Патент ссср 269298

Авторы патента:

H01L35/34 - способы и устройства для изготовления или обработки таких приборов или их частей (не предназначенные специально для этих приборов H01L 21/00)

G01R31 - Устройства для определения электрических свойств; устройства для определения местоположения электрических повреждений; устройства для электрических испытаний, характеризующихся объектом, подлежащим испытанию, не предусмотренным в других подклассах (измерительные провода, измерительные зонды G01R 1/06; индикация электрических режимов в распределительных устройствах или в защитной аппаратуре H01H 71/04,H01H 73/12, H02B 11/10,H02H 3/04; испытание или измерение полупроводниковых или твердотельных приборов в процессе их изготовления H01L 21/66; испытание линий передачи энергии H04B 3/46)

269298

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 14.П.1969 (№ 1308523/26-25) Кл. 21е, 36!10

21Ь, 27/02 с присоединением заявки №

Приоритет

МПК G Olr

Н Olm

УДК 621.362.2(088.8) Комитет па делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Опубликовано 17.1V.1970. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 16Л П.1970

Авторы изобретения

Ю. Г. Басин, Ю. А. Гриц и Е. П. Сабс "т яЯ

" г г"0Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ КОЭФФИЦИЕНТА

TEFM0-Э.Д. С. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области прямого преобразования тепловой энергии в электрическую. Устройство предлагается применять для контроля коэффициента термо-э.д. с. полупроводниковых материалов в условиях массового производства.

В известном устройстве, применяемом для массового контроля, имеет место нестабильность разности температур зонда и теплоприемника, что вызывает необходимость постоянного контроля этой разности.

Целью изобретения является стабилизация разности температур зонда и теплоприемника.

Для этого в описываемом устройстве зонд и теплоприемник соединены теплопроводящим стержнем, а нагреватель подключен к стабилизированному источнику питания. Это позволяет стабилизировать разность температур зонда и теплоприемника с ошибкой 1 вЂ” 2б/О, что вполне допустимо при выбраковке образцов в условиях массового производства.

На чертеже представлена схема описываемого устройства.

Устройство состоит из стержня 1, зонда 2, опирающегося на пружину, корпуса теплоприемника 8 с ребристым радиатором и электрода 4, изолированного от корпуса тонкой диэлектрической прослойкой 5. Электрический нагреватель 6 выполнен из манганинового провода.

Через некоторое время после включения источника питания. на стержне 1 устанавливает5 ся стационарная разность температур. При этом температура зонда 2 равна температуре верхнего конца стержня. Температура теплоприемника 3 н электрода 4 мало отличается от внешней, так как теплоприемник имеет ра10 диатор. Контролируемый образец прижимают к электроду в месте выхода зонда. Сила сжатия пружины обеспечивает постоянный контакт между зондом и образцом. Коэффициент термо-э. д. с. вычисляется как отношение величины термо-э.д. с. образца к разности температур зонда и теплоприемника.

Устройство для контроля коэффициента термо-э.д.с. полупроводниковых материалов, содержащее термозонд с электрическим нагревателем и электрод-теплоприемнпк, 0T,гичаютг1ееся тем, что, с целью стабилизации разности температур зонда и теплоприемника, они соединены теплопроводящим стержнем, а нагреватель подключен к стабилизированному источнику питания.

2692М

Составитель С. Островская

Редактор Б. С. Нанкииа Техред А. А. Камышиикова Корректор О. Б. Тюрина

Заказ 1916(12 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2