Способ измерения удельного сопротивление

Авторы патента:

G01R27/02 - для измерения активного, реактивного и полного сопротивления или других производных от них характеристик, двухполюсника, например постоянной времени (для измерения только фазового угла G01R 25/00)

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

265986

Саюа Соввтскик

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства №

Заявлено 31.Х.1962 (PLo 800972/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 17.111.1970. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания бХП.1970

Кл. 21а, 71

МПК G Olr

УДК 621.317,332:621. .315.592 (088.8) Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров

СССР

СПОСОВ ИЗМЕИНИЯ ДЕЛЬНОГО ЕОПРОТИВЛ НМ

Извес ген способ измерения удельного сопротивления материалов ло изменению добротности объемного колебательного контура при выполнении этого контура из исследуемого материала или введении внутрь его исследуемого материала.

Особенность предлагаемого способа состоит в том, что испытуемый материал вводят в зазор сердечника тороидальной катушки колебательного контура. Это дает возможность упростить процесс измерения.

На фиг. 1 изображен датчик с испытуемым полупроводниковым образцом; на фиг. 2вЂ” блок-схема устройства для осуществления предлагаемого способа.

Исследуемый образец 1 полупроводникового материала вводят в зазор 2 тороидального сердечника, на котором укреплена обмотка 8, являющаяся индуктивностью высокочастотного колебательного контура. Из-за возникающих в образце вихревых токов изменяется добротность контура. Сравнивая добротность контура до и после введения кристалла или пластины материала в зазор 2 сердечника, находят величину удельного сопротивления материала.

Изменение добротности, определяемое да1 чиком 4 (тороидальным сердечником с обмоткой), фиксируется индикатором 5 и может оцениваться по отклонению стрелки измерительного прибора 6. Датчик предварительно калибруют с помощью образцов, имеющих известное удельное сопротивление. Измерение производится бесконтактным методом, обеспечивающим измерение кристаллов малых раз10 меров (площадью до 2,25 мм2) с удельным сопротивлением 0,022 вЂ” 0,03б ом/cat. Погрешность не превышает 5 вЂ” 7 :о.

Предмет изобретения

15 Способ измерения удельного сопротивления, основанный на определении добротности резонансного колебательного контура, отлачшоtttttttcst тем, что, с целью упрощения процесса измерения величины удельного сопротивления

20 полупроводниковых кристаллов и тонких пластин из полупроводникового материала, кристалл или пластину вводят в зазор сердечника тороидальной катушки колебательного контура и по изменению величины добротности кон25 тура определяют удельное сопротивление испытуемого образца.

265986 Риг /

Редактор 5. b. Федотов Техред Л. Я. Левина

Корректор С. А. Кузовенкова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1738/4 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Способ измерения удельного сопротивление

Устройство для измерения концентрации солей // 261479

Устройство для дистанционного определения составляющих полной проводимости // 256853

Самобалансирующийся термисторный мост для измерения свч- мощности // 255407

Устройство для испытания резисторов на надежность // 253187

Патент 253185 // 253185

Техническая библиотекаб. и. поливода // 252459

Электроизмерительный прибор для контроля электрических параметров // 251692

Преобразователь параметров комплексныхя*те1чтыо«т«хи»ч*«и1, ^14юеа^?ё^. // 250298

Способ измерения сопротивления переменного ступенчатого резистора // 250297

Способ измерения установившегося значения сопротивления изоляции // 2101716

Изобретение относится к технике электрических измерений и предназначено для профилактических испытаний изоляции крупных электрических машин и аппаратов, имеющих большую постоянную времени

Способ измерения активных сопротивлений // 2110073

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано для измерения резисторов, сосредоточенных сопротивлений и сопротивления изоляции в электрических цепях

Способ контроля чистоты материала электропроводного изделия (варианты) // 2115934

Изобретение относится к исследованию и анализу материалов с помощью электрических средств и предназначено для контроля неоднородности электропроводного изделия по толщине материала, например, при проверки возможной подделки изделия в форме слитка из драгоценного или редкого металла

Способ измерения активного сопротивления элементов электрических цепей, содержащих индуктивности с ферромагнитным сердечником, и устройство для его осуществления // 2117307

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения параметров индуктивных элементов, а также исследования и оценки свойств ферромагнитных материалов

Инвариантный измерительный преобразователь в виде делителя напряжения // 2118826

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в приборостроении для построения параметрических измерительных преобразователей, инвариантных к изменениям параметров источников питания и другим влияющим величинам

Способ определения параметров комплексного сопротивления электрической сети от точки подключения силового трансформатора до точки с бесконечной мощностью короткого замыкания // 2118828

Изобретение относится к электроизмерительной технике, а именно к способам определения сопротивлений, и может быть использовано при экспериментальных измерениях

Мера активного сопротивления // 2119170

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано в качестве частотно-независимой меры активного сопротивления в диапазоне 1 - 100 кОм

Инвариантный измерительный преобразователь в виде делителя // 2121148

Способ контроля параметров конденсаторов, катушек индуктивностей и резисторов // 2121151

Изобретение относится к электроизмерительной технике и предназначено для контроля параметров конденсаторов, катушек индуктивностей и резисторов в процессе их производства

Способ бесконтактного измерения удельной электропроводности плоских изделий // 2121152

Изобретение относится к бесконтактным неразрушающим способам измерения удельной электропроводности плоских изделий с использованием накладных вихретоковых датчиков