Датчик дифференциального давления с измерением давления в линии



Датчик дифференциального давления с измерением давления в линии
Датчик дифференциального давления с измерением давления в линии
Датчик дифференциального давления с измерением давления в линии
Датчик дифференциального давления с измерением давления в линии
Датчик дифференциального давления с измерением давления в линии

 

G01L9/00 - Измерение постоянного или медленно меняющегося давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов с помощью электрических или магнитных элементов, чувствительных к механическому давлению; передача и индикация перемещений элементов, чувствительных к механическому воздействию, используемых для измерения давления с помощью электрических или магнитных средств (измерение разности двух или более величин давления G01L 13/00; одновременное измерение двух и более величин давления G01L 15/00; вакуумметры G01L 21/00)

Владельцы патента RU 2538363:

РОУЗМАУНТ ИНК. (US)

Изобретение относится к датчикам давления, используемым для измерения технологической текучей среды и дифференциального давления. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерений давления. Сборный узел датчика давления для измерения давления технологической текучей среды включает в себя корпус датчика с наличием полости, сформированной в нем, и первое и второе отверстия к полости, сконфигурированные для приложения первого и второго давлений. Диафрагма в полости отделяет первое отверстие от второго отверстия и сконфигурирована с возможностью изгибаться в ответ на перепад давления между первым давлением и вторым давлением. Обеспечивается емкостный датчик деформации, сконфигурированный с возможностью определять величину деформации корпуса датчика в ответ на давление в линии, приложенное к корпусу датчика. 3 н. и 12 з.п. ф-лы, 5 ил.

 

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ

Настоящее изобретение относится к типу датчиков давления, используемому для измерения давления технологической текучей среды. Более конкретно, настоящее изобретение относится к датчику давления, сконфигурированному для измерения в технологической текучей среде и дифференциального давления и также (рабочего) давления в линии.

Передатчики (преобразователи) используются в системах мониторинга и управления ходом процесса, чтобы измерять различные переменные процесса для технологических процессов. Один тип передатчика измеряет дифференциальное давление технологической текучей среды в ходе процесса. Это измерение дифференциального давления можно затем использовать для вычисления расхода технологической текучей среды. Различные способы были использованы в датчиках давления, используемых в таких передатчиках. Один известный способ состоит в использовании изгибаемой диафрагмы. Емкость измеряется по отношению к диафрагме, причем диафрагма образует одну из емкостных пластин конденсатора. Если диафрагма изгибается вследствие приложенного давления, измеряемая емкость изменяется. В такой конфигурации имеется ряд источников погрешностей в измерениях давления.

Один способ, который рассматривает эти погрешности, излагается в патенте США № 6295875, озаглавленном "PROCESS PRESSURE MEASUREMENT DEVICES WITH IMPROVED ERROR COMPENSATION" (Устройства измерения давления с улучшенной компенсацией погрешностей), выданном 2 октября 2001 изобретателям Frick и др., который полностью включен в документ путем ссылки. Этот патент описывает датчик дифференциального давления, который включает в себя дополнительный электрод для использования в снижении погрешностей измерения. Однако в некоторых установках требуется измерять давление в линии для технологической текучей среды (абсолютное или в масштабе), в дополнение к измерению дифференциального давления.

ОПИСАНИЕ СУЩНОСТИ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Сборный узел датчика давления для измерения давления технологической текучей среды включает в себя корпус датчика, имеющий полость, сформированную в нем, и первое и второе отверстия к полости, сконфигурированные для приложения первого и второго давления. Диафрагма в полости отделяет первое отверстие от второго отверстия и сконфигурирована с возможностью изгибаться в ответ на перепад давления между первым давлением и вторым давлением. Предложен емкостный датчик деформации и сконфигурирован для восприятия (определения величины) деформации корпуса датчика в ответ на давление в линии, приложенное к корпусу датчика.

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ

Фиг.1 - система измерения параметров процесса с передатчиком параметров процесса, сконструированного в соответствии с настоящим изобретением.

Фиг.2 - схематичный вид передатчика по Фиг.1.

Фиг.3 - вид поперечного сечения части передатчика параметров процесса по Фиг.1.

Фиг.4 - упрощенный вид поперечного сечения датчика давления для использования в иллюстрации действия по настоящему изобретению.

Фиг.5 - вид поперечного сечения датчика давления, включающего в себя электроды, используемые для измерения давления в линии.

ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ СУЩНОСТИ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Настоящее изобретение обеспечивает устройство и способ для определения давления в линии и дифференциального давления для емкостного датчика давления. Путем вычисления отношений сумм, или сумм отношений, для соответственных емкостей (емкостных сопротивлений) в многоемкостном датчике давления, может быть определено дифференциальное давление технологической текучей среды. Как обсуждено в разделе «ПРЕДШЕСТВУЮЩИЙ УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ», в некоторых установках может быть желательным измерять давление в линии (абсолютное или в масштабе) в дополнение к измерению дифференциального давления. Один такой способ для измерения давления в линии показан и описан в находящейся в совместном рассмотрении заявке на патент США № 11/140681, озаглавленной "LINE PRESSURE MEASUREMENT USING DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR" (Измерение давления в линии с использованием датчика дифференциального давления), поданной 27 мая 2005 заявителями Donald E. Harasyn и др., заявкпе на патент США № 11/138977, озаглавленной "PRESSURE SENSOR USING COMPRESSIBLE SENSOR BODY" (Датчик давления, использующий сжимаемый корпус датчика), поданной 26 мая 2005 заявителями David A. Broden и др., которая принадлежит тому же правообладателю с настоящей заявкой, и содержимое которых включается в документ путем ссылки во всей полноте.

На Фиг.1 показана обобщенно среда системы 32 измерения параметров процесса. На Фиг.1 показан технологический трубопровод 30, содержащий текучую среду под давлением, связанный с системой 32 измерения параметров процесса для измерения рабочего давления. Система 32 измерения параметров процесса включает в себя импульсный трубопровод 34, соединенный с трубопроводом 30. Импульсный трубопровод 34 соединен с передатчиком 36 рабочего давления. Первичный измерительный элемент 33, такой как измерительная диафрагма, трубка Вентури, измерительное сопло и тому подобное, входит в контакт с технологической текучей средой в позиции в технологическом трубопроводе 30 между трубками импульсного трубопровода 34. Первичный измерительный элемент 33 вызывает изменение давления в текучей среде, если она проходит мимо первичного измерительного элемента 33. Это изменение давления (изменение дифференциального давления) относится к движению технологической текучей среды. Датчик дифференциального давления может использоваться для измерения этого изменения давления, а измерительная схема - использоваться для обеспечения выходных данных, относящихся к движению технологической текучей среды.

Передатчик 36 является устройством измерения параметров процесса, которое воспринимает рабочие давления через импульсный трубопровод 34. Передатчик 36 воспринимает дифференциальное рабочее давление и преобразовывает его в стандартизированный сигнал передачи, который является функцией последовательности технологических операций (потока).

Контур 38 процесса предпочтительно обеспечивает и сигнал питания на передатчик 36 от аппаратной 40, и двунаправленную связь, и может создаваться в соответствии с рядом протоколов связи процесса. В иллюстрируемом примере контур 38 процесса является двухпроводным контуром. Двухпроводный контур используется, чтобы передавать всю мощность питания и все передачи на передатчик 36, и от него в течение обычных операций с помощью сигнала в 4-20 мА. Компьютер 42 или другая система обработки информации через модем 44, или другой сетевой интерфейс, используется для связи с передатчиком 36. Удаленный источник напряжения 46 питает передатчик 36. Другой пример контура управления процессом представляет беспроводная связь, в которой данные передаются с помощью беспроводных технологий либо непосредственно на централизованное место, или на конфигурацию типа ячеистой сети или с использованием других способов.

Фиг.2 является упрощенной блок-схемой одного варианта осуществления передатчика 36 давления. Передатчик 36 давления включает в себя модуль 52 датчика и плату 72 электроники, связанные вместе через шину данных 66. Электроника 60 модуля датчика связывает с датчиком 56 давления, который принимает приложенное дифференциальное давление 54. Информационное соединение 58 связывает датчик 56 с аналого-цифровым преобразователем 62. Необязательный термодатчик 63 также иллюстрируется наряду с запоминающим устройством 64 модуля датчика. Плата 72 электроники включает в себя микрокомпьютерную систему 74, запоминающее устройство 76 модуля электроники, цифроаналоговое преобразование 78 сигнала и блок 80 цифровой связи. Выход обеспечивается на контуре 38 относящимся к воспринятому давлению. Фиг.2 также схематично иллюстрирует внешний емкостный датчик деформации 59, который размещается внешне по отношению к корпусу датчика 56 давления и выполнен с возможностью обеспечивать емкостную величину. Датчик 59 выполнен с возможностью иметь емкостную величину, которая изменяется в ответ на деформацию корпуса датчика 56 давления вследствие приложенного давления. Как схематично проиллюстрировано на Фиг.2, давление в линии прикладывается к корпусу датчика 56 давления вследствие приложения давления 54.

В соответствии со способами, изложенными в патенте США № 6295875, выданном Frick и др., передатчик 36 давления измеряет дифференциальное давление. Однако настоящее изобретение не ограничивается такой конфигурацией.

На Фиг.3 показан упрощенный вид поперечного сечения для одного варианта осуществления модуля датчика 52, показывающий датчик 56 давления. Датчик 56 давления взаимодействует с технологической текучей средой через изолирующие диафрагмы 90, которые изолируют технологическую текучую среду от полостей 92. Полости 92 взаимодействуют с модулем 56 датчика давления через капиллярные трубки 94. По существу несжимаемая заполняющая текучая среда заполняет полости 92 и капиллярные трубки 94. Когда давление от технологической текучей среды прикладывается к диафрагмам 90, оно передается на датчик 56 давления.

Согласно одному варианту осуществления, датчик 56 давления образован из двух половин 114 и 116 датчика давления и заполнен по существу несжимаемым сплошным материалом 105, таким как стекло или керамика. Центральная диафрагма 106 расположена внутри полости 132, 134, сформированной внутри датчика 56. Внешняя стенка полости 132, 134 несет электроды 144, 146, 148 и 150. Эти электроды обычно именуются первичными электродами 144 и 148 и вторичными электродами 146 и 150. Эти электроды образуют конденсаторы по отношению к подвижной диафрагме 106. Конденсаторы опять именуются первичными и вторичными конденсаторами, соответственно.

Как проиллюстрировано на Фиг.3, различные электроды в датчике 56 соединяются с аналого-цифровым преобразователем 62 по электрическому соединению 103, 104, 108 и 110. Дополнительно, изгибаемая диафрагма 106 соединяется с аналого-цифровым преобразователем 62 через соединение 109.

Как описано в патенте США № 6295875, дифференциальное давление, приложенное к датчику 56, можно измерять, используя электроды 144, 146, 148 и 150. Как обсуждено ниже, на Фиг.3 схематично иллюстрируется емкостный передатчик 56 дифференциального давления, который описан ниже более подробно.

В действии, давления P1 и P2 прижимают изолирующую диафрагму 90, посредством этого нажимая по существу на несжимаемую заполняющую текучую среды, которая заполняет полость между центральной диафрагмой 106 и изолирующей диафрагмой 90. Это заставляет центральную диафрагму 106 изгибаться, приводя к изменению емкости между диафрагмой 106 и электродами 146, 144, 148, и 150. Используя известные способы, изменения в этих емкостях можно измерять и использовать, чтобы определить дифференциальное давление.

На Фиг.4 показан упрощенный вид поперечного сечения датчика 56, используемый для иллюстрации действия по настоящему изобретению. Фиг.4 иллюстрирует различные электрические соединения с электродами 144, 146, 148, и 150.

В течение действия датчика 56 давления, давление в линии, приложенное к датчику давления через капиллярные трубки 94 (см. Фиг.3), вызывает деформацию в корпусе 220 датчика 56 давления. Хотя оба давления P1 и P2 вызывают деформацию датчика. Датчик будет основываться на трех различных условиях. Высокое давление до элемента (точки измерения) и низкое давление после элемента, и низкое давление до элемента и высокое давление после элемента и высокое давление до элемента с высоким давлением после элемента. Датчик будет измерять давление в линии, определенное в виде максимального из давления после элемента или до элемента. Приложенное давление в линии вызывает разность давлений между давлением внутри корпуса 220 и внутренней среды передатчика давления. Этот перепад давлений вызывает деформацию в корпусе 220. В примере, приведенном на Фиг.4, показана значительно преувеличенная деформация. Конкретно, приложенное давление в линии вызывает «выпучивание» наружу наружных стенок 200 и 202 корпуса 220 до позиций, показанных пунктиром в 200' и 202'.

Настоящее изобретение обеспечивает способ измерения давления в линии на основании деформирования, или изгиба, вдоль края датчика 56 давления. Этот изгиб иллюстрируется пунктирными линиями, помеченными 200' и 202'. Около центрального конца датчика 56 величина перемещения иллюстрируется в виде Δd1. Как показано на Фиг.4, перемещение около центра датчика 56 Δd1 больше перемещения около края Δd2. Давление в линии относится к и Δd1, и Δd2, а также относительному измерению, такому как Δd1-Δd2 или Δd1/Δd2.

Фиг.5 представляет упрощенный вид поперечного сечения датчика 56, иллюстрирующий один способ для измерения перемещения Δd1 или Δd2. В примерном варианте осуществления по Фиг.5 осуществляется мониторинг перемещений путем помещения кольцевых емкостных электродов 240 и 242 очень близко к одному концу датчика 56. Электроды 240, 242 выполняются на изолированной несущей пластине 244, поддерживаемой держателем 248. В одной конфигурации держатель 248 содержит трубку или подобное. Держатель 248 может прикрепляться по непрерывной линии (постоянно), или в точках, к датчику 56 и изолированной несущей пластине 244. В другой примерной конфигурации держатель 248 содержит множественные держатели или имеет форму, которая не проходит непрерывно вдоль внешней окружности датчика 56. В другой примерной конфигурации изолированная несущая пластина 244 монтируется к капиллярной трубке 94 с использованием связующего вещества 250. Такая конфигурация может необязательно включать в себя держатель 248. В такой конфигурации, изолирующая несущая пластина 244 может или не может крепиться к держателю 248. Предпочтительно, держатель пластины 244 сконфигурирован, чтобы либо испытывать небольшое деформирование в ответ на давление в линии или деформироваться способом, который вносит вклад в Δd1 и/или Δd2, чтобы посредством этого повысить чувствительность устройства.

Обеспечиваются электрические соединения к электродам 240 и 242 и могут использоваться для измерения емкостей C1 и C2, которые образуются по отношению к корпусу 220 датчика.

Номинальное расстояние d0 между электродами 240 и 242 и датчиком может регулироваться при монтаже изолированной несущей пластины 244 относительно корпуса 220 датчика. Диэлектрическим материалом между электродами 240, 242 и корпусом датчика может быть окружающий газ, который окружает датчик 56, например азот. В одном предпочтительном варианте осуществления конденсаторы C1 и C2 имеют одинаковую величину (то есть, C1=C2) в исходном положении. В такой конфигурации номинальные изменения расстояния d0 или диэлектрической константы газа не влияют на разность между C1 и C2, поскольку в состоянии покоя C1-C2=0. Несколько улучшенную избыточность можно получить, помещая емкостные датчики на обеих сторонах датчика 56. В одной конфигурации термодатчик также обеспечивается и используется, чтобы обеспечивать температурную компенсацию по отношению к измерениям давления в линии вследствие изменений емкости C1, C2 на основе температуры. Датчик 59 деформации, иллюстрируемый на Фиг.2, как таковой образуется электродами, показанными на Фиг.5, которые внешне монтируются к корпусу датчика способом, посредством чего их емкость меняется в ответ на деформацию корпуса датчика.

Хотя настоящее изобретение было описано со ссылкой на предпочтительные варианты осуществления, специалисты в данной области техники признают, что могут делаться изменения по форме и деталям без выхода за рамки существа и объема изобретения. Например, корпус датчика и изолированная несущая пластина не обязательно должны иметь круглую форму. Могут использоваться различные способы крепления, чтобы уменьшить напряжение, которое прикладывается к несущей пластине. Как используется в документе, "текучая среда" включает в себя жидкости и газы, или смеси, которые могут включать в себя твердые вещества.

1. Датчик давления в сборе для измерения давления технологической текучей среды, содержащий:
корпус датчика, имеющий сформированную в нем полость и первое и второе отверстия к полости, сконфигурированные для приложения первого и второго давлений;
диафрагму в полости, отделяющую первое отверстие от второго отверстия, чувствительную к дифференциальному давлению;
первый электрод, смонтированный наружно к корпусу датчика, выполненный с возможностью формировать первую емкость с корпусом датчика, причем первая емкость меняется в ответ на давление в линии технологической текучей среды вследствие деформации корпуса датчика; и
измерительную схему, связанную с электродом, выполненную с возможностью измерять давление в линии на основе первой емкости.

2. Датчик по п.1, включающий в себя второй электрод, смонтированный наружно к корпусу датчика, и при этом вторая емкость формируется между вторым смонтированным электродом и корпусом датчика.

3. Датчик по п.1, включающий в себя второй электрод, смонтированный наружно к корпусу датчика, и при этом измерительная схема имеет выход, относящийся к давлению в линии, на основании первой емкости, измеренной с использованием первого электрода, и второй емкости, использующей второй электрод.

4. Датчик по п.1, включающий в себя изоляционную пластину, сконфигурированную для несения электрода.

5. Датчик по п.4, в котором изоляционная пластина монтируется к корпусу датчика.

6. Датчик по п.5, в котором изоляционная пластина монтируется к держателю, который монтируется к корпусу датчика.

7. Датчик по п.4, в котором изоляционная пластина монтируется к капиллярной трубке, связанной с корпусом датчика.

8. Датчик по п.1, включающий в себя датчик дифференциального давления, связанный с диафрагмой, имеющей выход, относящийся к дифференциальному давлению, на основании перемещения диафрагмы внутри полости.

9. Датчик по п.8, в котором выход основывается на переменной емкости, которую образует диафрагма.

10. Датчик по п.1, в котором измерение давления в линии является компенсированным на основе температуры.

11. Передатчик параметров процесса для измерения давления технологической текучей среды, включающий в себя датчик давления по п.1.

12. Способ для измерения дифференциального давления и давления в линии технологической текучей среды, содержащий:
монтаж изгибаемой диафрагмы в полости в корпусе датчика;
приложение первого давления технологической текучей среды к одной стороне изгибаемой диафрагмы в полости;
приложение второго давления технологической текучей среды к другой стороне изгибаемой диафрагмы в полости;
определение дифференциального давления на основании прогиба изгибаемой диафрагмы;
формирование первой емкости с помощью первого электрода, позиционированного наружно к корпусу датчика, первая емкость образуется между электродом и корпусом датчика и имеет емкость, которая изменяется на основании деформации корпуса датчика вследствие давления в линии технологической текучей среды; и
определение давления в линии технологической текучей среды на основании изменений емкости.

13. Способ по п.12, включающий в себя обеспечение второго электрода, смонтированного наружно к корпусу датчика, и при этом давление в линии определяется на основании первой емкости, измеренной с использованием первого электрода, и второй емкости, использующей второй электрод.

14. Способ по п.12, включающий в себя определение дифференциального давления путем измерения на основе перемещения диафрагмы внутри полости на основании емкости диафрагмы.

15. Способ по п.12, включающий в себя компенсирование измерения давления в линии на основании температуры.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к преобразователям давления, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления среды в условиях воздействия нестационарной температуры измеряемой среды.

Изобретение относится к преобразователям давления. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерения давления за счет уменьшения содержания посторонних молекул, растворенных в газе или жидкости.

Предлагаемое устройство относится к приборостроению и может быть использовано в системах дистанционного сбора информации о давлении в различных отраслях промышленности.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной цепью.

Изобретение относится к измерительной технике и активному неразрушающему контролю и может быть использовано для измерения давления контролируемой среды. Способ измерения давления контролируемой среды включает измерение сигналов колебаний давления в объекте исследования посредством датчика, преобразование сигналов через аналого-цифровой преобразователь и регистрацию получаемых цифровых сигналов.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной цепью, предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов длительного функционирования.

Изобретение относится к датчика давления и может быть использовано в устройствах для регистрации давления текучих сред. Техническим результатом является улучшение конструкции и функциональных возможностей устройства.

Изобретение относится к нефтегазодобывающей промышленности и может найти применение для месторождений, на которых достижение рентабельного дебита возможно только при снижении забойных давлений ниже давления насыщения.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давлений жидких и газообразных агрессивных сред в условиях воздействия широкого диапазона стационарных и нестационарных температур.

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться в датчиках давления. .

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных средств. Датчик содержит корпус, установленную в нем нано- и микроэлектромеханическую систему (НиМЭМС), состоящую из упругого элемента - мембраны с жестким центром, с периферийным основанием в виде оболочки вращения, образованной на ней гетерогенной структуры из тонких пленок материалов, в которой сформированы контактные площадки, первые радиальные тензорезисторы из одинаковых тензоэлементов, расположенных по одной окружности мембраны, и вторые радиальные тензорезисторы из одинаковых тензоэлементов, расположенных по другой окружности на мембране, соединенные перемычками, включенные в измерительный мост. Радиус жесткого центра определен из соотношения: rж.ц.=0,42rм, где rм - радиус мембраны. При этом тензоэлементы первых радиальных тензорезисторов расположены по окружности, радиус которой определен из соотношения r1=0,444rм, а тензоэлементы вторых радиальных тензорезисторов расположены по окружности, радиус которой определен из соотношения r2=0,733 rм. Техническим результатом изобретения является повышение точности за счет повышения чувствительности при одновременном уменьшении нелинейности. 5 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в приборах измерения давления жидкостей и газов. Техническим результатом изобретения является упрощение конструкции и технологии изготовления датчика давления. Датчик давления содержит измерительный блок, упругую мембрану и, по меньшей мере, один колебательный упругий элемент (резонатор), связанный с мембраной с возможностью изменения его натяжения в соответствии с деформацией мембраны. Мембрана выполнена круглой в плане и, по крайней мере, с одним концентрическим гофром (или несколькими концентрическими гофрами), перекрытым закрепленным на его краях кольцевым резонатором из магнитного материала или с дополнительным магнитным элементом (элементами). Измерительный блок содержит по меньшей мере один электромагнит и выполнен с возможностью возбуждения колебания резонаторов и регистрации их колебаний. 11 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к бесшкальным манометрам. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерений. Датчик давления для считывания давления технологической текучей среды содержит корпус датчика, подвергаемый воздействию давления технологической текучей среды. Корпус датчика деформируется в ответ на давление. Диафрагма, подвешенная в корпусе датчика, имеет натяжение, которое изменяется в ответ на деформацию корпуса датчика. Резонансную частоту диафрагмы измеряют. Измеренная резонансная частота является показателем давления в магистрали технологической текучей среды и целостности системы разделительной заполняющей текучей среды. Кроме измерения резонансной частоты, в качестве средства диагностики для оценки состояния исправности датчика можно использовать саму моду колебаний. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 5 ил.

Заявленная группа изобретений относится к датчикам, которые используются в устройствах для детектирования давления текучих сред (жидкостей и газообразных сред) в различных областях, например в автомобильной промышленности, в бытовых электрических приборах, в области сохранения окружающей среды и общего контроля в гидротермальной санитарии или в области медицины. Заявленная группа изобретений включает способ для изготовления множества датчиков, в частности датчиков давления, а также датчики, полученные посредством вышеуказанного способа. Причем датчик, в частности датчик давления, имеет конструкцию, которая содержит опорный корпус (10); схемную компоновку (4), содержащую компоненты (3а, 3b, 3c, 3d) схемы, среди которых есть средство (3с) детектирования для генерации электрических сигналов, представляющих детектируемую величину; и по меньшей мере один опорный элемент (4а) схемы, который подсоединен к опорному корпусу (10) и имеет поверхность, на которой сформировано множество упомянутых компонентов (3а, 3b, 3c, 3d) схемы, среди которых есть электропроводящие дорожки (3а, 3b), причем опорный элемент (4а) схемы прикреплен посредством ламинирования на первую поверхность опорного корпуса (10). Заявленный способ для изготовления множества датчиков содержит операции: обеспечения множества опорных корпусов (10); обеспечения множества схемных компоновок (4), при этом каждая схемная компоновка содержит компоненты (3а, 3b, 3с, 3d) схемы, среди которых есть средство (3с, 12) детектирования для генерации электрических сигналов, представляющих детектируемую величину; обеспечения множества опорных элементов (4а) схемы, каждый из которых имеет поверхность, на которой сформировано множество (3а, 3b, 3с, 3d) упомянутых компонентов (3а, 3b, 3с, 3d) схемы, среди которых есть электропроводящие дорожки (3а, 3b); и подсоединения каждого опорного элемента (4а) схемы к соответственному опорному корпусу (10, 10', 10"). Технический результат заключается в изготовлении датчика, устойчивого к разнообразным условиям применения и/или к относительно высоким температурам, а также более простого, более удобного и более быстрого. 4 н. и 13 з.п. ф-лы, 26 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к преобразователям давления, и может быть использовано в различных областях науки техники, связанных с измерением перепада давления среды. Техническим результатом изобретения является уменьшение погрешности датчика разности давления. Датчик давления содержит корпус, в котором герметично размещены полупроводниковые чувствительные элементы, на которых сформированы тензодатчики, две полости, заполненные электроизоляционной жидкостью и расположенные с торцов по ходу движения жидкости. Первый полупроводниковый чувствительный элемент с первым тензодатчиком расположены между полостями, второй полупроводниковый чувствительный элемент параллелен первому полупроводниковому чувствительному элементу. Корпус загерметизирован профилированными мембранами, расположенными с зазором относительно сторон корпуса. Полупроводниковые чувствительные элементы выполнены в виде микроэлектромеханических структур разной толщины. Второй чувствительный элемент со стороны тензодатчика соединен с атмосферой и имеет толщину большую, чем первый чувствительный элемент. 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к преобразователям давления, и может быть использовано в различных областях науки и техники, связанных с измерением перепада давления среды. Техническим результатом изобретения является повышение надежности и работоспособности высокоточного дифференциального датчика давления во время и после кратковременных многократных перегрузок. Полупроводниковый датчик перепада давления содержит полупроводниковую мембрану из кремния, тензодатчик в виде мостовой схемы из тензорезисторов, первый стопорный элемент и второй стопорный элемент. Первый стопорный элемент выполнен из кремния и содержит стопорный выступ в области напротив канавки полупроводниковой мембраны, стопорное углубление напротив центрального выступа полупроводниковой мембраны, расположенное с зазором от центрального выступа мембраны, а также центральное сквозное отверстие. Стопорный элемент закреплен плоской стороной на стеклянной подложке из материала с одинаковым с кремнием коэффициентом теплового расширения и имеющей центральное сквозное отверстие, совпадающее с отверстием первого стопорного элемента. Второй стопорный элемент выполнен из кремния и содержит второй центральный стопорный выступ, окруженный первой канавкой, а также стопорный выступ, окруженный второй канавкой, расположенный с зазором относительно обратной стороны полупроводниковой мембраны в области напротив канавки полупроводниковой мембраны. 2 ил.

Изобретение относится к области «физика материального взаимодействия». Способ определения механических параметров нарушенной материальной среды в условиях фиксированного внешнего воздействия заключается в том, что фиксируют определяющий для исследуемой среды физический параметр внешнего воздействия - температуру Т(°С), плотность ρ (кг/см3), ускорение гравитационного притяжения (g, м/с2) и движения материального тела (α, м/с2), световое излучение, радиоактивность, электрическое и магнитное воздействие, устанавливают требуемый механический параметр материальной среды с учетом влияния физических определяющих параметров внешнего воздействия, определяют угол внутреннего трения и удельное сцепление cстр (кГ/см2) структурированной (природной) среды. Параметры угла внутреннего трения и удельного сцепления cн нарушенной среды определяют в фиксированных условиях внешнего воздействия, используя выражения а механические параметры материальной среды, используя фиксированные параметры и cн, и cстр в заданных условиях внешнего воздействия. Технический результат - возможность определения известных механических параметров нарушенной материальной среды через универсальные физические величины прочности: угол внутреннего трения и удельное сцепление, присущие всем материальным средам в структурированном и нарушенном состоянии.

Предлагаемое изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам измерения давления, и может быть использовано при измерении динамического давления совместно с пьезоэлектрическими датчиками динамического давления. Устройство измерения динамического давления содержит пьезоэлемент 1 и измерительный блок 2, который состоит из генератора переменного тока 3, усилителя широкополосного 4, полосового фильтра 5, выпрямителя 6, фильтра нижних частот 7 и микроконтроллера 8. Выход пьезоэлемента 1 подключен к выходу генератора переменного тока 3, а выход генератора переменного тока 3 - к усилителю широкополосному 4. Усилитель широкополосный 4 соединен с полосовым фильтром 5 и фильтром нижних частот 7. Полосовой фильтр 5 через выпрямитель 6 соединен с первым входом микроконтроллера 8, второй вход которого подключен к фильтру нижних частот 7. Технический результат заключается в повышении быстродействия устройства путем одновременного измерения температуры и динамического давления, повышении точности устройства при измерении динамического давления путем коррекции температурной погрешности измерения динамического давления. 1 ил.

Изобретение относится, в общем, к устройству измерения давления и, в частности, к узлу кварцевого измерительного преобразователя давления и температуры, характеризующегося улучшенной коррекцией ошибок при воздействии градиентов давления и температуры. Заявленный узел измерительного преобразователя содержит первый, второй, третий и четвертый генераторы (19, 20, 21, 22) с кварцевой стабилизацией частоты и первый, второй, третий и четвертый кварцевые резонаторы (2, 3, 4, 5) с колебаниями сдвига по толщине, где первый, второй, третий и четвертый генератор управляется соответственно первым, вторым, третьим и четвертым кварцевым резонатором, при этом первый и второй кварцевые резонаторы образуют соответственно резонатор (2) давления и опорный резонатор (3), которые вместе конструктивно исполнены как датчик давления, обеспечивающий частотный выходной сигнал (8); третий кварцевый резонатор (4) образует первый резонатор температуры, конструктивно исполненный как датчик температуры, обеспечивающий частотный выходной сигнал (9); и четвертый кварцевый резонатор (5) образует второй датчик температуры, при этом частотный выходной сигнал (22) четвертого генератора микшируют с частотным выходным сигналом третьего генератора (21) для получения динамического теплового выходного сигнала (10), и резонатор (5) второго датчика температуры является частью того же держателя (6), что и опорный резонатор (3) и первый резонатор (4) температуры, или является частью другого держателя (7). Технический результат заключается в повышении точности измерений. 37 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретения относятся к измерительной технике, в частности к средствам и методам для измерения давления. В устройстве используются пленочные емкостные датчики, позволяющие измерять пульсации давления, возникающие от нагрузки вибрации, также устройство содержит державку, демпфер, снижающий нагрузки от вибраций, который размещен на наружной поверхности объекта измерений, а пленочные датчики размещены снаружи и внутри объекта на разных участках. При этом один пленочный датчик закреплен на державке, а на демпфере наклеен другой пленочный датчик, расположенный на одном уровне с первым датчиком. Сущность способа заключается в том, что до проведения эксперимента пленочные емкостные датчики наклеивают на поверхности исследуемого объекта. После этого выбирают наиболее критичные параметры, например коэффициенты преобразования каналов, амплитудно-частотные характеристики каналов, шумы аппаратуры и внешних электромагнитных помех. В процессе эксперимента на выходе усилителя напряжения измеряют общий сигнал - смешанные сигналы шумов аппаратуры и внешних электромагнитных помех, пульсации давления, создаваемые ускорением от вибрирующего исследуемого объекта и излучаемые в окружающую среду. Технический результат заключается в повышении точности измерения быстропеременного давления и быстродействия обработки измерений, расширении области применения. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.
Наверх