры 3 и подсоединенный к регистратору 10.
Принцип работы устройства основан на измерении парциального давления кислорода
15 путем регистрации теплового излучения, возчикающего при окислении чистой поверхности монокристаллического кремния.
Для обнаружения течи к исследуемому объекту 2 присоединен индикатор течи, ва20 куумная камера которого откачана до давления " 10 > торр.
В вакуумной камере 3 размещен предварительно обезгаженный датчик парцпального давления кислорода, выполненный в виде
25 пластины монокристаллического кремния. .В вакуумную камеру с помощью вакуумно. го натекания 7 напускается спектрально чистый кислород до давления 10 4 — 10 — < торр.
Тепловое излучение, сопровождающее про30 цесс взаимодействия молекул кислорода с
257095
Предмет изобретения
Составитель О. Полев
Редактор С. И. Хейфиц Техред А. A. Камышиикова Корр ктор Л. И. Гаврилова
Заказ 730/1! Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4,5
Типография. пр. Сапунова, 2 поверхностью кремния, проходит через вакуумплотное окно 6 и регистрируется болометром 9. Электрический сигнал, снимаемый с болометра 9, регистрируется регистратором
10.
При наличии течи в исследуемом объекте
2 изменяется уровень кислорода и его парциальное давление, по изменению которого можно определять натекания в проверяемом объекте.
Устройство для обнаружения течи в высоковакуумных объектах, содержащее индикатор течи, присоединенный к исследуемому объекту, вакуумный натекатель и блок регистрации, отличаюьцееся тем, что, с целью повышения чувствительности и упрощения
5 конструкции, в нем индикатор течи выполнен в виде вакуумной камеры с вакуумплотHbI) окном, прозрачным для теплового излучения, возникающего при окислении поверхности помещенного в ней датчика парциаль10 ного давления кислорода, выполненного в виде пластины монокристаллического кремния, с системой очистки его поверхности от адсорбированных газов, а приемник теплового излучения блока регистрации, например боло15 метр, установлен вне вакуумной камеры.
