Композиционный пьезокерамический материал



Композиционный пьезокерамический материал
Композиционный пьезокерамический материал
Композиционный пьезокерамический материал
Композиционный пьезокерамический материал
Композиционный пьезокерамический материал
Композиционный пьезокерамический материал
Композиционный пьезокерамический материал
Композиционный пьезокерамический материал
Композиционный пьезокерамический материал

 


Владельцы патента RU 2604359:

федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" (RU)

Изобретение относится к композиционным керамическим пьезоэлектрическим материалам на основе фаз кислородно-октаэдрического типа и может быть использовано для изготовления гидроакустических устройств, а также приборов СВЧ и УЗ диапазонов, приборов точного позиционирования объектов (литография, туннельные растровые микроскопы) и т.д. Техническим результатом изобретения является повышение значений εT33/ε, пьезомодулей и приведенных параметров, определяющих эффективность пьезоматериалов при сохранении ими высоких значений Кp. Композиционный пьезокерамический материал включает: фазу А, полученную из PbO, ZrO2 и TiO2 при следующем соотношении компонентов, в мольных долях (PbO : ZrO2 : TiO2) : [1:(0,33-0,39):(0,61-0,67)]; фазу В, полученную из PbO, ZnO, NiO·nH2O и Nb2O5 при следующем соотношении компонентов, в мольных долях (PbO : ZnO : NiO·nH2O : Nb2O5): [1:(0,08-0,12):(0,22-0,25):0,33], где n=1-3; фазу С, полученную из PbO, Fe2O3·mH2O и Nb2О5 при следующем соотношении компонентов, в мольных долях (PbO : Fe2O3·mH2O : Nb2O5) : [1:0,25:0,25], где n=1-3. Содержание фаз A, B и C в системе в мольных долях составляет [(1-k/2) (0,54-0,6) А]+[(1-k/2)(0,4-0,46) В]+[kC], где k=0,01-0,10. 1 з.п. ф-лы, 3 пр., 4 табл., 5 ил.

 

Изобретение относится к композиционным керамическим пьезоэлектрическим материалам на основе фаз кислородно-октаэдрического типа и может быть использовано для изготовления гидроакустических устройств, а также приборов СВЧ и УЗ диапазонов, приборов точного позиционирования объектов (литография, туннельные растровые микроскопы) и т.д.

Известны пьезоэлектрические материалы, которые используются для изготовления гидроакустических преобразователей, приборов точного позиционирования объектов и т.д. [1-18].

Известен пьезоэлектрический керамический однофазный материал на основе фаз системы: PbO, TiO2, ZrO2, Nb2O5, BaO, SrO, MgO, ZnO, который используются для изготовления гидроакустических преобразователей, приборов точного позиционирования объектов и т.д. [10-12].

Материал имеет относительную диэлектрическую проницаемость поляризованных образцов εT33/ε=2700-3020, коэффициент электромеханической связи пленарной моды колебаний Кp=0,60, пьезомодуль d33=470 пКл/Н. Для указанных применений материал имеет не оптимальные значения εT33/ε и Кp.

Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе фаз системы ЦТС, включающей PbO, ZrO2, TiO2, Nb2O5, SrO (промышленно выпускаемый в России материал ЦТС-19). Материал имеет εT33/ε=1470-1760, Кp=0,42÷0,467, пьезомодули |d31|=116 пКл/Н и d33=298 пКл/Н [1, 3, 13-16].

Известен пьезокерамический материал на основе фаз системы, образованных при взаимодействии PbO, TiO2, ZrO2, Nb2O5, BaO, MgO, ZnO, при их соотношении (в мас. %): (60,52÷69,00):(5,84÷12,60):(12,94÷23,42):(1,31÷4,19):(0,00÷4,83):(0,03÷0,50):(0,40÷1,28), а также следовые массы добавок (CaO, ZnO, Ta2O5, WO3, Sb2O3, CO3O4, NiO, Cr2O3, Ag2O, Ga2O3, Y2O3, La2O3, CeO2 Pr2O3, Nd2O3, Sm2O3, Eu2O3, Gd2O3, Tb2O3, Dy2O3, Ho2O3, Er2O3, Tm2O3, Yb2O3, Lu2O3) [17].

Материал имеет εT33/ε=1500÷1800, Кp=0,50÷0,60. Для указанных применений материал имеет недостаточно высокие значения εT33/ε и Кp,

Наиболее близким к заявляемому материалу по составу и достигаемому результату является пьезоэлектрический керамический материал, изготовленный из следующих компонентов (в мас. %): PbO=60,33÷67,02, BaO=0,35÷2,23, SrO=0,64÷4,03, TiO2=10,22÷10,48, ZrO2=15,75÷17,43, Nb2O5=4,62÷4,82, MgO=0,51÷0,54, ZnO=0,38÷0,39 [18].

Для указанных применений материал имеет недостаточно высокие значения εТ33/ε при удовлетворительных значениях Кр.

Техническим результатом изобретения является повышение εТ33/ε пьезоматериалов при сохранении высоких значений Кр.

Технический результат достигается пьезокерамическим материалом, включающим

- фазу А, полученную из PbO, ZrO2 и TiO2 при следующем соотношении компонентов, в мольных долях (PbO : ZrO2 : TiO2) : [1:(0,33-0,39):(0,61-0,67)];

- фазу В, полученную из PbO, ZnO, NiO·nH2O и Nb2O5 при следующем соотношении компонентов, в мольных долях (PbO : ZnO : NiO·nH2O : Nb2O5) : [1:(0,08-0,12):(0,22-0,25):0,33], где n=1-3;

- фазу С, полученную из PbO, Fe2O3·mH2O и Nb2O5 при следующем соотношении компонентов, в мольных долях (PbO : Fe2O3·mH2O : Nb2O5) : [1:0,25:0,25], где m=1-3;

при содержании фаз А, В и С в системе, в мольных долях: [(1-k/2) (0,54-0,6) А] + [(1-k/2) (0.4-0.46) В] + [kC], где k=0,01-0,10.

При этом фаза А имеет состав PbTi1-xZrxO3, фаза В имеет состав Pb(Zn1-yNiy)0,33Nb0,67O3, фаза С имеет состав PbFe0,5Nb0,5O3, где: х=0,61-0,67; у=0,64-0,76.

Соотношение оксидов в конечном продукте, в соответствии с перерасчетом на один моль PbO, отвечает следующим значениям прекурсоров, в мольных долях.

Отличием предлагаемого материала от прототипа является использование при его изготовлении в качестве его компонентов порошков предварительно синтезированных фаз А, В и С, при синтезе которых наряду с оксидами PbO, ZrO2, TiO2, Nb2O5, использован оксид цинка ZnO и гидроксиды Ni(II) и Fe(III).

Целевой керамический композиционный пьезоматериал формируется в процессе обжига пресс-заготовок при Тсп.=1350-1450 К, изготовленных из предварительно синтезированных микродисперсных порошков фаз состава (PbTi1-xZrxO3), где х=0,61-0,67 /фаза А/, а также релаксорных фаз Pb(Zn1-yNiy)0,33Nb0,67O3, где у=0,64-0,76 /фаза В/ и (PbFe0,5Nb0,5O3) /фаза С/, которые, в свою очередь, изготовлены из исходных оксидов PbO, ZrO2, TiO2, Nb2O5, ZnO, и гидроксидов Ni(II) и Fe(III). Взаимодействие между частицами фаз A, B и C ограничивается образованием поверхностных твердых растворов. Применение при синтезе релаксорных фаз, содержащих ниобий (V), гидроксидов Fe(III) и Ni(II), препятствует образованию параллельных продуктов синтеза (фаз со структурой типа пирохлора). Это способствует сохранению состава релаксорных фаз, за счет понижения температуры их синтеза, что в свою очередь, за счет снижения дефектности фаз B и C, уменьшает скорость взаимного растворения компонентов A, B и C друг в друге, что обеспечивает образование композиционного материала с высокими электрофизическими свойствами (рис. 1 и 2).

В качестве исходных реагентов для синтеза фаз A, B и C использовались оксиды следующих квалификаций: PbO, ZrO2 и TiO2 - “ч”, ZnO, - “ч.д.а.”, Nb2O5 - “нбо-пт”, а также гидроксиды типа Fe2O3 · mH2O и NiO · nH2O, которые осаждались из нитратных солей указанных элементов щелочными реагентами (все реактивы квалификацией не ниже ч.д.а.). Содержание Fe2O3 и NiO и, соответственно, Fe2O3 · mH2O и NiO · nH2O контролировалось методом ДТА, результаты которого перепроверялись методами химического анализа, а фазовый состав продуктов разложения гидроксидов - рентгенофазовым анализом.

Ниже приведены примеры осуществления изобретения.

Пример 1. Изготовление двухфазного композиционного керамического пьезоматериала PbTi0,625Zr0,375O3 (фаза A) + Pb(Zn0,3Ni0,7)0,33Nb0,67O3 (фаза B)

На первом этапе из смеси исходных оксидов (PbO + 0,375 ZrO2 + 0,625 TiO2) (смешение осуществлялось в планетарной мельнице с ускорением 29g) при температурах ниже 1100 К (время обжига 3 часа) синтезировалась сегнетофаза состава PbTi0,625Zr0,375O3 (фаза А). Параллельно с этим из смеси оксидов и гидроксида никеля (II) (PbO + 0,10ZnO + 0,23NiO · nH2O + 0,33Nb2O5, где n=1-3) (смешение осуществлялось в планетарной мельнице с ускорением 29g) при температурах 1000-1150 К (время обжига 3 часа) синтезировалась сегнетофаза состава Pb(Zn0.3Ni0.7)1/3Nb2/3O3 (фаза В). На втором этапе из порошков состава PbTi0,625.Zr0,375O3 и Pb(Zn0.3Ni0.7)0,33Nb0,67O3, при их мольном соотношении 0,56:0,44 изготавливали их смесь (Z-образный смеситель, время смешения 30 минут 3% водный раствор ПВС), которую сушили при 379-400 К.

Из полученных смесей формовали пресс-заготовки, которые обжигали при 1175-1250 К в течение 2 часов и подвергали помолу в планетарной мельнице. Согласно данным РФА продукт синтеза двухфазный (состоит из двух фаз, с близким параметром элементарных ячеек - рисунок 4) - фазы A и B.

Из изготовленных смесей формовались пресс-заготовки в виде столбиков диаметром 12 мм, высотой 10-15 мм. Их обжиг осуществлялся при Тсп.=1350-1450 К. Длительность изотермической выдержки варьировалось от 1 до 1,5 часа. Спеченный материал разрезался на диски диаметром 10 мм и толщиной 1 мм. Их поверхностная металлизация (толщиной 7-8 мкм) проводилась методом вжигания серебросодержащей пасты при температуре Tвжиг=1000 К в течение 0,3-0,6 ч. Образцы поляризовались при нагревании на воздухе с помощью установки ПВС-5 (напряженность поля 2-4 кВ/см).

Пример 2. Изготовление композиционного пьезокерамического материала.

Порошок фазы состава PbFe0,5Nb0,5O3 (фаза С) изготавливался из смеси оксидов свинца, ниобия и гидроксида Fe(III) (PbO + 0,25Fe2O3 · mH2O + 0,25 Nb2O5, где m=1-3) путем их смешения в планетарной мельнице и обжига пресс-заготовок при температурах 1100-1250 К (время обжига от 1,5 до 3 часов).

На втором этапе порошок, представляющий собой смесь фаз A и B, изготовленный по технологии, описанной в примере 1, смешивался с порошком PbFe0.5Nb0.5O3 (фаза С) в мольном отношении A : В : С=0,554:0,436:0,01 (Z-образный смеситель, время смешения 30 минут 3% водный раствор ПВС).

Пресс-заготовки, из полученных смесей компонентов (A + В + С) изготовлялись в виде столбиков диаметром 12 мм, высотой 10-15 мм. Их обжиг осуществлялся при Тсп=1350-1450 К. Длительность изотермической выдержки варьировалась от 1 до 1,5 часа. Спеченный материал разрезался на диски диаметром 10 мм и толщиной 1 мм. Их поверхностная металлизация (толщиной 7-8 мкм) проводилась методом вжигания серебросодержащей пасты при температуре Tвжиг=1000 К в течение 0,3-0,6 ч. Образцы поляризовались при нагревании на воздухе с помощью установки ПВС-5 (напряженность поля 2-4 кВ/см).

На рис. 1 приведена технологическая схема получения материала по примерам 1 и 2.

На рис. 2а показан порошок состава PbO + 0,1ZnO + 0,23NiO · nH2O + 0,33Nb2O5 после механической обработки прекурсоров.

На рис. 2б показан продукт предварительного обжига фаз A и В при мольном соотношении 0,56:0,44.

На рис. 3а) показаны сколы керамического композиционного пьезоматериала при составе (в мольных долях) А : В : С=0,525:0,415:0,06 (состав 5, таблица 2), формирующемся при: 1350 К (слева) - время обжига 2 часа; 1450 К (справа) - время обжига 1 час.

На рис. 4 приведены данные РФА керамики состава A : B : C=0,525:0,415:0,06 (в мольных долях), формирующемся при 1450 К (время обжига 1 час).

Аналогично примеру 1 синтезировались:

*(1a) сегнетофаза состава PbTi0,67Zr0,33O3 (фаза А) из смеси исходных оксидов (PbO + 0,33ZrO2 + 0,67TiO2) и параллельно сегнетофаза состава Pb(Zn0,24Ni0,76)0,33Nb0,67O3 (фаза В) из смеси исходных оксидов (PbO + 0,08ZnO + 0,25NiO · nH2O + 0,33Nb2O5), где n=1-3;

*(1б) сегнетофаза состава PbTi0,61.Zr0,39O3 (фаза А) из смеси исходных оксидов (PbO + 0,39ZrO2 + 0,61TiO2) и параллельно сегнетофаза Pb(Zn0,36Ni0,64)0,33Nb0,67O3 (фаза В) из смеси исходных оксидов PbO + 0,12ZnO + 0,22NiO · nH2O + 0,33Nb2O5, где n=1-3.

Аналогично примеру 2 получены:

- (2а) целевые продукты состава: (PbTi0,67Zr0,33O3) (фаза А) + Pb(Zn0,24Ni0,76)0,33Nb0,67O3 (фаза В) + PbFe0.5Nb0,5O3 (фаза С)

*в мольном отношении А : В : С=[(1-k/2)0,6]:[(1-k/2)0,46]:k, где k=0,1,

*в мольном отношении А : В : С=[(1-k/2)0,54]:[(1-k/2)0,4]:k, где k=0,1,

-(2б) целевые продукты состава: PbTi0,61Zr0,39O3 (фаза А) + Pb(Zn0,36Ni0,64)0,33Nb0,67O3 (фаза В) + PbFe0,5Nb0,5О3 (фаза С)

*в мольном отношении А : В : С=[(1-k/2)0,6[:[(1-k/2)0,46]:k, где k=0,1,

*в мольном отношении А : В : С=[(l-k/2)0,54[:[(l-k/2)0,4]:k, где k=0,1,

Пример 3. Аналогично примеру 2 получены целевые продукты состава (1-k/2)·0,44 Pb(Zn1-yNiy)0,33Nb0,67O3 - (1-k/2)·0,56 PbTi1-xZrxO3 - k PbFe0,5Nb0,5O3 при x=0,375, y=0,7, k=0,01-0,10 (таблица 2).

В таблице 3, приведены электрофизические свойства материалов по примерам 1 и 3 (составы 1-9). Для сравнения там же приведены характеристики материала по патенту РФ №2440954, выбранного в качестве ближайшего аналога.

Аналогичные результаты получены для других составов, приведенных в примерах 2 (а, б).

Электрофизические параметры композиционных пьезоэлектрических материалов: диэлектрическая проницаемость поляризованных образцов (εТ33/ε), пьезомодули: (d31 и d33), коэффициенты электромеханической связи, тангенс угла диэлектрических потерь (tg) определяли в соответствии с ОСТ 11.0444-87. На основании полученных данных рассчитаны эффективные параметры материалов (таблица 4).

Данные, приведенные в таблицах 3 и 4, подтверждают преимущества предлагаемого пьезоэлектрического керамического материала по сравнению с материалом-прототипом, а именно повышение εТ33/ε до 3850 и значений d33 до 800 пКл/Н, при сохранении высоких величин Кp>0,65. Одновременно приведенные параметры (d33Т33o)/(d31T33o) превосходят аналог на 25-30%, а по d33/(c3D√εT33o)/ d31/(c1D√εT33o) в среднем на 15%.

Полученные экспериментальные данные свидетельствуют о том, что керамический композиционный пьезоматериал предлагаемого фазового состава обладает, в указанном интервале мольных долей компонентов, оптимальными, с точки зрения решаемой технической задачи, характеристиками.

Эффект, связанный с повышением указанных параметров, достигается за счет введения в двухфазный компонент (A + B) сегнетофазы релаксорного типа (PbFe0.5Nb0.5O3).

Из представленных данных следует, что технический результат изобретения достигается новой совокупностью существенных признаков, как новых, так и известных, следовательно, заявляемый композиционный пьезокерамический материал соответствует критерию патентоспособности «изобретательский уровень».

Предлагаемый композиционный пьезокерамический материал обеспечивает технический результат, не вызывает затруднений при изготовлении, предполагает использование доступных и дешевых исходных реагентов и стандартного оборудования, что свидетельствует о соответствии заявляемого технического решения критерию патентоспособности «промышленная применимость».

Использованная литература

1. Прилипко Ю.С. Функциональная керамика. Оптимизация технологии / Ю.С. Прилипко // Донецк: Норд-Пресс, 2007. - 492 с.

2 Сорокин В.С, Антипов Б.Л., Лазарева Н.П. Материалы и элементы электронной техники. М. «Академия». 2006. Т. 2. 384 с.

3. Свердлин Г.М. Прикладная гидроакустика. Л. Судостроение. 1990. 356 с.

4. Шарапов В.М., Мусиенко М.П., Шарапова Е.В. Пьезоэлектрические датчики. М. Техносфера. 2006. 632 с.

5. Справочник по гидроакустике / А.П. Евтютов, А.Е. Колесников, Е.А. Корепин и др. Л. Судостроение, 1988. 552 с.

6. Магнитные и диэлектрические приборы / Под ред. Г.В. Катца. Ч. 1. М. Энергия. 1964. 416 с.

7. Дианов Д.Б., Кузнецов В.М. Влияние переходных слоев на частотные характеристики стержневых пьезопреобразователей // Изв. Ленингр. электротехн. ин-т. 1968. Вып. 63. С. 60-78.

8. Смарышев М.Д., Добровольский Ю.Ю. Гидроакустические антенны: сравочник. Л. Судостроение. 1984. 300 с.

9. Подводные электроакустические преобразователи: Справочник / Под ред. В.В. Богородского. Л.: Судостроение, 1983. 248 с.

10. Фесенко Е.Г., Данцигер А.Я., Разумовская О.Н., Филипьев B.C., Девликанова Р.У., Куприянов М.Ф., Гринева Л.Д., Рогач Т.В., Житомирский Г.А., Фельдман Н.Б., Смажевская Е.Г. Пьезокерамический материал. // Авторское свидетельство СССР №457320 от 20.09.1974 по заявке №1498579, приоритет от 22.12.1970, по МПК С04В 35/00.

11. Данцигер А.Я., Резниченко Л.А. и др. Высокоэффективные пьезокерамические материалы. Группа 4. Материалы со средней диэлектрической проницаемостью. Табл. 4. Материал ПКР-88. Справочник. - Ростов-на-Дону: АО “Книга”. 1994. - 30 с.

12. Резниченко Л.А. Автореферат дисс. д.ф. - м. н. - Ростов-на-Дону. 2002.

13. ОСТ 11 0444-87. Материалы пьезокерамические. Технические условия. Группа Э10. Введены 01.01.88. - М. 1987. - 141 С. Табл. 15 на стр. 116-117 с примечаниями на стр. 127.

14. Глозман И.А. Пьезокерамика. - М.: “Энергия”. 1967. - 272 С.

15. Ланин В. А. Старение пьезокерамики системы ЦТС под действием электромеханических и механических напряжений.

16. Автореферат диссертации «Высокоточные аналоговые и цифровые измерительные преобразователи давления» к.т.н. - Томск. 2006. - 21 С.

17. K. Iezumi, J. Yamazaki, T. Tsukada, N. Sakamoto, T. Sogabe, M. Nanao. Piezoelectric ceramic composition and liminated piezoelectric element. // European Patent Application EP 1772442 A1. 2006.

18. Резниченко Л.А., Разумовская О.H., Андрюшин К.П., Вербенко И.А., Андрюшина И.Н., Миллер А.И. Пьезоэлектрический керамический материал (патент РФ №2440954). Публикация патента 27.01.2012.

1. Пьезокерамический материал, включающий
- фазу А, полученную из PbO, ZrO2 и TiO2 при следующем соотношении компонентов, в мольных долях (PbO : ZrO2 : TiO2) : [1:(0,33-0,39):(0,61-0,67)];
- фазу В, полученную из PbO, ZnO, NiO·nH2O и Nb2O5 при следующем соотношении компонентов, в мольных долях (PbO : ZnO : NiO·nH2O : Nb2O5) : [1:(0,08-0,12):(0,22-0,25):0,33], где n=1-3;
- фазу С, полученную из PbO, Fe2O3·mH2O и Nb2O5 при следующем соотношении компонентов, в мольных долях (PbO : Fe2O3·mH2O : Nb2O5) : [1:0,25:0,25], где m=1-3;
при содержании фаз А, В и С в системе, в мольных долях: [(1-k/2) (0,54-0,6) А] + [(1-k/2) (0.4-0.46) В] + [kC], где k=0,01-0,10.

2. Пьезокерамический материал по п. 1, характеризующийся тем, что фаза А имеет состав PbTi1-x.ZrxO3, где х=0,33-0,39; фаза В имеет состав Pb(Zn1-yNiy)0,33Nb0,67O3, где у=0,64-0,76; фаза С имеет состав PbFe0,5Nb0,5O3.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе титаната свинца. Технический результат - снижение значений коэффициента электромеханической связи радиальной моды колебаний до Kp=0.06-0.07, повышение механической добротности до QM=1539-2135 при сохранении высоких значений коэффициента электромеханической связи толщиной моды колебаний Kt=0.25-0.38, пьезомодуля d33=10-19 пКл/Н при относительной диэлектрической проницаемости ε33 T/ε0=223-227.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам. Технический результат изобретения заключается в повышении значений относительной диэлектрической проницаемости, снижении диэлектрических потерь, механической добротности и коэффициента электромеханической связи радиальной моды колебаний.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам. Технический результат изобретения заключается в повышении температурной стабильности относительной диэлектрической проницаемости ε33 T/ε0 и коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе титаната свинца. Технический результат изобретения заключается в повышении значений относительной диэлектрической проницаемости ε 33 T / ε 0 = 13500 − 16460 при сохранении высоких значений пьезомодуля |d31|=131-156 пКл/Н и коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний Kp=0.19-0.24.

Изобретение относится к многослойному пьезоэлектрическому элементу, содержащему слои пьезоэлектрического материала и электроды, включая в себя внутренний электрод, при этом слои пьезоэлектрического материала и электроды укладываются поочередно; каждый слой пьезоэлектрического материала содержит в качестве основного компонента оксид металла типа перовскита, представленный с помощью общей формулы (1), и марганец, включенный в состав оксида металла типа перовскита (Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3, где 1,00≤a≤1,01, 0,02≤x≤0,30, 0,020≤y≤0,095 и y≤x (1); и содержание марганца на металлической основе по отношению к 100 весовым частям оксида металла типа перовскита составляет 0,02 весовые части или более и 0,40 весовых частей или менее.
Изобретение относится к пьезокерамическим материалам и может быть использовано при создании ультразвуковых преобразователей, в частности устройств медицинской диагностики.

Изобретение относится к области производства пьезокерамических материалов, предназначенных для изготовления излучателей и приемников ультразвука, электромеханических преобразователей.

Изобретение относится к пьезокерамическим материалам и может быть использовано при создании ультразвуковых преобразователей, в частности устройств медицинской диагностики.
Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам. Технический результат изобретения заключается в снижении относительной диэлектрической проницаемости и механической добротности, в повышении пьезочувствительности, коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний, скорости звука.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам. Технический результат изобретения заключается в повышении коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний, снижении относительной диэлектрической проницаемости.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе соединений свинца, титана, ниобия, магния, германия, циркония и может быть использовано в электромеханических преобразователях, стабильно работающих в диапазоне температур от 25°C до 240°C, одним из основных критериев работы которых является низкий предел допускаемой дополнительной погрешности измерения, вызванной изменением температуры окружающей среды в указанном диапазоне.

Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе цирконата-титаната свинца и может быть использовано в высоковольтных актюаторах лазерных адаптивных систем, компенсаторов вибрации оборудования, приборов точного позиционирования объектов (микролитография, туннельные растровые микроскопы), а также в топливно-распределительных системах бензиновых и дизельных двигателей.

Изобретение относится к пьезо-, сегнето- и пироэлектрическим материалам и может быть использовано для создания рабочих элементов в устройствах пьезотехники, оптоэлектроники, в различных видах устройств и приборов, в качестве термодатчиков и т.д.
Наверх