Датчик давления



Датчик давления
Датчик давления
Датчик давления
Датчик давления

 

G01L9/00 - Измерение постоянного или медленно меняющегося давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов с помощью электрических или магнитных элементов, чувствительных к механическому давлению; передача и индикация перемещений элементов, чувствительных к механическому воздействию, используемых для измерения давления с помощью электрических или магнитных средств (измерение разности двух или более величин давления G01L 13/00; одновременное измерение двух и более величин давления G01L 15/00; вакуумметры G01L 21/00)

Владельцы патента RU 2547757:

Общество с ограниченной ответственностью "СПИНТЕК" (RU)

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в приборах измерения давления жидкостей и газов. Техническим результатом изобретения является упрощение конструкции и технологии изготовления датчика давления. Датчик давления содержит измерительный блок, упругую мембрану и, по меньшей мере, один колебательный упругий элемент (резонатор), связанный с мембраной с возможностью изменения его натяжения в соответствии с деформацией мембраны. Мембрана выполнена круглой в плане и, по крайней мере, с одним концентрическим гофром (или несколькими концентрическими гофрами), перекрытым закрепленным на его краях кольцевым резонатором из магнитного материала или с дополнительным магнитным элементом (элементами). Измерительный блок содержит по меньшей мере один электромагнит и выполнен с возможностью возбуждения колебания резонаторов и регистрации их колебаний. 11 з.п. ф-лы, 4 ил.

 

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в приборах измерения давления жидкостей и газов.

Известны МЭМС-датчики давления, основанные на измерении прогиба мембраны под действием измеряемого давления (например, EP 2520917, РФ 2324157, US 8316718).

Недостатком подобных датчиков является нестабильность характеристик, связанная, в частности, с необходимостью значительной деформации мембраны, вызывающей постепенное изменение ее свойств.

Известны также МЭМС-датчики давления, содержащие колебательные элементы в виде полос или мембран, амплитуда и/или частота колебаний которых зависит от плотности газа, зависящей, в частности, от измеряемого давления (заявка US 2011/0107838).

Недостатками их является зависимость эффекта от вида газа, практическая невозможность использования для измерения давления жидкостей.

Известен датчик давления жидкости, содержащий упругую мембрану, частота собственных колебаний которой зависит от степени ее упругой деформации, вызываемой измеряемой разностью давлений (заявка US 2011/0239773).

Кроме недостатков, присущих датчикам, основанным на измерении прогиба мембраны, он отличается сложностью конструкции.

Ближайшим аналогом предлагаемого изобретения является МЭМС-датчик давления, содержащий плоский резонатор, концы которого закреплены на краях канавок, выполненных в теле мембраны, форма которой меняется при изменении давления, влияя тем самым на натяжение и собственные частоты колебаний резонаторов (JP Appl. No. 2011-183857, US Appl. No. 2013/0047734).

Недостатком последнего аналога является сложность конструкции и сложность изготовления.

Задачей предлагаемого изобретения является расширение возможностей датчика давления, упрощение его конструкции и технологии изготовления.

Указанная задача решается тем, что датчик выполнен в виде упругой круглой в плане мембраны (однослойной или многослойной) с одним концентрическим гофром или с несколькими концентрическими гофрами разных диаметров и резонаторами (резонатором), каждый из которых связан с мембраной с возможностью изменения его натяжения в соответствии с деформацией мембраны, для чего резонаторы (резонатор) выполнены в виде кольцевых полос, перекрывающих гофры и закрепленных на краях гофр, причем выполнены из магнитного материала или содержат дополнительный магнитный элемент (один или несколько), а измерительный блок содержит по крайней мере один электромагнит, выполненный с возможностью возбуждения колебания резонаторов и регистрации их колебаний. Обмоток электромагнитных может быть больше одной - в этом случае функции возбуждения и регистрации могут быть разделены между ними.

Поперечное натяжение резонаторов зависит от степени деформации упругой мембраны, т.е. от разности давлений газа или жидкости, оказываемых на ее противоположные поверхности. От поперечного натяжения резонатора зависит частота его собственных колебаний, а также длина продольной (тангенциальной) волны, образующейся в ней при внешнем возбуждении. В случае использования датчика, имеющего гофры и соответствующие резонаторы разных диаметров (или разных диаметров и с разной шириной), длины волн колебаний этих резонаторов и, соответственно, частоты колебаний, будут отличаться, благодаря тому, что при одном и том же давлении резонаторы с разными радиусами будут содержать отличающиеся гармоники колебаний, что связано с двумя причинами:

- продольные (вдоль окружности) колебания резонаторов зависят от их длины (длины окружности) и определяются, в частности, условиями образования стоячих волн;

- радиальное напряжение (сила, приходящаяся на единицу длины) при одной и той же разности давлений с двух сторон мембраны имеет большую величину у резонаторов с большим диаметром, чем у резонаторов с меньшим диаметром (благодаря, в частности, несферичности мембраны при деформации под действием давления).

Электромагнит измерительного блока может быть выполнен любым известным способом (ниже приведены варианты).

Вариантом предлагаемого датчика является датчик, у которого мембрана выполнена из двух наложенных друг на друга слоев с гофрами противоположного направления, а резонатор закреплен между ними. При таком исполнении повышается защищенность резонатора.

Вариантом предлагаемого изобретения, обеспечивающим избыточность данных о давлении, позволяющую не контролировать, например, температуру датчика, является датчик, имеющий разные по диаметру или разные по диаметру и ширине гофры на мембране и соответствующие им резонаторы. Как было отмечено выше, при каждом значении измеряемого давления (дифференциального давления) каждый из резонаторов генерирует, при возбуждении колебаний в них, свои гармоники, то есть каждому давлению соответствует определенный спектр частот, генерируемых в приемной катушке. Амплитуды гармоник не имеют значения при условии, что их удается зарегистрировать.

Электромагнит измерительного блока может быть выполнен в виде обмотки, концентричной мембране и с диаметром не меньше, чем диаметр мембраны.

Вариантом предлагаемого изобретения является датчик, у которого измерительный блок содержит электромагнитную обмотку, сформированную на противоположной резонатору поверхности мембраны с возможностью ее деформации при деформации мембраны. Данная обмотка может быть:

- концентрической по отношению к мембране;

- быть локальной (неконцентрической), например в виде «пятна» - микроспирали на одном гофре или набора таких микроспиралей, соединенных, например, последовательно;

- иметь сложную форму, определяемую выбранным вариантом исполнения датчика.

При выполнении подобной спирали на кремниевой, например, мембране путем напыления алюминиевых или золотых дорожек последние могут иметь толщину, не влияющую существенно на механические свойства мембраны.

В варианте, при котором электромагнитная обмотка выполнена вытянутой в радиальном направлении мембраны и пересекающей несколько гофров с резонаторами, повышается избирательность датчика по отношению к регистрации гармоник - за счет регистрации локальных колебаний без их усреднения по всей площади мембраны (как это, например, происходит в в описанном выше варианте с концентрической обмоткой). Таких вытянутых обмоток может быть больше одной.

Вариантом предлагаемого изобретения является датчик, каждый из кольцевых резонаторов которого имеет немагнитную и магнитную части (распределенные вдоль окружности), причем магнитная часть имеет протяженность вдоль кольца резонатора порядка полудлины самой короткой из расчетных стоячих волн в резонаторе. При таком исполнении также повышается разрешение частот, в том числе при обмотках, фиксирующих сигнал со всей поверхности мембраны (а не с локальных областей резонаторов).

Магнитные части разных кольцевых резонаторов могут лежать на одной радиально направленной прямой.

Последний вариант может быть развит тем, что измерительный блок содержит электромагнитную обмотку, сформированную на противоположной резонатору поверхности мембраны с возможностью ее деформации при деформации мембраны, причем обмотка выполнена вытянутой в радиальном направлении вдоль линии расположения магнитных участков резонаторов.

Предлагаемый датчик давления может быть выполнен в варианте, предохраняющем разрушение (разрыв) резонатора при превышении допустимых давлений. Для этого мембрана выполнена так, что длина гофра (каждого гофра) g в поперечном его сечении между местами крепления к гофру резонатора и расстояние r между этими местами по прямой в том же сечении таковы, что отношение (g-r)/r не превышает допустимого относительного удлинения материала резонатора. При выполнении данного условия даже при полном выпрямлении гофров резонаторы не будут повреждены.

Градуировка датчика давления может быть произведена расчетным путем или экспериментально.

На Фиг.1 схематично (без электронной схемы блока управления) изображен вариант предлагаемого датчика в разрезе. Цифрами указаны:

1 - мембрана,

2 - резонатор из немагнитного материала,

3 - магнитные элементы,

4 - обмотка измерительного блока.

На Фиг.2 тот же вариант датчика изображен в плане, а пунктиром отмечено расположение границ радиально ориентированной обмотки.

На Фиг.3 приведен рисунок фрагмента датчика в аксонометрии.

Примером конкретного исполнения может служить датчик давления с двойной мембраной из кремния толщиной 1,0 мкм с гофрами трапецеидальной формы со сторонами, равными по 0,1 мкм, меньшим основанием 1,0 мкм и высотой 0,05 мкм, с резонатором из полиамидной пленки толщиной 0,1 мкм с нанесенными на нее в области трех гофр, ближних к краю мембраны, частицами ферромагнетика в радиальной полосе шириной 1,0 мкм. Вдоль этой радиальной полосы с другой от резонаторов стороны мембраны нанесена вытянутая трехслойная 100-витковая спираль из полоски золота толщиной 0,1 мкм и шириной 0,1 мкм. Измерительный блок включает также интегральную твердотельную электронную схему, выполняющую функцию генерации и подачи импульса возбуждения колебаний резонаторов амплитудой 1,0 В и длительностью 1,0 мс, функцию регистрации с чувствительностью 1 мкВ и функцию анализатора частот. Эта конструкция выполняется путем формирования из оксида кремния двух мембран с гофрами в подложках кремния путем фотолитографии и травления, формирования на одной из мембран многослойной обмотки, нанесения через маску на предварительно растянутую (как на пяльцах) полиамидную пленку клеящего состава и полосы из феррочастиц, совмещения и бондирования трех описанных элементов. Твердотельная схема формируется в подложке общей с одной из двух частей мембраны. На Фиг.4 приведена зависимость механического напряжения от прикладываемой силы (в области второго с краю мембраны резонатора - для приведенного примера).

Предлагаемый датчик давления имеет простую и надежную конструкцию, может быть изготовлен по хорошо известным технологиям, избыточность снимаемых с него данных повышает точность и помехоустойчивость, предусмотрен вариант исполнения, защищенного от недопустимо высоких давлений.

1. Датчик давления, содержащий измерительный блок, упругую мембрану и по меньшей мере один колебательный упругий элемент (резонатор), связанный с мембраной с возможностью изменения его натяжения в соответствии с деформацией мембраны, отличающийся тем, что мембрана выполнена круглой в плане и по крайней мере с одним концентрическим гофром (или несколькими концентрическими гофрами), перекрытым закрепленным на его краях кольцевым резонатором из магнитного материала или с дополнительным магнитным элементом (элементами), а измерительный блок содержит по меньшей мере один электромагнит и выполнен с возможностью возбуждения колебания резонаторов и регистрации их колебаний.

2. Датчик по п.1, отличающийся тем, что мембрана выполнена из двух наложенных друг на друга слоев с гофрами противоположного направления, а резонатор закреплен между ними.

3. Датчик по п.1, отличающийся тем, что имеет разные по диаметру гофры на мембране и соответствующие им резонаторы.

4. Датчик по п.3, отличающийся тем, что все или часть гофров выполнены разной ширины.

5. Датчик по п.1, отличающийся тем, что измерительный блок содержит электромагнитную обмотку, концентричную мембране и с диаметром не меньше, чем диаметр мембраны.

6. Датчик по п.1, или 3, или 4, отличающийся тем, что измерительный блок содержит по крайней мере одну электромагнитную обмотку, сформированную на противоположной резонатору поверхности мембраны с возможностью ее деформации при деформации мембраны.

7. Датчик по п.1, отличающийся тем, что по крайней мере одна электромагнитная обмотка выполнена вытянутой в радиальном направлении мембраны.

8. Датчик по п.7, отличающийся тем, что электромагнитная обмотка пересекает несколько гофр с резонаторами.

9. Датчик по п.1, отличающийся тем, что кольцевой резонатор имеет немагнитную и магнитную части, причем магнитная часть имеет протяженность вдоль кольца резонатора порядка полудлины самой короткой из расчетных стоячих волн в резонаторе.

10. Датчик по п.9, отличающийся тем, что магнитные части разных кольцевых резонаторов лежат на одной радиально направленной прямой.

11. Датчик по п.10, отличающийся тем, что измерительный блок содержит электромагнитную обмотку, сформированную на противоположной резонатору поверхности мембраны с возможностью ее деформации при деформации мембраны, причем обмотка выполнена вытянутой в радиальном направлении вдоль линии расположения магнитных участков резонаторов.

12. Датчик по п.1, отличающийся тем, что длина гофра g в поперечном его сечении между местами крепления к нему резонатора и расстояние r между этими местами по прямой в том же сечении таковы, что отношение (g-r)/r не превышает допустимого относительного удлинения материала резонатора.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных средств. Датчик содержит корпус, установленную в нем нано- и микроэлектромеханическую систему (НиМЭМС), состоящую из упругого элемента - мембраны с жестким центром, с периферийным основанием в виде оболочки вращения, образованной на ней гетерогенной структуры из тонких пленок материалов, в которой сформированы контактные площадки, первые радиальные тензорезисторы из одинаковых тензоэлементов, расположенных по одной окружности мембраны, и вторые радиальные тензорезисторы из одинаковых тензоэлементов, расположенных по другой окружности на мембране, соединенные перемычками, включенные в измерительный мост.

Изобретение относится к датчикам давления, используемым для измерения технологической текучей среды и дифференциального давления. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерений давления.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к преобразователям давления, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления среды в условиях воздействия нестационарной температуры измеряемой среды.

Изобретение относится к преобразователям давления. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерения давления за счет уменьшения содержания посторонних молекул, растворенных в газе или жидкости.

Предлагаемое устройство относится к приборостроению и может быть использовано в системах дистанционного сбора информации о давлении в различных отраслях промышленности.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной цепью.

Изобретение относится к измерительной технике и активному неразрушающему контролю и может быть использовано для измерения давления контролируемой среды. Способ измерения давления контролируемой среды включает измерение сигналов колебаний давления в объекте исследования посредством датчика, преобразование сигналов через аналого-цифровой преобразователь и регистрацию получаемых цифровых сигналов.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной цепью, предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов длительного функционирования.

Изобретение относится к датчика давления и может быть использовано в устройствах для регистрации давления текучих сред. Техническим результатом является улучшение конструкции и функциональных возможностей устройства.

Изобретение относится к нефтегазодобывающей промышленности и может найти применение для месторождений, на которых достижение рентабельного дебита возможно только при снижении забойных давлений ниже давления насыщения.

Изобретение относится к бесшкальным манометрам. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерений. Датчик давления для считывания давления технологической текучей среды содержит корпус датчика, подвергаемый воздействию давления технологической текучей среды. Корпус датчика деформируется в ответ на давление. Диафрагма, подвешенная в корпусе датчика, имеет натяжение, которое изменяется в ответ на деформацию корпуса датчика. Резонансную частоту диафрагмы измеряют. Измеренная резонансная частота является показателем давления в магистрали технологической текучей среды и целостности системы разделительной заполняющей текучей среды. Кроме измерения резонансной частоты, в качестве средства диагностики для оценки состояния исправности датчика можно использовать саму моду колебаний. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 5 ил.

Заявленная группа изобретений относится к датчикам, которые используются в устройствах для детектирования давления текучих сред (жидкостей и газообразных сред) в различных областях, например в автомобильной промышленности, в бытовых электрических приборах, в области сохранения окружающей среды и общего контроля в гидротермальной санитарии или в области медицины. Заявленная группа изобретений включает способ для изготовления множества датчиков, в частности датчиков давления, а также датчики, полученные посредством вышеуказанного способа. Причем датчик, в частности датчик давления, имеет конструкцию, которая содержит опорный корпус (10); схемную компоновку (4), содержащую компоненты (3а, 3b, 3c, 3d) схемы, среди которых есть средство (3с) детектирования для генерации электрических сигналов, представляющих детектируемую величину; и по меньшей мере один опорный элемент (4а) схемы, который подсоединен к опорному корпусу (10) и имеет поверхность, на которой сформировано множество упомянутых компонентов (3а, 3b, 3c, 3d) схемы, среди которых есть электропроводящие дорожки (3а, 3b), причем опорный элемент (4а) схемы прикреплен посредством ламинирования на первую поверхность опорного корпуса (10). Заявленный способ для изготовления множества датчиков содержит операции: обеспечения множества опорных корпусов (10); обеспечения множества схемных компоновок (4), при этом каждая схемная компоновка содержит компоненты (3а, 3b, 3с, 3d) схемы, среди которых есть средство (3с, 12) детектирования для генерации электрических сигналов, представляющих детектируемую величину; обеспечения множества опорных элементов (4а) схемы, каждый из которых имеет поверхность, на которой сформировано множество (3а, 3b, 3с, 3d) упомянутых компонентов (3а, 3b, 3с, 3d) схемы, среди которых есть электропроводящие дорожки (3а, 3b); и подсоединения каждого опорного элемента (4а) схемы к соответственному опорному корпусу (10, 10', 10"). Технический результат заключается в изготовлении датчика, устойчивого к разнообразным условиям применения и/или к относительно высоким температурам, а также более простого, более удобного и более быстрого. 4 н. и 13 з.п. ф-лы, 26 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к преобразователям давления, и может быть использовано в различных областях науки техники, связанных с измерением перепада давления среды. Техническим результатом изобретения является уменьшение погрешности датчика разности давления. Датчик давления содержит корпус, в котором герметично размещены полупроводниковые чувствительные элементы, на которых сформированы тензодатчики, две полости, заполненные электроизоляционной жидкостью и расположенные с торцов по ходу движения жидкости. Первый полупроводниковый чувствительный элемент с первым тензодатчиком расположены между полостями, второй полупроводниковый чувствительный элемент параллелен первому полупроводниковому чувствительному элементу. Корпус загерметизирован профилированными мембранами, расположенными с зазором относительно сторон корпуса. Полупроводниковые чувствительные элементы выполнены в виде микроэлектромеханических структур разной толщины. Второй чувствительный элемент со стороны тензодатчика соединен с атмосферой и имеет толщину большую, чем первый чувствительный элемент. 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к преобразователям давления, и может быть использовано в различных областях науки и техники, связанных с измерением перепада давления среды. Техническим результатом изобретения является повышение надежности и работоспособности высокоточного дифференциального датчика давления во время и после кратковременных многократных перегрузок. Полупроводниковый датчик перепада давления содержит полупроводниковую мембрану из кремния, тензодатчик в виде мостовой схемы из тензорезисторов, первый стопорный элемент и второй стопорный элемент. Первый стопорный элемент выполнен из кремния и содержит стопорный выступ в области напротив канавки полупроводниковой мембраны, стопорное углубление напротив центрального выступа полупроводниковой мембраны, расположенное с зазором от центрального выступа мембраны, а также центральное сквозное отверстие. Стопорный элемент закреплен плоской стороной на стеклянной подложке из материала с одинаковым с кремнием коэффициентом теплового расширения и имеющей центральное сквозное отверстие, совпадающее с отверстием первого стопорного элемента. Второй стопорный элемент выполнен из кремния и содержит второй центральный стопорный выступ, окруженный первой канавкой, а также стопорный выступ, окруженный второй канавкой, расположенный с зазором относительно обратной стороны полупроводниковой мембраны в области напротив канавки полупроводниковой мембраны. 2 ил.

Изобретение относится к области «физика материального взаимодействия». Способ определения механических параметров нарушенной материальной среды в условиях фиксированного внешнего воздействия заключается в том, что фиксируют определяющий для исследуемой среды физический параметр внешнего воздействия - температуру Т(°С), плотность ρ (кг/см3), ускорение гравитационного притяжения (g, м/с2) и движения материального тела (α, м/с2), световое излучение, радиоактивность, электрическое и магнитное воздействие, устанавливают требуемый механический параметр материальной среды с учетом влияния физических определяющих параметров внешнего воздействия, определяют угол внутреннего трения и удельное сцепление cстр (кГ/см2) структурированной (природной) среды. Параметры угла внутреннего трения и удельного сцепления cн нарушенной среды определяют в фиксированных условиях внешнего воздействия, используя выражения а механические параметры материальной среды, используя фиксированные параметры и cн, и cстр в заданных условиях внешнего воздействия. Технический результат - возможность определения известных механических параметров нарушенной материальной среды через универсальные физические величины прочности: угол внутреннего трения и удельное сцепление, присущие всем материальным средам в структурированном и нарушенном состоянии.

Предлагаемое изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам измерения давления, и может быть использовано при измерении динамического давления совместно с пьезоэлектрическими датчиками динамического давления. Устройство измерения динамического давления содержит пьезоэлемент 1 и измерительный блок 2, который состоит из генератора переменного тока 3, усилителя широкополосного 4, полосового фильтра 5, выпрямителя 6, фильтра нижних частот 7 и микроконтроллера 8. Выход пьезоэлемента 1 подключен к выходу генератора переменного тока 3, а выход генератора переменного тока 3 - к усилителю широкополосному 4. Усилитель широкополосный 4 соединен с полосовым фильтром 5 и фильтром нижних частот 7. Полосовой фильтр 5 через выпрямитель 6 соединен с первым входом микроконтроллера 8, второй вход которого подключен к фильтру нижних частот 7. Технический результат заключается в повышении быстродействия устройства путем одновременного измерения температуры и динамического давления, повышении точности устройства при измерении динамического давления путем коррекции температурной погрешности измерения динамического давления. 1 ил.

Изобретение относится, в общем, к устройству измерения давления и, в частности, к узлу кварцевого измерительного преобразователя давления и температуры, характеризующегося улучшенной коррекцией ошибок при воздействии градиентов давления и температуры. Заявленный узел измерительного преобразователя содержит первый, второй, третий и четвертый генераторы (19, 20, 21, 22) с кварцевой стабилизацией частоты и первый, второй, третий и четвертый кварцевые резонаторы (2, 3, 4, 5) с колебаниями сдвига по толщине, где первый, второй, третий и четвертый генератор управляется соответственно первым, вторым, третьим и четвертым кварцевым резонатором, при этом первый и второй кварцевые резонаторы образуют соответственно резонатор (2) давления и опорный резонатор (3), которые вместе конструктивно исполнены как датчик давления, обеспечивающий частотный выходной сигнал (8); третий кварцевый резонатор (4) образует первый резонатор температуры, конструктивно исполненный как датчик температуры, обеспечивающий частотный выходной сигнал (9); и четвертый кварцевый резонатор (5) образует второй датчик температуры, при этом частотный выходной сигнал (22) четвертого генератора микшируют с частотным выходным сигналом третьего генератора (21) для получения динамического теплового выходного сигнала (10), и резонатор (5) второго датчика температуры является частью того же держателя (6), что и опорный резонатор (3) и первый резонатор (4) температуры, или является частью другого держателя (7). Технический результат заключается в повышении точности измерений. 37 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретения относятся к измерительной технике, в частности к средствам и методам для измерения давления. В устройстве используются пленочные емкостные датчики, позволяющие измерять пульсации давления, возникающие от нагрузки вибрации, также устройство содержит державку, демпфер, снижающий нагрузки от вибраций, который размещен на наружной поверхности объекта измерений, а пленочные датчики размещены снаружи и внутри объекта на разных участках. При этом один пленочный датчик закреплен на державке, а на демпфере наклеен другой пленочный датчик, расположенный на одном уровне с первым датчиком. Сущность способа заключается в том, что до проведения эксперимента пленочные емкостные датчики наклеивают на поверхности исследуемого объекта. После этого выбирают наиболее критичные параметры, например коэффициенты преобразования каналов, амплитудно-частотные характеристики каналов, шумы аппаратуры и внешних электромагнитных помех. В процессе эксперимента на выходе усилителя напряжения измеряют общий сигнал - смешанные сигналы шумов аппаратуры и внешних электромагнитных помех, пульсации давления, создаваемые ускорением от вибрирующего исследуемого объекта и излучаемые в окружающую среду. Технический результат заключается в повышении точности измерения быстропеременного давления и быстродействия обработки измерений, расширении области применения. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике. Устройство для измерения давления содержит СВЧ чувствительный элемент в виде металлической полости, часть стенки которой выполнена упругой, соединенный с помощью элемента возбуждения и элемента съема электромагнитных колебаний с электронным блоком, металлическая полость выполнена в виде волновода с упругой одной торцевой стенкой, при этом электронный блок содержит генератор электромагнитных колебаний фиксированной частоты и подключенный к индикатору детектор, подсоединенные с помощью, соответственно, элемента возбуждения и элемента съема электромагнитных колебаний к волноводу у его другой торцевой стенки, а волновод выполнен в виде предельного волновода, для которого частота возбуждаемых в нем электромагнитных волн выбрана ниже минимальной частоты возбуждения в волноводе распространяющихся электромагнитных волн. Технический результат - упрощение конструкции. 1 ил.
Наверх