Рентгеновский спектрометр



Рентгеновский спектрометр
Рентгеновский спектрометр
Рентгеновский спектрометр
Рентгеновский спектрометр
Рентгеновский спектрометр

 


Владельцы патента RU 2611726:

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Геологический институт Сибирского отделения Российской академии наук (ГИН СО РАН) (RU)
Жалсараев Батоболот Жалсараевич (RU)

Использование: для рентгеноспектрального анализа веществ. Сущность изобретения заключается в том, что рентгеновский спектрометр содержит рентгеновскую трубку, фильтры первичного и вторичного пучков, держатель образца, пластинчатые коллиматоры, кристаллы-анализаторы, устройство детектирования с детекторами, регистрирующую аппаратуру, подключенную к выходам детекторов, причем кристаллы и устройство детектирования выполнены с возможностью сканирования (вращения) вокруг оси, проходящей через центр отражающей поверхности кристалла, и установки кристалла под углом θ, а детекторов под углом 2θ к оси вторичного пучка, при этом использовано устройство детектирования с полупроводниковыми детекторами и соответствующей регистрирующей аппаратурой, введен дополнительный коллиматор с отверстиями в поперечных вторичному пучку перегородках и обеспечена возможность работы спектрометра в режимах с волновой и энергетической дисперсией. Технический результат: снижение порогов обнаружения элементов и повышение производительности. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

 

Предлагаемое изобретение относится к спектрометрам и анализаторам для рентгеноспектрального анализа состава веществ.

Известны рентгеновские спектрометры с энергетической (ЭД) или волновой (ВД) дисперсией (Бахтиаров А.В. Рентгеноспектральный флуоресцентный анализ в геологии и геохимии. - Л.: Недра, 1985).

ВД-спектрометры обладают лучшим энергетическим разрешением при низких энергиях. ЭД-спектрометры с полупроводниковыми детекторами (ППД) эффективны в широком диапазоне энергии и позволяют анализировать элементы одновременно.

Недостатком ЭД-спектрометров с одним ППД является ограниченная загрузочная способность.

За прототип принят волновой рентгеновский спектрометр с оптоэлектронным позиционированием, содержащий рентгеновскую трубку, фильтры первичного и вторичного пучков, держатель образца, пластинчатые коллиматоры, кристаллы-анализаторы, устройство детектирования с детекторами, регистрирующую аппаратуру, подключенную к выходам детекторов, причем кристаллы-анализаторы и устройство детектирования выполнены с возможностью вращения вокруг оси, проходящей через центр отражающей поверхности кристалла, и установки кристалла под углом θ, а детекторов под углом 2θ к оси пучка (Афонин В.П., Комяк Н.И., Николаев В.П., Плотников Р.И. Рентгенофлуоресцентный анализ. - Новосибирск: Наука, 1991, с. 58-60).

Недостатком прототипа и волновых спектрометров в целом является высокий фон диффузно рассеянного и отраженного по Брэггу в высших порядках излучения и других компонент (Бахтиаров А.В., с. 100-105). Коллимация и фильтрация пучков не устраняет этот фон. В области L-серии тяжелых элементов велики наложения линий разных порядков отражения. Это снижает возможности анализа указанных элементов. В пропорциональных и сцинтилляционных счетчиках малы отношения пика к плато. Плохое разрешение этих счетчиков вынуждает установить большую ширину окна дискриминатора в регистрирующей аппаратуре. Производительность сканирующих спектрометров при анализе большого числа элементов ограничена из-за длительных измерений множества линии и фоновых точек.

Техническим результатом предлагаемого изобретения является снижение порогов обнаружения элементов и повышение производительности.

Для достижения указанного технического результата в рентгеновский спектрометр, содержащий рентгеновскую трубку, фильтры первичного и вторичного пучков, держатель образца, пластинчатые коллиматоры, кристаллы-анализаторы, устройство детектирования с детекторами, регистрирующую аппаратуру, подключенную к выходам детекторов, причем кристаллы и устройство детектирования выполнены с возможностью сканирования (вращения) вокруг оси, проходящей через центр отражающей поверхности кристалла, и установки кристалла под углом θ, а детекторов под углом 2θ к оси вторичного пучка, согласно изобретению, использовано устройство детектирования с полупроводниковыми детекторами и соответствующей регистрирующей аппаратурой, введен дополнительный коллиматор с отверстиями в поперечных вторичному пучку перегородках и обеспечена возможность работы спектрометра в режимах с волновой и энергетической дисперсией.

Дополнительный коллиматор можно направить к детекторам, установленным под нулевым углом 2θ в режиме энергетической дисперсии.

Можно также дополнительный коллиматор направить от позиции образца к детекторам, расположенным под фиксированным углом 2θ до 150° или 180°, при этом обеспечить возможность поворота детекторов к образцу в режиме энергетической дисперсии.

Спектрометр схематически представлен на фигурах:

фиг. 1 - аксонометрическая проекция в режиме волнового спектрометра;

фиг. 2 - ЭД-режим в спектрометре с детекторами под нулевым углом 2θ;

фиг. 3 - ЭД-режим в варианте с детекторами под углом 2θ около 140°;

фиг. 4 - энергетическое разрешение ЭД и ВД-спектрометров.

Рентгеновский спектрометр содержит рентгеновскую трубку 1, фильтр 2 первичного пучка, фильтр 3 вторичного пучка, держатель 4 образца 5, пластинчатые коллиматоры 6, кристаллы-анализаторы 7, устройство 8 детектирования с детекторами 9 и регистрирующую аппаратуру 10, подключенную к выходам детекторов (фиг. 1).

Кристаллы 7 и устройство 8 детектирования выполнены с возможностью сканирования (вращения) вокруг оси, проходящей через центр отражающей поверхности кристалла, и установки кристалла 7 под углом θ, а детекторов 9 под углом 2θ к оси вторичного пучка. Устройство 8 детектирования может быть снабжено коллиматором 11 с короткими пластинами.

Использовано устройство 8 детектирования с полупроводниковыми детекторами 9 и соответствующей регистрирующей аппаратурой 10.

Введен дополнительный коллиматор 12 с отверстиями в поперечных вторичному пучку перегородках и обеспечена возможность работы спектрометра в режимах с волновой и энергетической дисперсией (фиг. 2).

В ЭД-режиме дополнительный коллиматор 12 можно направить к детекторам, установленным под нулевым углом 2θ (фиг. 2).

Можно также в режиме энергетической дисперсии дополнительный коллиматор направить к детекторам, расположенным под фиксированным углом 2θ до 150° и выше, при этом обеспечить поворот устройства 8 детектирования к образцу на угол ϕ=2θ-α.

Полупроводниковые детекторы снабжены известной регистрирующей аппаратурой, включающей амплитудные дискриминаторы и спектрометрические процессоры в трактах сигналов, обеспечивающие линейность амплитудного преобразования, подавление шума, стабильность базового уровня и режекцию наложений.

Детекторы с высоким энергетическим разрешением позволяют резко сузить ширину окна дискриминатора в регистрирующей аппаратуре 10 по сравнению с шириной окна в волновых спектрометрах с пропорциональными или сцинтилляционными счетчиками.

В волновом спектрометре используют устройство детектирования с множеством ППД. Предпочтительны матрицы детекторов с отдельными спектрометрическими трактами с общей загрузкой выше 106 имп/с. В криостате с боковым окном можно расположить 8-10 и более ППД в ряды, перпендикулярные плоскости сканирования. При этом габариты устройства детектирования с системой электрического охлаждения ППД и жидкостного охлаждения (стабилизации температуры) последних ступеней могут быть близкими или меньше габаритов заменяемых узлов - пропорционального и сцинтилляционного счетчиков. В настоящее время доступны компактные устройства детектирования с SSD-детекторами.

Узлы смены и вращения кристаллов и детекторов в целом составляют рентгеновский гониометр с оптическим позиционированием без шестеренок, в котором узлы двигаются независимо и быстро, как в известном волновом спектрометре Perform'X (сайт фирмы ARL (Швейцария)).

Телесные углы вторичного пучка в схемах фиг. 2 и 3 могут отличаться в 3-4 раза. Предпочтителен вариант спектрометра с рентгеновской трубкой повышенной мощности 2-4 кВт и дополнительным коллиматором, направленным к детекторам под нулевым углом 2θ. При нулевом угле 2θ угол поворота детекторов ϕ1 равен нулю, т.е. в этом случае отдельный механизм вращения устройства детектирования к образцу не потребуется. При больших углах α и 2θ детекторы поворачивают к образцу на большие углы ϕ2 или ϕ3 (фиг. 3). Для обеспечения такого поворота устройство детектирования можно снабдить отдельным устройством вращения (двигателем).

Узлы смены фильтров, коллиматоров и кристаллов, двигатели и датчики (декодеры), системы откачки и другие детали не показаны на схемах.

Коллиматор 12 можно расположить в узле коллиматоров (или в узле кристаллов в случае регистрации вторичного пучка под нулевым углом). При этом в узле кристаллов можно оставить свободную от кристалла-анализатора позицию для пропуска вторичного пучка к детекторам в ЭД-режиме.

Рентгеновский спектрометр работает следующим образом.

Для сыпучих или жидких образцов используют кюветы с днищем из пленок. Пробы можно плавить с флюсом. Образец 5 можно засыпать в кювету или положить в кассеты. Кюветы и кассеты на схемах не показаны.

Образцы при анализе вращают для нивелировки неоднородностей. О содержании элементов судят по спектру излучения. Используют известные методики расчета концентраций. Анализ ведут в автоматическом режиме.

Анализ производят в следующих режимах.

- В ЭД-режиме детекторы 9 располагают под упомянутыми фиксированными углами 2θ и через коллиматор 12 регистрируют излучение образца без участия пластинчатых коллиматоров 6 и кристаллов 7.

В ЭД-режиме сначала выполняют обзорный или панорамный анализ широкого круга элементов. Этот режим резко повышает производительность и за десятки секунд проясняет состав образца в целом. В ЭД-режиме можно анализировать и группы элементов при разных напряжениях и фильтрах.

- В ВД-режиме детекторы регистрируют третичное (отраженное от кристалла) излучение. В сканирующем волновом спектрометре с ППД ширину окна дискриминации можно установить порядка (1,8-2,0)⋅ПШПВ, где ПШПВ - полуширина пика на полувысоте, т.е. уменьшить практически в 10 раз по сравнению с шириной окна в традиционных волновых спектрометрах.

При уменьшении ширины окна подавляются диффузный фон и пики высших порядков отражения, расширяются свободные от пиков фоновые участки спектра, повышаются контрастности и снижаются пороги обнаружения. Волновой режим можно использовать для анализа элементов в ситуациях, требующих измерений с высоким разрешением.

- Возможен совмещенный ВД- и ЭД-режим с одновременной регистрацией близко расположенных линий. При этом используют коллиматор 6 с большим раствором щелей в 1°-3°, направленный на кристалл-анализатор 7. Кристалл 7 в качестве дисперсионного фильтра пропускает к детекторам 9 излучение в выбранном диапазоне углов и энергии. При этом окно дискриминации можно установить в соответствии с кривой пропускания.

- Спектрометр позволяет измерять энергетический спектр третичного пучка и уточнять фон под разными углами 2θ.

В волновом и совмещенном режимах детекторы работают с меньшими загрузками, т.е. в лучших условиях, чем в ЭД-режиме.

Диапазон энергии, в котором предпочтителен ЭД- или ВД-режим, можно оценить по графикам энергетического разрешения (фиг. 4).

ЭД-режим предпочтителен в области энергии выше 10-15 кэВ, но может использоваться и в области меньших энергии. Чувствительность анализа от палладия до самария по K-серии в ЭД-режиме с Si(Li)-детектором примерно в 10 раз выше по сравнению с ВД-режимом.

При выполнении спектрометра можно использовать известные гониометры с 5-8 кристаллами и радиусом сканирования 7-14 см, 4-6 коллиматоров и наборы фильтров. Коллиматоры и фильтры подбирают при отладке спектрометра. Можно использовать известные рентгеновские трубки с выходом пучка с ее торца мощностью 1-4 кВт и выше на напряжение 60-70 кВ.

Рентгеновскую трубку можно установить под углом 30°-60°, а плоскость сканирования расположить перпендикулярно оси трубки. При этом в ВД-режиме под близкими к 90° углами 2θ фон подавляется за счет поляризации рассеянного от образца излучения, как в спектрометре ARL Perform'X.

Для анализа элементов с атомными номерами Z до 60-62 по излучению K-серии в ЭД-режиме предпочтительны Si(Li)-детекторы толщиной 3-5 мм.

Для анализа элементов с Z до 43 по K-серии и тяжелых элементов по L-серии пригодны кремниевые дрейфовые SDD-детекторы толщиной 0,5-1 мм.

Производительность пропорциональна площади и числу детекторов.

Можно использовать фильтр 2 из иттрия толщиной 5-10 мкм с энергией Kα-излучения, большей порогов возбуждения излучения L-серии золота и платины и меньшей порогов возбуждения излучения L-серии свинца и висмута (мешающих элементов). Край фильтра 2 можно изогнуть и расположить по периметру первичного пучка, чтобы фильтр выполнял и функцию вторичной мишени.

Для повышения контрастности Lβ1-излучения золота с энергией 11,442 кэВ и подавления Kβ1-излучения мышьяка (мешающего элемента) с энергией 11,726 кэВ можно использовать фильтр 3 из платины с L3 - краем 11,562 кэВ.

Эффективность фильтра из платины при анализе золота на ЭД-спектрометре показана в книге: Веригин А.А. Энергодисперсионный рентгеноспектральный анализ. - Томск: Изд-во Томского ун-та, 2005, с. 168-172.

При использовании ППД исключается система снабжения пропорционального счетчика аргон-метановой смесью.

Устраняются также помехи, связанные с пиками утечки излучения аргона или излучения йода из NaI-сцинтиллятора.

Предлагаемый рентгеновский «спектрометр-трансформер» улучшает возможности анализа широкого круга элементов в оптимальных условиях.

Пороги обнаружения снижены в волновом режиме за счет использования детекторов высокого разрешения, и за счет анализа в ЭД-режиме элементов со средними Z по излучению K-серии. Подбор оптимальных режимов и фильтров снижает пороги обнаружения и других элементов, в том числе пороги обнаружения тяжелых элементов по излучению L-серии.

Производительность повышена за счет одновременного анализа множества элементов в ЭД-режиме и сокращения экспозиции с учетом повышенной контрастности в волновом режиме.

Заявленный спектрометр может быть востребован в геологии, экологии, горнорудной и других отраслях науки и промышленности.

1. Рентгеновский спектрометр, содержащий рентгеновскую трубку, фильтры первичного и вторичного пучков, держатель образца, пластинчатые коллиматоры, кристаллы-анализаторы, устройство детектирования с детекторами, регистрирующую аппаратуру, подключенную к выходам детекторов, причем кристаллы и устройство детектирования выполнены с возможностью сканирования (вращения) вокруг оси, проходящей через центр отражающей поверхности кристалла, и установки кристалла под углом θ, а детекторов под углом 2θ к оси вторичного пучка, отличающийся тем, что использовано устройство детектирования с полупроводниковыми детекторами и соответствующей регистрирующей аппаратурой, введен дополнительный коллиматор с отверстиями в поперечных вторичному пучку перегородках и обеспечена возможность работы спектрометра в режимах с волновой и энергетической дисперсией.

2. Спектрометр по п. 1, отличающийся тем, что в режиме энергетической дисперсии дополнительный коллиматор направлен к детекторам, установленным под нулевым углом 2θ.

3. Спектрометр по п. 1, отличающийся тем, что в режиме энергетической дисперсии дополнительный коллиматор направлен к детекторам, расположенным под фиксированным углом 2θ до 150° и выше, при этом обеспечен поворот устройства детектирования к образцу.



 

Похожие патенты:

Использование: для рентгеноспектрального анализа тяжелых элементов. Сущность изобретения заключается в том, что рентгеновский анализатор содержит источник рентгеновского или гамма-излучения, держатель образца, устройство детектирования с множеством детекторов, регистрирующую аппаратуру, входы которой подключены к выходам детекторов, коллиматор первичного пучка, коллиматор и фильтр вторичного пучка, при этом держатель образца выполнен с возможностью установки образца с плоской или вогнутой по сфере рабочей поверхностью на сфере, источник или его фокус расположен на упомянутой сфере, коллиматор вторичного пучка содержит поперечные пучку перегородки с отверстиями, его выходное отверстие расположено в противоположной источнику точке, а детекторы компактно расположены во вторичном пучке.

Изобретение относится к экспрессному контролю объемной концентрации цементного раствора в грунтоцементной пульпе при создании подземных строительных конструкций струйной цементацией.

Использование: для анализа пульп и растворов в потоке. Сущность изобретения заключается в том, что автоматический рентгеновский анализатор пульп и растворов в потоке включает стойку с измерительными кюветами, спектрометрический блок с источником первичного рентгеновского излучения, детектором и анализатором вторичного рентгеновского излучения, механизм перемещения спектрометрического блока и систему автоматического управления, при этом спектрометрический блок выполнен герметичным, оснащен узлом термоэлектрической стабилизации температуры всех электронных компонентов спектрометрического блока, при этом в качестве детектора вторичного рентгеновского излучения используют полупроводниковый детектор с термоэлектрическим охлаждением, в качестве анализатора вторичного рентгеновского излучения используют многоканальный амплитудный анализатор импульсов, а в качестве источника первичного рентгеновского излучения используют малогабаритную рентгеновскую трубку рабочей мощностью до 10 Вт.

Использование: для рентгенофлуоресцентного определения содержания компонентов в материалах сложного химического состава. Сущность: заключается в том, что формируют единую группу градуировочных образцов, охватывающих весь диапазон содержаний определяемых и мешающих элементов для анализируемых проб, измеряют интенсивности аналитических линий только определяемых i (Ii) элементов от анализируемых проб и градуировочных образцов, устанавливают градуировочную функцию в форме уравнения регрессии, затем, с целью компенсации неучтенного влияния неопределяемых компонентов наполнителя на Ii, зарегистрированные от пробы интенсивности сопоставляют с характеристиками одного градуировочного образца-соседа и находят содержание элемента i (Ci) по определенному выражению, выбирая состав образца-соседа наиболее близким к составу пробы.

Использование: для энергодисперсионного рентгенофлуоресцентного анализа. Сущность изобретения заключается в том, что устройство для энергодисперсионного рентгенофлуоресцентного анализа на основе вторичных излучателей включает рентгеновскую трубку, вторичные излучатели, устройство подачи контролируемого материала, кювету или транспортер с образцом, устройство для регистрации рентгеновского излучения и индикатор, самописец и/или исполнительный механизм, при этом в состав устройства дополнительно введены коллиматор излучения рентгеновской трубки, четное число n чередующихся вторичных излучателей, электромотор, коллиматор излучения вторичных излучателей, коллиматор флуоресцентного излучения образца, в качестве устройства для регистрации рентгеновского излучения использован сцинтилляционный детектор, балластное сопротивление, разделительный конденсатор и узкополосный усилитель, настроенный на частоту смены излучателей.

Использование: для рентгенофлуоресцентного определения примесей. Сущность изобретения заключается в том, что рентгенофлуоресцентное определение содержаний примесей конструкционных материалов включает измерение интенсивностей аналитических линий контролируемых примесей в группе образцов этого материала, дополнительно измеряют интенсивности аналитических линий примесей в стандартных образцах референтного материала, содержащего те же примеси, по результатам этих измерений строят градуировочные графики зависимости интенсивности аналитических линий элементов от содержания, при этом дополнительно проводят измерение обзорного спектра исследуемого конструкционного материала и определяют основной элемент исследуемого конструкционного материала наполнителя, дополнительно измеряют интенсивности аналитических линий элементов контролируемых примесей в образцах, состоящих из этого элемента, абсорбционные факторы и наклоны градуировочных графиков рассчитывают для образцов, состоящих из среднего значения содержания элемента в референтных градуировочных образцах и наполнителя исследуемого конструкционного материала, после чего получают истинные содержания примесей в исследуемом конструкционном материале умножением условных содержаний на отношение наклонов градуировочных графиков в референтном и исследуемом материалах по соответствующим математическим формулам.

Использование: для определения содержания тяжелых металлов в техническом углероде. Сущность изобретения заключается в том, что выполняют градуировку прибора рентгенофлуоресцентной спектрометрии для каждого элемента, регистрируют интенсивность аналитической линии элемента на соответствующей ему длине волны Iэ (имп/с), строят на основании полученных данных градуировочную характеристику, представляющую собой зависимость относительной интенсивности аналитической линии элемента Iотн от массовой доли определяемого элемента в эталонных образцах С (%), измеряют интенсивность аналитической линии элемента на соответствующей ему длине волны Iэ (имп/с), измеряют интенсивности фона в точках спектра, соответствующих началу и концу диапазона измерения элемента, вычисляют среднеарифметическое значение интенсивности фона в точках спектра соответствующих началу и концу диапазона измерения элемента Iфэ (имп/с), рассчитывают относительную интенсивность аналитической линии каждого элемента Iотн, находят по градуировочной характеристике массовую долю элемента в золе.

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для регистрации направленного рентгеновского или гамма-излучения. Спектрозональный однокоординатный детектор рентгеновского и гамма-излучений содержит слой сцинтиллятора, непрозрачный вдоль направления распространения излучения и прозрачный в перпендикулярном направлении, при этом слой сцинтиллятора состоит из параллельных друг другу и оптически разделенных сборок пластин сцинтилляторов, непрозрачных вдоль направления распространения излучения и прозрачных в направлении, перпендикулярном поверхности сцинтиллятора, расположенных вплотную друг к другу в порядке возрастания среднего атомного номера сцинтилляторов в направлении распространения излучения, длина пластин сцинтилляторов l выбирается из условия: где µ(Еф-к) - коэффициент линейного ослабления излучения с энергией Еф-к, при которой сравниваются сечение фотопоглощения и сечение комптоновского рассеяния в материале пластины сцинтиллятора, поверхность сцинтиллятора находится в оптическом контакте с двухкоординатным позиционно чувствительным фотоприемным устройством.

Использование: для определения источников сырья для керамических артефактов. Сущность изобретения заключается в том, что способ определения источников сырья для археологических керамических артефактов включает рентгеновское облучение исследуемого материала, получение графиков термостимулированной люминесценции облученного материала.

Использование: для определения минерального состава глиноподобных образований. Сущность изобретения заключается в том, что отбирают пробы минералов, возбуждают в них рентгенолюминесценцию в оптическом диапазоне длин волн с последующим определением минерала, при этом для приготовленных проб снимают спектры рентгенолюминесценции в диапазоне длин волн 200-400 нм и определяют минерал галлуазит по рентгенолюминесценции в спектральном диапазоне 290-400 нм с максимальным излучением при λ=290-315 нм; определяют минерал нонтронит по максимальному высвечиванию в полосе 330-340 нм; определяют минерал ломонтит по широкой полосе рентгенолюминесценции в спектральном диапазоне 280-400 нм с максимальным излучением при λ=342 нм; определяют минерал палыгорскит по максимальному высвечиванию в полосе с максимумом при λ=345 нм; определяют минерал осоризаваит по наличию двух широких низкоинтенсивных полос рентгенолюминесценции в спектральных диапазонах 270-310 и 310-360 нм с максимальным излучением при λ=289 нм и λ=340 нм; определяют минерал алунит по очень слабой рентгенолюминесценции в спектральном диапазоне 200-400 нм с максимальным излучением в полосе при λ=350 нм.

Использование: для рентгеноспектрального анализа золота и тяжелых элементов. Сущность изобретения заключается в том, что рентгеновский анализатор золота и тяжелых элементов содержит рентгеновскую трубку с боковым окном в качестве источника излучения, держатель образца, устройство детектирования с расположенными в ряд детекторами, регистрирующую аппаратуру, входы которой подключены к выходам детекторов, коллиматоры и фильтры первичного и вторичного пучков, причем коллиматор вторичного пучка выполнен с множеством отверстий или каналов, при этом держатель образца выполнен с возможностью установки образца с плоской или вогнутой по цилиндру рабочей поверхностью на цилиндре, ось рентгеновской трубки расположена в перпендикулярной цилиндру плоскости, а ее фокус расположен на образующей цилиндра, детекторы или выходные отверстия коллиматора вторичного пучка расположены на образующей, проходящей через диаметрально противоположную источнику точку цилиндра, причем коллиматор вторичного пучка выполнен с разделительными пластинами в аксиальных к пучку электронов плоскостях. Технический результат: обеспечение однородности и прочности образца, увеличение эффективности и контрастности спектров. 4 ил., 1 табл.

Использование: для рентгеноспектрального анализа. Сущность изобретения заключается в том, что многоканальный рентгеновский анализатор содержит источник рентгеновского или гамма-излучения, коллиматор и фильтр первичного пучка, держатель образца и аналитические каналы, включающие коллиматоры и фильтры вторичных пучков, устройство детектирования с расположенными в ряд детекторами и регистрирующую аппаратуру, подключенную к выходам детекторов, при этом использован источник излучения или рентгеновская трубка с выходом пучка с ее торца, источник или его фокус расположен на окружности в плоскости оси источника или пучка электронов (в аксиальной плоскости), держатель образца выполнен с возможностью установки образца с плоской или вогнутой рабочей поверхностью на упомянутой окружности канала, детекторы или выходные отверстия коллиматора вторичного пучка расположены на линии, проходящей через диаметрально противоположную источнику точку окружности перпендикулярно каналу, кроме того, аналитические каналы расположены аксиально вокруг источника излучения и содержат отдельные держатели образца, а в коллиматоре первичного пучка выполнены отверстия, направленные на держатели образцов. Технический результат: обеспечение возможности повышения производительности анализа и эффективности использования источника, а также обеспечение оптимальных условий анализа широкого круга элементов, в том числе наиболее тяжелых элементов от тория и выше. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.
Наверх