Оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля

Устройство содержит закрепленное на основании (1) устройство (2) для регулировки и фиксации его положения относительно поверхности (12) объекта (13), соединенный с ним цилиндрический корпус (4), во внутренней полости (5) которого установлены источник (6) когерентного оптического излучения и фокусирующая излучение (31) на поверхность (12) объекта (13) оптическая система (8) с устройствами для регулировки и фиксации их положения (7) и (9), опорную балку (14), выполненную составной из однотипных цилиндрических элементов (28), светонепроницаемый защитный корпус (19) с окном (20), установленный с возможностью перемещения вдоль опорной балки (14), во внутренней полости (21) которого установлены светоделитель (22) и отражатель (23), жестко скрепленные между собой, и экран с устройствами для регулировки и фиксации их положения (24) и (26). На концах цилиндрического корпуса (4) и опорной балки (14), обращенных к поверхности (12) объекта (13), установлен поворотный шарнир (10), а между ними установлено устройство для регулировки и фиксации положения (30) опорной балки (14) относительно цилиндрического корпуса (4). Технический результат - снижение трудоемкости подготовки к проведению измерений и повышение точности результатов измерений. 1 ил.

 

Предлагаемое техническое решение относится к области измерительной техники, а именно к оптическим устройствам, основанным на использовании оптических интерференционных методов, для бесконтактного измерения перемещений поверхностей объектов контроля (например, конструкций, зданий, сооружений и т.п.) при диагностике их состояния в составе как стационарных, так и мобильных диагностических станций.

Известны оптические устройства для измерения малых линейных перемещений поверхностей объектов контроля, основанные на применении интерференционных методов [1], [2], [3], [4] и др., содержащие оптически связанные и последовательно размещенные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, светоделитель, отражатель, жестко закрепленный на поверхности объекта контроля, и экран с установленными на нем фотоприемными устройствами. При этом полученная совмещением опорного и объектного пучков интерференционная картина, представляющая собой совокупность колец различной интенсивности, проецируется на экран, а фотоприеные устройства, установленные в заданных областях (например, в кольцах и т.п.) интерференционной картины, регистрируют изменения интенсивности оптического поля, которые однозначно связаны с перемещениями поверхности объекта контроля.

Существенными недостатками отмеченных технических решений являются ограничение их функциональных возможностей, высокая трудоемкость подготовки к проведению измерений и низкая точность результатов измерений. Ограничение функциональных возможностей обусловлено малым (порядка миллиметра) диапазоном измеряемых значений перемещений поверхности объекта контроля, т.к. отражатель жестко закреплен на поверхности объекта контроля, при этом расстояние между его внешней поверхностью и внутренней поверхностью светоделителя для получения интерференционной картины будет незначительным (порядка миллиметра), а следовательно, и перемещение поверхности объекта контроля в направлении внутренней поверхности светоделителя не может превышать этого значения перемещения, иначе происходит опирание отражателя на светоделитель и разрушение измерительного устройства в процессе проведения измерений. Высокая трудоемкость подготовки к проведению измерений обусловлена тем, что перед началом проведения любого отдельного вида испытаний, а соответственно и измерений, необходимо произвести индивидуальные установку (закрепление) и настройку (регулировку и фиксацию положения) каждого из оптических элементов отмеченных устройств для достижения совмещения опорного и объектного пучков и получения интерференционной картины в области размещения экрана, что значительно увеличивает трудоемкость подготовки к проведению испытаний. Низкая точность результатов измерений обусловлена тем, что на оптические элементы устройств и фотоприемное устройство в процессе проведения измерений воздействуют внешние источники оптического излучения (естественное освещение, осветительные приборы и т.п.), при этом интенсивности этих излучений и их изменения во времени носят случайный характер, что вносит случайные погрешности в результаты измерений, снижая их точность. К недостатку описанных технических решений, снижающему точность результатов измерений, также относится искажение результатов измерений отражателем, жестко закрепленным на поверхности объекта контроля, который, не являясь частью исследуемого объекта контроля, влияет на результаты измерений перемещений его поверхности. Необходимо отметить, что техническое решение [4] позволяет снизить трудоемкость подготовки к проведению измерений и повысить точность результатов измерений за счет исключения воздействия внешних источников оптического излучения, однако имеет описанные выше существенные недостатки - ограничение функциональных возможностей и низкую точность результатов измерений за счет искажения результатов измерений отражателем, жестко закрепленным на поверхности объекта контроля, который, не являясь частью исследуемого объекта контроля, влияет на результаты измерений перемещений его поверхности.

По совокупности признаков наиболее близким аналогом предлагаемого устройства, принимаемым за прототип, является оптическое устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля [5], содержащее оптически связанные и последовательно размещенные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, фокусирующую излучение на поверхность объекта контроля в виде светящейся точки, светоделитель, отражатель, фотоприемное устройство для регистрации интенсивности оптического поля в заданной области интерференционной картины и преобразователь, предназначенный для определения перемещений поверхности объекта контроля по результатам измерения интенсивности оптического поля в заданной области интерференционной картины и регистрации полученного результата, при этом светоделитель, отражатель и фотоприемное устройство жестко закреплены на общем основании, снабженном механизмом перемещения, выполненным с возможностью увеличения расстояния между поверхностью объекта контроля и внешней поверхностью светоделителя при увеличении диапазона измеряемых перемещений и уменьшения расстояния между поверхностью объекта контроля и внешней поверхностью светоделителя при уменьшении диапазона измеряемых перемещений.

Существенными недостатками данного устройства являются высокая трудоемкость подготовки к проведению измерений и низкая точность результатов измерений. Высокая трудоемкость подготовки к проведению измерений обусловлена тем, что перед началом проведения любого отдельного вида испытаний, а соответственно и измерений, необходимо произвести индивидуальные установку (закрепление) и настройку (регулировку и фиксацию положения) каждого из оптических элементов описанного устройства для достижения совмещения опорного и объектного пучков и получения интерференционной картины в области размещения экрана, что значительно увеличивает трудоемкость подготовки к проведению испытаний. Низкая точность результатов измерений обусловлена тем, что на оптические элементы устройств и фотоприемное устройство в процессе проведения измерений воздействуют внешние источники оптического излучения (естественное освещение, осветительные приборы и т.п.), при этом интенсивности этих излучений и их изменения во времени носят случайный характер, что вносит случайные погрешности в результаты измерений, снижая их точность.

Задачей, на решение которой направлено предлагаемое техническое решение, является снижение трудоемкости подготовки к проведению измерений и повышение точности результатов измерений.

Сущность предлагаемого технического решения заключается в том, что оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля содержит оптически связанные и последовательно размещенные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, фокусирующую излучение на поверхность объекта контроля в виде светящейся точки, установленные с возможностью перемещения относительно поверхности объекта контроля и жестко скрепленные между собой светоделитель и отражатель, экран с установленными на нем фотоприемными устройствами для регистрации интенсивности оптического поля в заданных областях интерференционной картины и преобразователь, предназначенный для определения перемещений поверхности объекта контроля по результатам измерения интенсивности оптического поля в заданных областях интерференционной картины и регистрации полученного результата. Согласно изобретению устройство дополнительно содержит закрепленное на основании устройство для регулировки и фиксации его положения относительно поверхности объекта контроля, соединенный с ним цилиндрический корпус, во внутренней полости которого установлены источник когерентного оптического излучения и оптическая система с индивидуальными устройствами для регулировки и фиксации их положения, опорную балку, выполненную составной в виде соединенных между собой разъемным соединением однотипных цилиндрических элементов, светонепроницаемый защитный корпус, установленный с возможностью перемещения вдоль опорной балки, во внутренней полости которого установлены жестко скрепленные между собой светоделитель и отражатель с устройством для регулировки и фиксации их положения и экран с устройством для регулировки и фиксации его положения, при этом в защитном корпусе выполнено окно для обеспечения оптического контакта излучения от светящейся точки на поверхности объекта контроля со светоделителем и отражателем, на концах цилиндрического корпуса и опорной балки, обращенных к поверхности объекта контроля, установлен поворотный шарнир, а между цилиндрическим корпусом и опорной балкой установлено устройство для регулировки и фиксации положения опорной балки относительно цилиндрического корпуса.

Сущность изобретения поясняется чертежом, представленным на фиг.1, где схематично изображено предлагаемое оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля.

Предлагаемое оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля содержит основание 1, устройство 2 для регулировки и фиксации положения, скрепленное с основанием 1 и концом 3 цилиндрического корпуса 4, во внутренней полости 5 которого размещены источник 6 когерентного оптического излучения с устройством 7 для регулировки и фиксации его положения и оптическая система 8 с устройством 9 для регулировки и фиксации ее положения, поворотный шарнир 10, установленный на конце 11 цилиндрического корпуса 4, обращенного к поверхности 12 объекта контроля 13, соединяющий цилиндрический корпус 4 с опорной балкой 14, подвижную опору 15 с устройством 16 для регулировки и фиксации ее положения, размещенную на поверхности 17 опорной балки 14, опорную пластину 18, жестко закрепленную на подвижной опоре 15, светонепроницаемый защитный корпус 19 с окном 20, во внутренней полости 21 которого размещены жестко скрепленные между собой в фиксированном положении светоделитель 22 и отражатель 23 с устройством 24 для регулировки и фиксации их положения, а также экран 25 с устройством 26 для регулировки и фиксации его положения.

На экране 25 в заданных областях интерференционной картины установлены фотоприемные устройства 27.

Опорная балка 14 выполнена составной в виде однотипных цилиндрических элементов 28, соединенных между собой разъемным соединением, например, при помощи резьбового соединения 29.

Цилиндрический корпус 4 и опорная балка 14 соединены между собой при помощи устройства 30 для изменения и фиксации положения (угла) между ними с использованием поворотного шарнира 10.

Предлагаемое устройство также содержит преобразователь (на фиг.1 не показан), который электрически связан с фотоприемными устройствами 27 и предназначен для определения перемещений поверхности 12 объекта контроля 13 по результатам измерения интенсивности оптического поля в заданных областях интерференционной картины фотоприемными устройствами 27, а также для регистрации полученных результатов измерений перемещений.

Оптическая система 8 фокусирует излучение 31 от источника 6 на поверхность 12 объекта контроля 13 в виде светящейся точки 32, которая, в свою очередь, является точечным источником излучения, расположенным на поверхности 12 объекта контроля 13.

Окно 20 светонепроницаемого защитного корпуса 19 обеспечивает оптический контакт излучения 33 от светящейся точки 32 со светоделителем 22 и отражателем 23.

Далее излучение 33 от светящейся точки 32 попадает на светоделитель 22, который его разделяет на два луча: один луч 34 отражается от поверхности самого светоделителя 22, а другой 35 - от поверхности отражателя 23.

Пространственное совмещение этих лучей происходит в области размещения экрана 25 - в области наблюдения интерференционной картины.

Предлагаемое техническое решение работает следующим образом.

Перед началом испытаний объекта контроля 13, а соответственно и измерений перемещений его поверхности 12, предлагаемое устройство в сборе устанавливают на основании 1 при помощи устройства 2 для регулировки и фиксации его положения.

Диапазон возможных значений перемещений поверхности 12 объекта контроля 13 в процессе проведения испытаний априорно известен, а соответственно может быть определено расстояние между поверхностью 12 объекта контроля 13 и внешней поверхностью светоделителя 22, соответствующее данному диапазону изменения перемещений. Для этого используется зависимость изменения чувствительности предлагаемого устройства от расстояния между поверхностью 12 объекта контроля 13 и внешней поверхностью светоделителя 22, полученная экспериментально при метрологическом обслуживании, см., например, [5], [6], [7].

Подвижную опору 15 при помощи устройства 16 перемещают по поверхности 17 опорной балки 14 до достижения требуемого расстояния между поверхностью 12 объекта контроля 13 и внешней поверхностью светоделителя 22. При необходимости длину опорной балки 14 увеличивают, присоединяя дополнительно однотипные цилиндрические элементы 28.

Далее, используя устройства 7 и 9, оптической системой 8 фокусируют излучение 31 источника 6 на поверхность 12 объекта контроля 13 в виде светящейся точки 32.

При помощи поворотного шарнира 10 и устройства 30 регулируют положение (угол) опорной балки 14 относительно цилиндрического корпуса 4 до достижения оптического контакта излучения 33 от светящейся точки 32 со светоделителем 22 и отражателем 23.

Излучение 33 от светящейся точки 32 попадает на светоделитель 22, который его разделяет на два луча: один луч 34 отражается от поверхности самого светоделителя 22, а другой 35 - от поверхности отражателя 23.

Пространственное совмещение этих лучей происходит в области размещения экрана 25 - в области наблюдения интерференционной картины.

Фотоприемные устройства 27 регистрируют интенсивность оптического поля в заданной области интерференционной картины. Преобразователь определяет перемещение поверхности 12 объекта контроля 13 по результатам измерения интенсивности оптического поля фотоприемными устройствами 27 и регистрирует полученные результаты измерений перемещений.

Защитный корпус 19, во внутренней полости 21 которого размещены светоделитель 22, отражатель 23 и экран 25 с установленными на нем фотоприемными устройствами 27, обеспечивает защиту перечисленных оптических элементов в процессе проведения измерений от воздействия внешних источников оптического излучения.

При увеличении диапазона измеряемых перемещений расстояние между поверхностью 12 объекта контроля 13 и внешней поверхностью светоделителя 22 увеличивают, при уменьшении диапазона измеряемых перемещений данное расстояние уменьшают.

Техническим результатом предлагаемого устройства для измерения перемещений является снижение трудоемкости подготовки к проведению измерений и повышение точности результатов измерений.

Проведенный сравнительный анализ выявил, что в отличие от устройств-аналогов и устройства-прототипа предлагаемое устройство характеризуется новыми признаками, а именно - новыми конструктивными элементами, имеющими новые форму и расположение в предлагаемом устройстве, позволяющими снизить трудоемкость подготовки к проведению измерений и повысить точность результатов измерений.

Предлагаемое устройство, сохраняя положительные качества приведенных в описании аналогов и прототипа, отличается по сравнению с ними снижением трудоемкости подготовки к проведению измерений и повышением точности результатов измерений и может быть применено в процессе высокоточных измерений линейных и угловых перемещений поверхностей объектов контроля при проведении экспериментальных исследований перспективных конструкций, зданий, сооружений и т.п., оценке их технического состояния и диагностике состояния в составе как стационарных, так и мобильных диагностических станций, при исследовании акустико-эмиссионных процессов в твердых телах, исследовании процессов дефектообразования в ленточных высокотемпературных сверхпроводниках, исследовании волновых процессов в слоистых конструкциях и конструкциях, выполненных из анизотропных конструкционных материалов, в машиностроении, судостроении, авиастроении и т.п.

Источники информации

1. Батраков А.С., Бутусов М.М., Гречка Г.П. и др. Лазерные измерительные системы. / Под ред. Д.П. Лукьянова. - М.: Радио и связь, 1981. - 456 с.

2. Патент РФ №2373492 по заявке №2007144257/28 от 28.11.2007 г., МПК 8 G01B 11/00, G01B 21/00, опубл. 20.11.2009 г., бюл. №32.

3. Патент РФ на изобретение №2388994 по заявке №2008141364/28 от 20.10.2008 г., МПК 8 G01B 11/00, G01B 9/02, опубл. 10.05.2010 г., бюл. №13.

4. Патент РФ №2407988 по заявке №2009101829/28 от 20.01.2009 г., МПК 8 G01B 9/02, G01B 11/02, опубл. 27.07.2010 г., бюл. №36.

5. Патент РФ №2343402 по заявке №2007110767/28 от 26.03.2007 г., МПК 8 G01B 9/00, опубл. 10.01.2009 г., бюл. №1 - прототип.

6. Алехин В.Е., Мирошниченко И.П., Серкин А.Г. Экспериментальное обоснование интерференционного метода измерения перемещений на основе подсвечивания поверхности объекта контроля. // Измерительная техника. 2008. №10. С.26-30.

7. Мирошниченко И.П. Унифицированный оптический измеритель перемещений для систем диагностики технического состояния материалов и изделий. // Контроль. Диагностика. 2010. №2. С.34-37.

Оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля, содержащее оптически связанные и последовательно размещенные источник когерентного оптического излучения, оптическую систему, фокусирующую излучение на поверхность объекта контроля в виде светящейся точки, установленные с возможностью перемещения относительно поверхности объекта контроля и жестко скрепленные между собой светоделитель и отражатель, экран с установленными на нем фотоприемными устройствами для регистрации интенсивности оптического поля в заданных областях интерференционной картины и преобразователь, предназначенный для определения перемещений поверхности объекта контроля по результатам измерения интенсивности оптического поля в заданных областях интерференционной картины и регистрации полученного результата, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит закрепленное на основании устройство для регулировки и фиксации его положения относительно поверхности объекта контроля, соединенный с ним цилиндрический корпус, во внутренней полости которого установлены источник когерентного оптического излучения и оптическая система с индивидуальными устройствами для регулировки и фиксации их положения, опорную балку, выполненную составной в виде соединенных между собой разъемным соединением однотипных цилиндрических элементов, светонепроницаемый защитный корпус, установленный с возможностью перемещения вдоль опорной балки, во внутренней полости которого установлены жестко скрепленные между собой светоделитель и отражатель с устройством для регулировки и фиксации их положения и экран с устройством для регулировки и фиксации его положения, при этом в защитном корпусе выполнено окно для обеспечения оптического контакта излучения от светящейся точки на поверхности объекта контроля со светоделителем и отражателем, на концах цилиндрического корпуса и опорной балки, обращенных к поверхности объекта контроля, установлен поворотный шарнир, а между цилиндрическим корпусом и опорной балкой установлено устройство для регулировки и фиксации положения опорной балки относительно цилиндрического корпуса.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерителям скорости интерферометрическим методом по доплеровскому смещению длины волны света, отраженного от исследуемого объекта, с использованием интерферометра Фабри-Перо и может быть использовано для увеличения яркости интерференционной картины на щелевой диафрагме на выходе оптической системы в 2-10 раз при малом увеличении габаритов.

Изобретение относится к области радиотехники и касается акустооптического интерферометра. Акустооптический интерферометр состоит из антенной решетки, источника когерентного излучения, коллиматора, акустооптического модулятора с четырьмя пьезопреобразователями, фурье-линзы, матричного фотоприемника и цифрового процессора.

Изобретение относится к формированию изображения с использованием оптической когерентной томографии в Фурье-области. Устройство содержит первый переключающий блок 17, осуществляющий переключение между первым состоянием, в котором обратный луч 12 объединяется с опорным лучом (состояние, в котором обратный луч 12 проводится к объединяющему блоку 22), и вторым состоянием, отличающимся от первого состояния (состоянием, в котором путь луча для обратного луча 12 блокируется или изменяется).

Изображающий микроэллипсометр состоит из источника когерентного освещения 1, пространственного фильтра 2, управляемой полуволновой пластинки 3, коллиматора 4, неполяризующего светоделителя 5, по крайней мере, одной ловушки-поглотителя 6, микрообъектива 7 с фронтальной линзой 8, расположенного под микрообъективом предметного столика 9 с размещенным на нем объектом 10, интерференционного блока 11 формирования изображения.

Способ реализуют посредством двухлучевого интерферометра с оптической системой для формирования опорного и объектного пучков, системой зеркал, установленных вдоль опорной и объектной ветвей, рабочей зоной, проекционным объективом и узлом регистрации голограммы.

Изобретение может быть использовано при измерении малых разностей хода (менее 0,1λ длины волны) слабых оптических неоднородностей в прозрачных средах, например, при обтекании тел в потоках малой плотности, распыливании топлива из форсунок в разреженное пространство, изучении процессов смешения, воспламенения и горения топлив, обнаружении диффузных пограничных слоев.

Изобретение может быть использовано для регистрации спектров источников излучения, в том числе для регистрации малых атмосферных примесей с подвижных носителей. Фурье-спектрометр построен на основе двухлучевого интерферометра с поперечным сдвигом интерферирующих лучей и содержит расположенные по ходу луча входную апертуру, входной объектив, двухлучевой интерферометр с поперечным сдвигом интерферирующих лучей, Фурье-объектив и многоэлементное матричное фотоприемное устройство.

Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и может быть использовано в конструкциях волоконно-оптических преобразователей физических величин, предусматривающих интерференционную регистрацию измеряемого сигнала.

Изобретение относится к устройству для ориентации объектов в пространстве на основе измерения анизотропии пространства скоростей электромагнитного излучения в движущейся среде.

Изобретение может быть использовано для получения изображения микрорельефа объекта, имеющего большую площадь поверхности. Устройство включает платформу, на которой расположен объект и которая способна перемещаться на двух основных и одной дополнительной аэростатических опорах вдоль первой горизонтальной оси, и портал, на котором установлен фазовый микроскоп и который способен перемещаться на двух основных и одной дополнительной аэростатических опорах вдоль второй горизонтальной оси, перпендикулярной первой горизонтальной оси.

Способ заключается в том, что изображение объекта фокусируют объективом в плоскости приемника, сканируют его возвратно-поступательно вдоль линейки элементов приемника, предварительно определяют номер N облучаемого элемента приемника, выключают выходы остальных элементов, осуществляют периодическое равномерное возвратно-поступательное сканирование изображения объекта облучаемым элементом с амплитудой, равной ширине элемента b, формируют опорные импульсы в середине каждого полупериода сканирования, измеряют временные интервалы Δt1 и Δt2 между фронтами сигналов и опорными импульсами в каждом полупериоде сканирования и измеряют их разность Δt=Δt2-Δt1.

Устройство содержит неподвижную часть, подвижную часть с установленным на ней объектом, источник монохроматического излучения, одномодовый световод, формирующий точечный источник, совмещенный с передним фокусом оптической системы, две параллельные прозрачные пластины, установленные перпендикулярно оптической оси.

Устройство содержит источник монохроматического излучения, выход которого совмещен с входом одномодового световода, формирующего на выходе точечный источник монохроматического излучения, совмещенный с передним фокусом оптической системы, формирующей параллельный пучок света.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения пространственного положения объекта посредством дистанционного измерения координат контрольных меток, закрепленных на нем.

Изобретение относится к области автоматизации производственных технологических процессов. .

Изобретение относится к станкостроению и предназначено для автоматического контроля линейных перемещений различных механизмов и узлов (контроль за перемещением по линейным осям станков с ЧПУ, контроль перемещения узлов роботов и манипуляторов, контроль перемещения измерительных наконечников в приборах активного контроля).

Изобретение относится к определению расположения материальных объектов в пространстве с помощью оптического измерительного оборудования и, более конкретно, к оптической системе для измерения геометрических параметров, характеризующих взаимное расположение элементов оборудования в пространстве, соответствующему способу определения взаимного расположения элементов в пространстве с помощью упомянутой системы и устройству регистрации оптического излучения для использования в упомянутой системе.

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для прецизионного измерения расстояний. .

Изобретение относится к средствам, предназначенным для прецизионных измерений линейных и угловых перемещений объекта, в частности к оптическим средствам данного назначения, в которых используются методы интерферометрии.

Изобретение относится к дистанционному контролю (мониторингу) объектов электроэнергетики и предназначено для получения данных об угрожающих работе высоковольтной воздушной линии электропередачи (ВЛ) воздействиях естественного или техногенного происхождения, представления полученных данных о выявленных угрозах на мониторе пульта управления работой ВЛ (например, диспетчерского пульта).

Способ заключается в формировании подаваемого на поверхность исследуемого объекта потока светового излучения, регистрации в фиксированной точке отраженного света и преобразовании его в электрический сигнал, величину которого используют для определения расстояния от поверхности исследуемого объекта по формуле: Δ x = x 0 − x 0 2 U 0 U , где х0 - начальное расстояние от светоотражающей поверхности исследуемого объекта до фотоприемника; U0 - амплитуда выходного сигнала с фотоприемника, соответствующая х0; U - амплитуда выходного сигнала с фотоприемника, соответствующая Δх. Технический результат - возможность определения перемещения в любой момент времени за счет измерения уровня выходного сигнала с фотоприемника. 2 ил.

Устройство содержит закрепленное на основании устройство для регулировки и фиксации его положения относительно поверхности объекта, соединенный с ним цилиндрический корпус, во внутренней полости которого установлены источник когерентного оптического излучения и фокусирующая излучение на поверхность объекта оптическая система с устройствами для регулировки и фиксации их положения и, опорную балку, выполненную составной из однотипных цилиндрических элементов, светонепроницаемый защитный корпус с окном, установленный с возможностью перемещения вдоль опорной балки, во внутренней полости которого установлены светоделитель и отражатель, жестко скрепленные между собой, и экран с устройствами для регулировки и фиксации их положения и. На концах цилиндрического корпуса и опорной балки, обращенных к поверхности объекта, установлен поворотный шарнир, а между ними установлено устройство для регулировки и фиксации положения опорной балки относительно цилиндрического корпуса. Технический результат - снижение трудоемкости подготовки к проведению измерений и повышение точности результатов измерений. 1 ил.

Наверх