Трафарет для высверливания отверстий

Изобретение относится к трафарету для высверливания отверстий, который применяют при высверливании отверстий в слоистом материале, плакированном медью, или в многослойной плате. Трафарет выполнен из металлической фольги с нанесенным на по меньшей мере одну ее сторону слоем композиции (В) водорастворимого полимера, содержащей 100 мас. ч. смеси (А) водорастворимого полимера, включающей от 80 до 98 мас. ч. полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляет от 15000 до 35000, и от 2 до 20 мас. ч. полиэтиленоксида, среднечисловая молекулярная масса которого составляет от 50000 до 200000, и от 0,1 до 5 мас. ч. по меньшей мере одного водорастворимого вещества, выбираемого из группы, состоящей из многоатомных спиртов, аминокислотных производных спиртов, органических кислот и солей органических кислот. Изобретение позволяет обеспечить более высокую точность расположения отверстий, понизить вероятность намотки полимера на сверло и обеспечить более низкую частоту поломок сверла за счет улучшения самопроизвольного извлечения стружки, получаемой при сверлении. 4 з.п. ф-лы, 1 табл., 9 пр.

 

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ

Настоящее изобретение относится к трафарету (листу со схемой расположения отверстий) для высверливания отверстий, который применяют при высверливании отверстий в слоистом материале, плакированном медью, или в многослойной печатной плате.

ПРЕДШЕСТВУЮЩИЙ УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ

Общепринятым способом высверливания отверстий в слоистом материале, плакированном медью, или в многослойной печатной плате, применяемой для изготовления платы с печатным монтажом, является способ, в соответствии с которым обычную алюминиевую фольгу или лист, полученный нанесением слоя полимерной композиции на поверхность алюминиевой фольги (далее в предлагаемом описании этот лист в общем случае называется "трафаретом для высверливания отверстий"), помещают как трафарет на верхнюю поверхность слоистого материала, плакированного медью, многослойной печатной платы или пачки из двух или более слоистых материалов, плакированных медью, или многослойных печатных плат, перед высверливанием отверстий. Что касается материалов для плат с печатным монтажом, то в связи с наблюдаемым в последнее время ужесточением требований к надежности устройств и в связи с уменьшением их размеров ужесточились требования к качеству и точности расположения отверстий, а также к гладкости стенок получаемых отверстий. Для соответствия указанным требованиям были предложены и внедрены следующие способы и устройства: способ получения отверстий, включающий применение листа, изготовленного из водорастворимого полимера, например полиэтиленгликоля (см., например, Патентный документ 1), лист, включающий смазочный материал, для изготовления отверстий, получаемый нанесением слоя водорастворимого полимера на металлическую фольгу (см., например, Патентный документ 2), и трафарет для получения отверстия, изготовляемый нанесением тонкого покрытия из термореактивного полимера на алюминиевую фольгу с последующим образованием слоя водорастворимого полимера (см., например, Патентный документ 3). В последнее время в связи с уменьшением размеров плат с печатным монтажом ужесточаются требования к надежности передачи тока между изготовленными отверстиями в слоистом материале, плакированном медью, или в многослойной печатной плате. Для соответствия этому требованию необходимо дальнейшее повышение точности расположения отверстий. Кроме того, также необходимо снизить вероятность поломки сверла посредством снижения вероятности намотки полимера на сверло во время сверления, то есть повысить производительность способа. Таким образом, имеется необходимость в изготовлении трафарета для высверливания отверстий, формуемого из слоя водорастворимого полимера, применение которого позволило бы повысить точность расположения отверстий и снизить вероятность намотки полимера на сверло во время сверления.

Документы предшествующего уровня техники

Патентный документ 1: JP-A-4-92494

Патентный документ 2: JP-A-5-169400

Патентный документ 3: JP-A-2003-136485

СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Задачи, решаемые изобретением

Задача настоящего изобретения состоит в создании трафарета для высверливания отверстий, обеспечивающего более высокую точность расположения отверстий по сравнению с традиционными трафаретами для высверливания отверстий, пониженную вероятность намотки полимера на сверло и более низкую частоту поломок сверла за счет улучшения самопроизвольного извлечения стружки, получаемой при сверлении.

Способы решения задач

Для достижения поставленной цели авторы настоящего изобретения провели ряд серьезных исследований и обнаружили, что трафарет для высверливания отверстий, получаемый нанесением композиции (В) водорастворимого полимера, содержащей особый полиэтиленгликоль, особый полиэтиленоксид и особое водорастворимое вещество, на поверхность металлической фольги позволяет выполнить поставленную задачу. Таким образом, настоящее изобретение относится к трафарету для высверливания отверстий в слоистом материале, плакированном медью, и при этом трафарет получают интегральным нанесением композиции (В) водорастворимого полимера, содержащей смесь (А) водорастворимого полимера, включающую от 80 до 98 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляет от 15000 до 35000, и от 2 до 20 масс. частей полиэтиленоксида, среднечисловая молекулярная масса которого составляет от 50000 до 200000, и по меньшей мере одно водорастворимое вещество, выбираемое из группы, состоящей из многоатомных спиртов, аминокислотных производных спиртов, органических кислот и солей органических кислот, в количестве, составляющем от 0,1 до 5 масс. частей в пересчете на 100 масс. частей смеси (А) водорастворимого полимера, на по меньшей мере одну сторону металлической фольги.

Полидисперсность (Mw/Mn) полиэтиленоксида, содержащегося в смеси (А) водорастворимого полимера согласно настоящему изобретению, предпочтительно составляет 2,5 или менее. Смесь (А) водорастворимого полимера согласно настоящему изобретению предпочтительно дополнительно содержит водорастворимый смазочный полимер в количестве, составляющем от 1 до 80 масс. частей в пересчете на 100 масс. частей общего количества полиэтиленгликоля и полиэтиленоксида, и среднечисловая молекулярная масса водорастворимого смазочного полимера предпочтительно составляет 15000 или менее, а вязкость расплава при 100°С составляет 10 Па·с или менее.

Кроме того, толщина металлической фольги в трафарете для высверливания отверстий согласно настоящему изобретению предпочтительно составляет от 0,05 до 0,5 мм, и толщина слоя композиции (В) водорастворимого полимера, нанесенной на по меньшей мере одну сторону металлической фольги, предпочтительно составляет от 0,02 до 0,3 мм.

Положительный эффект изобретения

Применение трафарета для высверливания отверстий согласно настоящему изобретению уменьшает вероятность намотки полимера на сверло и улучшает самопроизвольное удаление стружки, получаемой при высверливании отверстий, что позволяет повысить точность расположения отверстий при высверливании и снизить вероятность поломки сверла. Таким образом, изобретение позволяет высверливать отверстия с высоким качеством и производительностью.

СВЕДЕНИЯ, ПОДТВЕРЖДАЮЩИЕ ВОЗМОЖНОСТЬ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Настоящее изобретение относится к трафарету для высверливания отверстий, включающему металлическую фольгу и слой композиции (В) водорастворимого полимера, содержащей смесь (А) водорастворимого полимера и водорастворимого вещества, нанесенный на по меньшей мере одну сторону металлической фольги.

В общем случае молекулярная масса полимера означает среднее значение различных молекулярных масс полимера. Способ вычисления средней молекулярной массы обычно состоит в вычислении среднечисловой молекулярной массы, Мn, которую вычисляют как среднюю молекулярную массу на одну молекулу или как среднемассовую молекулярную массу, Mw, которую вычисляют делением массы на массу. Согласно настоящему изобретению за значение молекулярной массы принято значение, измеряемое с помощью гельпроникающей хроматографии (ГПХ).

Способ измерения среднечисловой молекулярной массы согласно настоящему изобретению включает проведение измерений при помощи водной ГПХ. При проведении измерений колонки ShodexSB-G, ShodexSB-803HQ и ShodexSB-806MHQ (поставляемые Showa Denko К.К.) выстраивают последовательно. Измерения выполняют на дифференциальном рефрактометре (RID-6A, поставляемом Shimadzu Corporation), применяя в качестве носителя для анализируемых образцов водный раствор NaCl концентрацией 50 мМ в следующих условиях: впрыскиваемое количество - 20 мкл, скорость потока - 0,7 мл/мин и температура печи - 35°С. Среднечисловую молекулярную массу и среднемассовую молекулярную массу полимерного соединения вычисляли с помощью набора, включающего в качестве стандарта полиэтиленгликоль (поставляется Polymer Laboratories Ltd.).

Полидисперсность, Mw/Mn, вычисляли делением среднемассовой молекулярной массы Mw полимерного соединения, имеющего разброс молекулярной массы, на среднечисловую молекулярную массу Мn полимерного соединения. По мере повышения полидисперсности распределение молекулярной массы становится шире. По мере понижения полидисперсности распределение молекулярной массы сужается.

В качестве водорастворимой смеси полимеров для изготовления трафарета для высверливания отверстий согласно настоящему изобретению применяют смесь полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляет от 15000 до 35000, предпочтительно от 18000 до 25000, и полиэтиленоксида, среднечисловая молекулярная масса которого составляет от 50000 до 200000, предпочтительно от 60000 до 150000. Что касается используемого количества смеси, то количество полиэтиленгликоля составляет от 80 до 98 масс. частей, а количество полиэтиленоксида составляет от 2 до 20 масс. частей. Если среднечисловая молекулярная масса полиэтиленгликоля не находится в вышеуказанном диапазоне, то происходит нежелательное повышение хрупкости слоя композиции (В) водорастворимого полимера, что может снижать точность расположения отверстий и повышать количество полимера, наматываемого на сверло. Если среднечисловая молекулярная масса полиэтиленоксида не находится в вышеуказанном диапазоне, что нежелательно, то может повышаться вероятность поломки сверла из-за повышения количества полимера, наматываемого на сверло, или может снижаться точность расположения отверстий. Если количество полиэтиленгликоля составляет менее 80 масс. частей, что нежелательно, то происходит намотка полимера на сверло, что вызывает такие отрицательные последствия, как снижение точности расположения отверстий и поломку сверла. Если это количество составляет более 98 масс. частей, то композиция (В) водорастворимого полимера становится хрупкой, и из нее невозможно сформовать лист, и также может снижаться точность расположения отверстий.

Согласно настоящему изобретению полидисперсность полиэтиленоксида в общем случае составляет 2,5 или менее, предпочтительно 2,0 или менее. Если полидисперсность полиэтиленоксида превышает 2,5, то повышается количество полимера, наматываемого на сверло, что вызывает такие отрицательные последствия, как снижение точности расположения отверстий и поломку сверла.

Выбор водорастворимого вещества, применяемого согласно настоящему изобретению, не имеет особых ограничений, если это водорастворимое вещество выбрано из группы, состоящей из многоатомных спиртов, аминокислотных производных спиртов, органических кислот и солей органических кислот. Водорастворимое вещество может быть использовано как таковое или, при необходимости, в смеси по меньшей мере двух различных водорастворимых веществ. Что касается предпочтительных примеров водорастворимых веществ, то предпочтительные примеры многоатомных спиртов включают триметилолпропан, пентаэритрит, неопентилгликоль, триметилолэтан, сорбит, ксилит и инозит; предпочтительные примеры аминокислотных производных спиртов включают тирозин и гликозиламин; предпочтительные примеры органических кислот включают яблочную кислоту, малоновую кислоту, янтарную кислоту, фумаровую кислоту, малеиновую кислоту, муравьиную кислоту, уксусную кислоту, пропионовую кислоту и стеариновую кислоту; и предпочтительные примеры солей органических кислот включают соли металлов вышеуказанных органических кислот. Количество водорастворимого вещества составляет от 0,1 до 5 масс. частей, предпочтительно от 0,3 до 4 масс. частей в пересчете на 100 масс. частей смеси (А) водорастворимого полимера. Если количество водорастворимого вещества не находится в вышеуказанном диапазоне, происходит нежелательное повышение количества полимера, наматываемого на сверло при высверливании отверстий, снижение точности расположения отверстий, или может произойти поломка сверла.

Согласно настоящему изобретению, дополнительное введение водорастворимого смазочного полимера в смесь (А) водорастворимого полимера, которая представляет собой смесь полиэтиленгликоля и полиэтиленоксида, повышает точность расположения отверстий при их высверливании, а также облегчается самопроизвольное удаление стружки, получаемой при высверливании отверстий, и снижается вероятность поломки сверла.

В качестве водорастворимого смазочного полимера, применяемого для изготовления трафарета для высверливания отверстий согласно настоящему изобретению, предпочтительно применение водорастворимого смазочного полимера, среднечисловая молекулярная масса которого составляет 15000 или менее. Кроме того, предпочтительно, водорастворимый смазочный полимер имеет структуру, в которой заместитель расположен на концевой группе полиоксиалкилена. Предпочтительно, в качестве заместителя выбирают группу или по меньшей мере две разные группы, выбираемые из группы, состоящей из простого эфира, аминогруппы, амидной группы и сложноэфирной группы. Группа простого эфира предпочтительно представляет собой стеариловый эфир, олеиловый эфир, изостеариловый эфир, фениловый эфир или подобные им группы. Аминогруппа предпочтительно представляет собой первичный алкиламин, вторичный алкиламин или подобные им группы. Амидная группа предпочтительно представляет собой алкиламид или подобные ему группы. Сложноэфирная группа предпочтительно представляет собой эфир жирной кислоты, эфир жирной дикислоты или подобные им группы. Кроме того, вязкость расплава водорастворимого смазочного полимера при 100°С предпочтительно составляет 10 Па·с или менее. Если вязкость расплава водорастворимого смазочного полимера превышает 10 Па·с, то повышается количество полимера, наматываемого на сверло, то есть повышается вероятность снижения точности расположения отверстий и вероятность поломки сверла. Кроме того, также предпочтительно добавление в качестве смазочного материала таких соединений, как эфир жирной кислоты и сорбита или эфир олеиновой кислоты.

Количество водорастворимого смазочного полимера составляет от 1 до 80 масс. частей в пересчете на 100 масс. частей общего количества полиэтиленгликоля и полиэтиленоксида.

Испытательное устройство для измерения вязкости расплава водорастворимого смазочного полимера представляет собой устройство, включающее цилиндр, имеющий нагревательный элемент, в нижней части внутреннего отверстия которого установлен заменяемый капилляр. К расплавленному образцу, заполняющему цилиндр, прикладывают давление испытания, нагнетая воздух. Калибр капилляра составляет 0,5 мм, а его длина составляет 10,0 мм. Условия измерения были следующими: температура испытания составляла 100°С, а давление испытания составляло 980000 Па.

Металл, входящий в состав металлической фольги, применяемой для изготовления трафарета для высверливания отверстий согласно настоящему изобретению, предпочтительно представляет собой алюминий. Толщина металлической фольги, в общем случае, составляет от 0,05 до 0,5 мм, предпочтительно от 0,05 до 0,3 мм. Если толщина алюминиевой фольги составляет менее 0,05 мм, то при высверливании отверстий на слоистом материале могут появляться заусенцы. Если толщина превышает 0,5 мм, то затрудняется удаление стружки, получаемой при высверливании отверстий. В качестве материала для изготовления алюминиевой фольги предпочтительно применяют алюминий, чистота которого составляет по меньшей мере 95%. Некоторые примеры такого материала включают материалы марок 5052, 3004, 3003, 1N30, 1N99, 1050, 1070, 1085 и 8021, каждый из которых приведен в стандарте JIS-H4160. Применение в качестве металлической фольги алюминиевой фольги высокой чистоты снижает шок от введения наконечника сверла и улучшает проникающие свойства наконечника сверла. Благодаря этим двум полезным эффектам, а также смазывающему действию, оказываемому на наконечник сверла композицией (В) водорастворимого полимера, повышается точность расположения изготовляемых отверстий. С точки зрения адгезионного взаимодействия с композицией (В) водорастворимого полимера, предпочтительно применение алюминиевой фольги, на которую предварительно нанесен клеевой слой толщиной от 0,001 до 0,01 мм. Примеры клеев, применяемых для получения клеевого слоя, включают уретановые клеи, винилацетатные клеи, винилхлоридные клеи, клеи на основе полиэстеров, клеи на основе сополимеров этих соединений, эпоксидные клеи и цианатные клеи.

В качестве примера способа получения слоя композиции (В) водорастворимого полимера на по меньшей мере одной стороне металлической фольги можно упомянуть, например, способ, в соответствии с которым расплавленный при нагревании материал или раствор композиции (В) водорастворимого полимера непосредственно наносят на по меньшей мере одну сторону металлической фольги способом нанесения покрытия или подобным ему способом с последующим проведением сушки, и способ, в соответствии с которым лист композиции (В) водорастворимого полимера, изготовленный заранее, фиксируют на металлической фольге. В этом случае, если на металлическую фольгу был заранее нанесен клеевой слой, слоистый материал может быть легко образован ламинированием металлической фольги и нанесенного слоя композиции (В) водорастворимого полимера.

Толщина слоя композиции (В) водорастворимого полимера на трафарете для высверливания отверстий согласно настоящему изобретению может быть различной, в зависимости от диаметра наконечника сверла, применяемого для высверливания отверстий, или структуры слоистого материала, плакированного медью, или многослойной печатной платы, в которой высверливают отверстия. Толщина слоя композиции (В) водорастворимого полимера в общем случае составляет от 0,02 до 0,3 мм, предпочтительно от 0,02 до 0,2 мм. Если толщина слоя композиции (В) водорастворимого полимера составляет менее 0,02 мм, то смазывающий эффект оказывается недостаточным, что вызывает возрастание нагрузки на сверло, приводящее к поломке сверла. Если эта толщина превышает 0,3 мм, то в некоторых случаях возрастает количество полимера, удаляемого с трафарета и наматываемого на наконечник сверла.

Для измерения толщины слоя полученной структуры сначала изготавливают образец, вырезая его с той стороны трафарета, на которую нанесен слой композиции полимера, при помощи устройства для изготовления полированных шлифов (поперечных срезов) (CROSS-SECTION POLISHERSM-09010; поставляется Jeol Datum Ltd.), и затем поперечный срез исследуют с помощью СЭМ (VE-7800; поставляется KEYENCE) в вертикальном направлении к направлению поперечного среза. Измерение толщины слоя композиции водорастворимого полимера выполняют в зоне обзора при 900-кратном увеличении. Для измерения толщины в одной зоне обзора регистрируют пять точек. За значение толщины слоя принимается среднее из этих пяти измерений.

При высверливании материала платы с печатным монтажом, например, слоистого материала, плакированного медью, или многослойной печатной платы, трафарет для высверливания отверстий согласно настоящему изобретению помещают на по меньшей мере верхнюю поверхность слоистого материала, плакированного медью, многослойной печатной платы или пачки слоистых материалов, плакированных медью, или пачки многослойных печатных плат таким образом, что сторона трафарета, состоящая из металлической фольги, прилегает к материалу платы с печатным монтажом. Отверстие высверливают с той стороны трафарета для высверливания отверстий, на которую нанесена композиция (В) водорастворимого полимера. Настоящее изобретение более подробно рассмотрено ниже в Примерах и Сравнительных Примерах. В Примерах и Сравнительных Примерах настоящего описания "полиэтиленгликоль" и "полиэтиленоксид" в некоторых случаях обозначены, соответственно, "ПЭГ" и "ПЭО".

ПРИМЕРЫ

Пример 1

98 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемый Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 2 масс. части полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 60000 (ALKOX L-6, поставляемый Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и, после его полного растворения, получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Трафарет для высверливания отверстий помещали поверх пачки, содержащей четыре листа слоистого материала, плакированного медью, толщина каждого из которых составляла 0,2 мм (CCL-HL832, листы медной фольги с двух сторон, 12 мкм, поставляются Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.), таким образом, чтобы сторона трафарета с нанесенной композицией водорастворимого полимера была обращена вверх. Подкладную панель (бакелитовую панель) помещали на нижнюю сторону пачки слоистых материалов, плакированных медью. Высверливание отверстий выполняли при следующих параметрах: диаметр наконечника сверла - 0,15 мм, частота вращения - 200000 об/мин и скорость подачи - 20 мкм/об. Количество ударов (импульсов) одного наконечника сверла составляло 3000; высверливание отверстий производили 20 сверлами. Производили оценку точности расположения отверстий и количества полимера, наматываемого на наконечник сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Кроме того, оценку количества поломок сверла выполняли следующим образом. Трафарет для высверливания отверстий помещали поверх пачки, содержащей четыре листа слоистого материала, плакированного медью, толщина каждого из которых составляла от 0,1 мм (CCL-HL832HS, листы медной фольги с двух сторон, 4 мкм, поставляются Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.), таким образом, чтобы сторона трафарета с нанесенной композицией водорастворимого полимера была обращена вверх. Подкладную панель (бакелитовую панель) помещали на нижнюю сторону пачки слоистых материалов, плакированных медью. Высверливание отверстий выполняли при следующих параметрах: диаметр наконечника сверла - 0,08 мм, частота вращения - 300000 об/мин и скорость подачи - 8 мкм/об. Количество ударов (импульсов) одного наконечника сверла составляло 3000, и высверливание отверстий производили 20 сверлами. В Таблице 1 также показаны результаты оценки поломок сверла. Полученные результаты указывают на высокую точность расположения отверстий, низкую вероятность намотки полимера и низкую частоту поломок сверла.

Пример 2

98 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 35000 (поставляемого Clariant (Japan) К. К.), и 2 масс. части полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 60000 (ALKOX L-6, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и, после его полного растворения, получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляем Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Полученные результаты указывают на высокую точность расположения отверстий, низкую вероятность намотки полимера и низкую частоту поломок сверла.

Пример 3

90 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 10 масс. частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Мn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 80000 (ALKOX L-8, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и, после его полного растворения, получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Полученные результаты указывают на высокую точность расположения отверстий, низкую вероятность намотки полимера и низкую частоту поломок сверла.

Пример 4

90 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 10 масс, частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 110000 (ALKOX L-11, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и после его полного растворения получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Полученные результаты указывают на высокую точность расположения отверстий, низкую вероятность намотки полимера и низкую частоту поломок сверла.

Пример 5

95 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 5 масс. частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 110000 (ALKOX L-11, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть пентаэритрита в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера и после его полного растворения получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Полученные результаты указывают на высокую точность расположения отверстий, низкую вероятность намотки полимера и низкую частоту поломок сверла.

Пример 6

90 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 10 масс. частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 150000 (ALKOX L-15, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть пентаэритрита в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и, после его полного растворения, получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Полученные результаты указывают на высокую точность расположения отверстий, низкую вероятность намотки полимера и низкую частоту поломок сверла.

Пример 7

95 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), 5 масс. частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 80000 (ALKOX L-8, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), и стеариловый эфир полиоксиэтилена (S-220, поставляемый NOF Corporation) в количестве, составляющем 2 масс. части в пересчете на 100 масс. частей смеси водорастворимого полимера, содержащей полиэтиленгликоль и полиэтиленоксид, растворяли в воде таким образом, чтобы содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера составило 30 масс. частей. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и, после его полного растворения, получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Полученные результаты указывают на высокую точность расположения отверстий, низкую вероятность намотки полимера и низкую частоту поломок сверла.

Пример 8

95 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), 5 масс. частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 80000 (ALKOX L-8, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), и стеариловый эфир полиоксиэтилена (S-220, поставляемый NOF Corporation) в количестве, составляющем 10 масс. частей в пересчете на 100 масс. частей смеси водорастворимого полимера, содержащей полиэтиленгликоль и полиэтиленоксид, растворяли в воде таким образом, чтобы содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера составило 30 масс. частей. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и, после его полного растворения, получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Полученные результаты указывают на высокую точность расположения отверстий, низкую вероятность намотки полимера и низкую частоту поломок сверла.

Пример 9

95 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), 5 масс. частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 80000 (ALKOX L-8, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), и стеариловый эфир полиоксиэтилена (S-220, поставляемый NOF Corporation) в количестве, составляющем 80 масс. частей в пересчете на 100 масс. частей смеси водорастворимого полимера, содержащей полиэтиленгликоль и полиэтиленоксид, растворяли в воде таким образом, чтобы содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера составило 30 масс. частей. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и, после его полного растворения, получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Полученные результаты указывают на высокую точность расположения отверстий, низкую вероятность намотки полимера и низкую частоту поломок сверла.

Сравнительный Пример 1

98 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 10000 (ПЭГ10000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 2 масс. части полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 60000 (ALKOX L-6, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и после его полного растворения получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Прочность получаемого листа была недостаточной, точность расположения отверстий ухудшалась, и количество поломок сверла возрастало.

Сравнительный Пример 2

98 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 40000 (поставляемого Aoki Oil Industrial Co., Ltd.), и 2 масс. части полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 60000 (ALKOX L-6, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и после его полного растворения получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Прочность получаемого листа была недостаточной, наблюдали снижение точности расположения отверстий, и количество поломок сверла возрастало.

Сравнительный Пример 3

90 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 10 масс. частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 48000 (поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и, после его полного растворения, получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Количество полимера, наматываемого на сверло, увеличивалось, что приводило к снижению точности расположения отверстий, и количество поломок сверла возрастало.

Сравнительный Пример 4

90 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 10 масс. частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 300000 (R-1000, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и, после его полного растворения, получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Количество полимера, наматываемого на сверло, увеличивалось, что приводило к снижению точности расположения отверстий, и количество поломок сверла возрастало.

Сравнительный Пример 5

75 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 25 масс. частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 110000 (ALKOX L-11, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и, после его полного растворения, получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1.

Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Количество полимера, наматываемого на сверло, увеличивалось, что приводило к снижению точности расположения отверстий, и количество поломок сверла возрастало.

Сравнительный Пример 6

Полиэтиленгликоль, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемый Sanyo Chemical Industries, Ltd.), растворяли в воде таким образом, что из 100 масс. частей содержания твердых веществ в полиэтиленгликоле получали 30 масс. частей. Затем добавляли 1,0 масс. часть формиата натрия в пересчете на содержание твердых веществ в водорастворимом полимере, и, после его полного растворения, получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Прочность получаемого листа была недостаточной, что приводило к снижению точности расположения отверстий, и количество поломок сверла возрастало.

Сравнительный Пример 7

95 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 5 масс. частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 110000 (ALKOX L-11, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Полученный водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Количество полимера, наматываемого на сверло, увеличивалось, что приводило к снижению точности расположения отверстий, и количество поломок сверла возрастало.

Сравнительный Пример 8

95 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 5 масс. частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 1,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 110000 (ALKOX L-11, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде таким образом, чтобы из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера получали 30 масс. частей. Затем добавляли 7,5 масс. частей пентаэритрита в пересчете на содержание твердых веществ в вышеуказанной смеси водорастворимого полимера, и после его полного растворения получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Поскольку водорастворимое вещество добавляли в избытке, максимальное значение точности расположения отверстий было выше, что приводило к ухудшению точности расположения отверстий. Кроме того, количество поломок сверла возрастало.

90 масс. частей полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляла 20000 (ПЭГ20000, поставляемого Sanyo Chemical Industries, Ltd.), и 10 масс.частей полиэтиленоксида, полидисперсность, Mw/Mn, которого составляла 4,5, и среднечисловая молекулярная масса, Мn, составляла 150000 (ALTOP R-400, поставляемого Meisei Chemical Works, Ltd.), растворяли в воде, получая 30 масс. частей из 100 масс. частей содержания твердых веществ в смеси водорастворимого полимера. Затем добавляли 1,0 масс. часть пентаэритрита в пересчете на содержание твердых веществ в смеси водорастворимого полимера, и после его полного растворения получали водный раствор композиции водорастворимого полимера. Водный раствор композиции водорастворимого полимера наносили на алюминиевую фольгу толщиной 0,1 мм (1N30, поставляемую Mitsubishi Aluminum Co., Ltd.) стержневым устройством для нанесения покрытия таким образом, чтобы толщина слоя композиции водорастворимого полимера после сушки составляла 0,03 мм. Нанесенный водный раствор сушили в сушильной установке при 120°С в течение 3 минут, получая трафарет для высверливания отверстий. Высверливание отверстий выполняли, как описано в Примере 1. Производили оценку точности расположения отверстий, количества полимера, наматываемого на наконечник сверла, и частоты поломок сверла. Результаты представлены в Таблице 1. Количество полимера, наматываемого на сверло, увеличивалось, что приводило к снижению точности расположения отверстий, и количество поломок сверла возрастало.

Способы оценки

1) Количество полимера, наматываемого на сверло. После высверливания отверстий, включающего 3000 ударов (импульсов), каждый из 20 наконечников сверла рассматривали под микроскопом при увеличении в 25 раз, вычисляя максимальный диаметр слоя полимера, намотанного на наконечник сверла, исходя из диаметра наконечника сверла и толщины слоя полимера на сверле в осевом направлении. Получали объем полимера, намотанного на наконечник сверла. Среднее значение объема намотанного полимера вычисляли из результатов, полученных для 20 сверл.

2) Точность расположения отверстий. Смещение положений отверстий, изготовляемых высверливанием, включающим 3000 ударов (импульсов), относительно требуемых координат, определяли при помощи анализатора отверстий (Hitachi Via Mechanics, Ltd.) для каждого сверла отдельно, на нижней стороне самого нижнего слоя слоистого материала, плакированного медью, находящегося в пачке слоистых материалов, плакированных медью. Вычисляли среднее значение этого смещения и стандартное среднеквадратическое отклонение (σ). Таким образом вычисляли "среднее+3σ" и "максимальное значение". В Таблице 1 показаны средние значения "среднего+3σ" и "максимального значения" для 20 высверленных отверстий.

3) Количество сломанных сверл. Отверстия получали с помощью 20 сверл. Вычисляли количество сломанных сверл из 20.

1. Трафарет для высверливания отверстий в слоистом материале, плакированном медью, отличающийся тем, что он выполнен из металлической фольги с нанесенным на по меньшей мере одну ее сторону слоем композиции (В) водорастворимого полимера, содержащей
100 мас. ч. смеси (А) водорастворимого полимера, включающей:
- от 80 до 98 мас. ч. полиэтиленгликоля, среднечисловая молекулярная масса которого составляет от 15000 до 35000; и
- от 2 до 20 мас. ч. полиэтиленоксида, среднечисловая молекулярная масса которого составляет от 50000 до 200000; и
от 0,1 до 5 мас. ч. по меньшей мере одного водорастворимого вещества, выбираемого из группы, состоящей из многоатомных спиртов, аминокислотных производных спиртов, органических кислот и солей органических кислот.

2. Трафарет по п.1, в котором смесь (А) водорастворимого полимера дополнительно содержит водорастворимый смазочный полимер, и количество водорастворимого смазочного полимера составляет от 1 до 80 мас. ч. в пересчете на 100 мас. ч. общего количества полиэтиленгликоля и полиэтиленоксида.

3. Трафарет по п.1, в котором полидисперсность Mw/Mn полиэтиленоксида составляет 2,5 или менее.

4. Трафарет по п.2, в котором среднечисловая молекулярная масса водорастворимого смазочного полимера составляет 15000 или менее, и вязкость расплава этого полимера при 100°С составляет 10 Па·с или менее.

5. Трафарет по любому из пп.1-4, в котором толщина металлической фольги составляет от 0,05 до 0,5 мм, а толщина слоя композиции (В) водорастворимого полимера, нанесенной на по меньшей мере одну сторону металлической фольги, составляет от 0,02 до 0,3 мм.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технологии локализованного нанесения металлических слоев либо структур на поверхности диэлектриков различных типов для создания элементов и устройств микроэлектроники.

Изобретение относится к технологии локализованного нанесения металлических слоев либо структур на поверхности диэлектриков различных типов для создания элементов и устройств микроэлектроники.
Изобретение относится к области микроэлектроники, а точнее к способам изготовления фотошаблонов для контактной фотолитографии с субмикронными и нанометровыми проектными нормами, и может быть использовано при изготовлении фотошаблонов для технологии изготовления акустоэлектронных устройств на поверхностных и объемных акустических волнах.

Изобретение относится к технологии локализованного нанесения металлических слоев либо структур на поверхности диэлектриков различных типов для создания элементов и устройств микроэлектроники.

Изобретение относится к технологии локализованного нанесения металлических слоев либо структур на поверхности диэлектриков различных типов для создания элементов и устройств микроэлектроники.
Изобретение относится к изготовлению многослойных печатных плат. .

Изобретение относится к области гибридной микроэлектроники и может быть использовано для создания микроплат с многоуровневой тонкопленочной коммутацией. .

Изобретение относится к области электротехники, в частности к изготовлению варистора. .

Изобретение относится к инструментам, предназначенным для сверления и получения отверстий в различных материалах. .

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при высверливании отверстий в многослойных материалах, плакированных медью, в частности в многослойной печатной плате. Трафарет содержит слой кристаллизуемой водорастворимой полимерной композиции, толщина которого составляет от 0,02 до 0,3 мм, нанесенный на по меньшей мере одну поверхность несущей металлической фольги. Средний размер кристаллических зерен водорастворимой полимерной композиции составляет от 5 до 70 мкм, и стандартное отклонение размера зерен составляет не более 25 мкм. Шероховатость Sm поверхности в точке ввода наконечника сверла в слой водорастворимой полимерной композиции составляет не более 8 мкм. Слой получен нанесением непосредственно на несущую металлическую фольгу горячего расплава водорастворимой полимерной композиции или нанесением раствора, содержащего водорастворимую полимерную композицию, с последующей сушкой и последующим проведением охлаждения при снижении температуры от (120-160)°C до (25-40)°C в течение 60 сек при скорости охлаждения не менее 1,5°C/сек. Предотвращаются налипание полимера на наконечник сверла и его поломка. 5 з.п. ф-лы, 6 ил., 5 табл.
Наверх