Способ контроля поверхности

Изобретение относится к визуальной оценке качества поверхностей плоских подложек для оптико-электронных компонентов и может быть использовано при техническом контроле состояния поверхности крупных партий деталей в электротехнической промышленности. В заявленном способе контроля поверхности на фоновой поверхности располагают деталь с контролируемой поверхностью, обращенной к источнику света, освещают контролируемую поверхность косонаправленным пучком света, имеющим цветовую окраску, и наблюдают дефекты контролируемой поверхности при аддитивном смешивании цвета контролируемой поверхности и цвета окраски косонаправленного пучка света. Технический результат - повышение производительности процесса контроля поверхностей. 2 ил.

 

Изобретение относится к физике поверхностей, а именно к визуальной оценке качества поверхностей плоских подложек для оптико-электронных компонентов, и может быть использовано при техническом контроле состояния поверхности крупных партий деталей в электротехнической промышленности.

Известен способ контроля микрорельефа пленки, осуществляемый с помощью микроинтерферометра Линника и заключающийся в наблюдении и оценке интерференционной картины, получаемой от двух разделенных пучков света. Исследуемая отражающая поверхность вместе с объективом и плоское эталонное зеркало вместе с компенсатором и объективом составляют два плеча интерферометра (Осипов Ю.В. Оптические методы неразрушающего контроля: Лаб. практ. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ". 2001, 46 с.). Также известен интерферометрический способ контроля поверхности объекта, описанный в работе устройства для получения изображения микрорельефа поверхности (RU 2495372 С1, 10.10.2013).

Общим недостатком интерференционных способов контроля поверхностей является сложность настройки интерференционной картины. Малые смещения испытуемой поверхности изменяют разность хода интерферирующих лучей на удвоенную величину смещения (см. п. 4.4, Осипов Ю.В. Оптические методы неразрушающего контроля: Лаб. практ. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ". 2001, 46 с.), вследствие чего требуется тщательная взаимная юстировка всех элементов установки с точным и стабильным позиционированием испытуемой детали. Данные способы позволяют очень точно исследовать испытуемые поверхности единичных образцов, однако для исследования крупной партии деталей весьма непроизводительны.

Из описания работы устройства для контроля шероховатости поверхности диэлектрических подложек (см. RU 2448341 С1, 20.04.2012) известна методика контроля шероховатости поверхности подложек посредством анализа скорости растекания подсвечиваемой капли (фиксированного объема) рабочей жидкости.

Сложность подготовки поверхности исследуемой подложки, включающей плазмохимическое травление в среде инертного газа с особыми требованиями к режимам травления, после которого необходимо сразу расположить подложку горизонтально в устройстве (см. с. 4, строки 8-11), а также последующий процесс покадровой фиксации растекания капли жидкости, требующий дальнейшего сопоставления визуально наблюдаемых характеристик капли с предварительно замеренной калибровочной зависимостью (с. 4, строки 19-24) ограничивает использование такой методики единичным производством.

Известны способы визуального контроля поверхностей, позволяющих фиксировать их дефекты. Так, в способе визуально-оптического контроля поверхности предлагается осуществлять ввод лазерного излучения в тонкий слой жидкости (пленки), помещенный между эталонной и контролируемой поверхностями оптических деталей и наблюдать свет, сконцентрированный и рассеянный на аномалиях и дефектах поверхности (RU 2502954 С1, 27.12.2013). Способ позволяет фиксировать наличие локальных аномалий поверхности глубиной меньше 0,05 мкм на больших площадях без дорогостоящего оборудования. Несмотря на функциональную простоту, реализация данного способа налагает значительные ограничения на его использование при контроле крупных партий изделий, связанные с необходимостью изготовления верхней бездефектной эталонной детали для каждой из контролируемых деталей, или необходимостью поштучного осмотра каждой контролируемой детали с выставлением (юстировкой) сборки в требуемом положении относительно лазерного луча, что требует существенных временных затрат, ограничивающих производительность операций контроля.

В процессе проведения технического контроля поверхности крупной партии деталей, применяемых для формирования оптико-электронных компонентов (например, подложек интегрально-оптических устройств и пр.) зачастую требуется простой способ визуальной оценки качества наружной поверхности, позволяющий произвести отбраковку образцов с выраженными дефектами.

Наиболее близким к заявляемому является способ определения размеров дефектов (царапин и точек) на поверхностях оптических деталей, заключающийся в просматривании поверхностей деталей в косонаправленном пучке проходящего или отраженного света, т.е. под углом к оси детали, на фоне черного экрана, когда источником света служит лампа накаливания мощностью от 60 до 100 Вт (ГОСТ 11141-84. Детали оптические. Классы чистоты поверхностей. Методы контроля, п. 2.2). Это - прототип.

Данный способ оценки качества контролируемых поверхностей является достаточно простым и позволяет без существенных затрат времени осуществлять визуальный контроль поверхностей деталей. Однако указание на использование лампы накаливания с невысокой по значению мощностью является ограничением способа, касающимся количества одновременно просматриваемых деталей. Способ эффективен при поштучном контроле и весьма затруднителен при контроле крупных партий деталей, поскольку просмотр каждой детали при косонаправленном свете от лампы накаливания приводит к утомляемости контролера и, как следствие, к появлению ошибок. Данное обстоятельство снижает производительность способа.

Задачей изобретения является разработка высокопроизводительного способа визуального контроля поверхностей плоских подложек для технического контроля крупных партий деталей, не требующего использования сложных устройств, оборудования и методики осуществления.

Для осуществления контроля состояния поверхности крупных партий деталей, в оценке их качества, может быть использован принцип обнаружения по цветовым признакам (принцип восприятия цветового различия). Такой принцип позволяет значительно упростить процесс визуального контроля поверхности деталей и снизить вероятность ошибок, поскольку снижает зрительную нагрузку в работе контролера и, таким образом, упрощает задачу обнаружения дефектных зон.

Известно, что существуют две основные группы цветов: ахроматические и хроматические. При этом хроматическими называют все наблюдаемые цвета, кроме черного, белого и серого. К ахроматическим цветам относят черный, белый и все оттенки серого цвета. В наблюдаемом спектре излучения можно подбирать два хроматических цвета, называемые дополнительными друг к другу по цветовому тону, при смешивании которых получится цвет ахроматический (например, светло-серый). Такое смешивание цветов (суммирование излучений) называют аддитивным. Примерами комбинаций, дополнительных по цветовому тону являются оранжево-красный и голубовато-зеленый цвета, зелено-желтый и фиолетовый и др. (см. Н.П. Гвоздева, К.И. Коркина. Теория оптических систем и оптические измерения. Учебник для техникумов. - М.: "Машиностроение", 1981, с. 125-126). При смешивании двух цветов суммарный цвет имеет определенную насыщенность, причем суммарная насыщенность становится нулевой при смешивании двух дополнительных по цветовому тону цветов, т.е. в случае получения ахроматического цвета (см, например, "Хроматические характеристики цвета", http://zreni.ru/3881-hromaticheskie-harakteristiki-cveta.html).

Известно, что цветовые характеристики объектов могут эффективно использоваться не только в задачах обнаружения, но также при распознавании и классификации объектов в качестве одного из признаков (см. Р.Е. Быков. Адаптивные алгоритмы обнаружения объектов по цветовым признакам // Радиотехника. 2012, №7. с. 97-103). Таким образом, подбирая комбинации цветового тона пучка света, освещающего исследуемую поверхность в зависимости от цвета этой поверхности возможно эффективно решать задачи обнаружения дефектов с помощью цветовых различий и различий в насыщенности. При этом дефекты поверхности будут являться контрастирующими элементами на фоне бездефектной области поверхности (выявление дефектов поверхности при визуальном наблюдении основано на рассеянии светового потока на дефектных местах, так как на дефектах нарушается геометрия распространения световых лучей, вследствие чего дефекты становятся отражающими свет элементами или ослабляющими).

Устройством для модификации передаваемого через него оптического излучения, которое может быть использовано для изменения цветового тона пучка света, освещающего исследуемую поверхность, является оптический фильтр. Модификация оптического излучения при оптической фильтрации состоит в изменении спектрального распределения излучения (см. п. 3, п. 4.2 ГОСТ Р 50785-95. Фильтры оптические. Типы и основные параметры). Оптические фильтры, изменяющие спектр излучения принято называть спектральными фильтрами (Якушенков Ю.Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов: Учебник для студентов приборостроительных специальностей вузов. - М.: Машиностроение, 1989, с. 97-102).

Техническим результатом изобретения является повышение производительности процесса контроля поверхностей.

Технический результат достигается тем, что в способе контроля поверхности на фоновой поверхности располагают деталь с контролируемой поверхностью, обращенной к источнику света, освещают контролируемую поверхность косонаправленным пучком света, имеющим цветовую окраску и наблюдают дефекты контролируемой поверхности при аддитивном смешивании цвета контролируемой поверхности и цвета окраски косонаправленного пучка света.

Сущность изобретения поясняется чертежами, на которых показана установка для контроля состояния поверхности, реализуемого предлагаемым способом, где 1 - фоновая поверхность, 2 - контролируемая поверхность детали, 3 - косонаправленный пучок света, 4 - источник света, 5 - спектральный фильтр, 6 - фиксатор.

Способ реализуется следующим образом.

На фоновой поверхности 1, в качестве которой может быть поверхность транспортирующей ленты производственного конвейера, располагают каждую из деталей контролируемой поверхностью 2, обращенной к источнику света 4. На источник света 4 устанавливают спектральный фильтр 5 и с помощью фиксатора 6 фиксируют положение источника света 4 по высоте и углу наклона таким образом, чтобы каждая контролируемая поверхность 2 освещалась косонаправленным пучком света 3, имеющим цветовую окраску. В зоне освещения деталей (область фоновой поверхности 1, освещенная косонаправленным пучком света 3) наблюдают дефекты каждой контролируемой поверхности 2, проявляющиеся при аддитивном смешивании цвета контролируемой поверхности 2 и цвета окраски косонаправленного пучка света 3.

В качестве источника света 4 может быть использована люминесцентная лампа с вогнутым эллипсоидным зеркалом (см., например, Н.П. Гвоздева, К.И. Коркина. Теория оптических систем и оптические измерения. Учебник для техникумов. - М.: Машиностроение, 1981, с. 199), позволяющая обеспечить равномерное и направленное освещение фоновой поверхности 1. Однако наиболее простым и эффективным, с точки зрения использования светового потока, является источник света, выполненный в виде светодиодной линейки (см., например, "Светодиодные линейки - виды, способы применения", http://electric-tolk.ru/svetodiodnye-linejki-vidy-sposoby-primeneniya). Такой удлиненный источник света особенно эффективен при освещении вытянутых прямоугольных площадей (например, транспортирующей ленты производственного конвейера). Угол наклона и положение источника света по высоте определяют опытным путем в зависимости от размеров контролируемых деталей, расстояния от источника света до контролируемых поверхностей и категории контроля (степень "оттенения" светового потока при его рассеянии дефектными элементами поверхности зависит от угла освещения поверхности, ввиду чего, при наиболее тщательном контроле дефектов, источник света располагают как можно ниже, формируя тем самым острый угол между осью косонаправленного пучка света и поверхностью детали и, наоборот, малоответственный контроль может быть осуществлен при освещении поверхности под большими углами).

В качестве спектрального фильтра может быть использован абсорбционный фильтр (фильтр, основанный на избирательном поглощении, примером которого являются фильтры из цветного оптического стекла, окрашенных пластмасс, фильтры из Ge, PbS, PbTe и других оптических материалов). Такие фильтры просты в изготовлении и эксплуатации; имеют стабильные характеристики, а также широкие пределы изменения габаритных размеров (см. Якушенков Ю.Г. Теория и расчет оптико-электронных приборов: Учебник для студентов приборостроительных специальностей вузов. - М.: Машиностроение, 1989, с. 99).

Выбор спектральной характеристики фильтра 5 (цветность спектрального фильтра) осуществляют в зависимости от цвета контролируемой поверхности детали (партии деталей) таким образом, чтобы при наложении спектра отражения от поверхности детали и спектра освещения в косонаправленном пучке света (т.е. цвета окраски косонаправленного пучка света) визуально наблюдалось ахроматическое представление контролируемой поверхности (например, в светло-сером цвете). При этом контрастирующие элементы обнаруживаемых дефектов, ввиду светового рассеяния, имеют выраженное отличие по интенсивности (например, в черном цвете). Применение спектрального фильтра позволяет осуществлять и другие цветовые комбинации для обнаружения дефектов поверхности (например, когда цвет наблюдаемой при освещении поверхности оставляют хроматическим с необходимым цветовым тоном, предпочтительным для определенного контролера).

Цветовую окраску и отражающую способность фоновой поверхности 1 выбирают из условий обеспечения удобства при визуальном наблюдении контролера деталей (в соответствии с чем не рекомендуется использование ярких отражающих или светлых цветовых тонов для окраски фоновой поверхности 1). При этом предельные значения яркостного контраста между фоновой поверхностью 1 и цветом контролируемой поверхности 2 определяют расчетным путем (см., например, "Пример вычисления и применения связанного с возрастом яркостного контраста" Приложение А. ГОСТ Р ИСО 24502-2012. Эргономическое проектирование. Требования к яркости и контрастности цветных источников света для людей различных возрастных категорий).

Предлагаемый способ позволяет использовать цветовые эффекты, основанные на аддитивном смешивании цветов с целью упрощения процесса визуального различения дефектов на фоне бездефектной области поверхности. В соответствии с особенностями психофизиологического восприятия цвета (см. Измайлов Ч.А., Соколов Е.Н., Черноризов A.M. Психофизиология цветового зрения. - М.: Изд-во МГУ, 1989, 206 с.) предлагаемый способ позволяет наблюдателю широко использовать удобные для длительной визуальной работы сочетания цветов (сочетания цветности светового потока и цвета поверхности объекта), что значительно снижает зрительную нагрузку контролера и, как следствие, позволяет качественно осуществлять контроль крупных партий деталей.

Заявленный способ обладает гибкостью в использовании, предоставляя каждому конкретному контролеру деталей выбор индивидуальных цветовых параметров обнаружения дефектов посредством подбора желаемого спектрального фильтра.

Реализация данного способа не требует сложного оборудования, устройств, а также сложной методики осуществления контроля поверхностей.

Способ контроля поверхности, заключающийся в том, что на фоновой поверхности располагают деталь с контролируемой поверхностью, обращенной к источнику света, освещают контролируемую поверхность косонаправленным пучком света и наблюдают дефекты контролируемой поверхности, отличающийся тем, что освещают контролируемую поверхность косонаправленным пучком света, имеющим цветовую окраску, а дефекты контролируемой поверхности наблюдают при аддитивном смешивании цвета контролируемой поверхности и цвета окраски косонаправленного пучка света.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области геологии, а именно к средствам определения угла наклона и направления падения трещин в керновом материале, в частности к способу для определения элементов залегания трещин и границ пластов в керне.

Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается фотометра с шаровым осветителем. Фотометр включает в себя осветитель, систему линз, кюветное отделение, фотоприемное устройство и вычислительную систему.

Изобретение относится к области спектроскопических исследований и касается конфокального спектроанализатора изображений. Спектроанализатор включает в себя осветительное устройство в виде нескольких лазеров, сопряженных с оптическим волокном, систему суммирования излучений оптоволоконных выходов лазеров в одно волокно, систему сканирования, линзовую систему формирования линии освещения объекта, фильтр выделения спектрального интервала, объектив, конфокальную щелевую диафрагму, коллимирующую линзу, фильтр подавления возбуждающего излучения, дифракционную решетку, видеокамеру, систему управления и компьютер, осуществляющий синтез изображений объекта в выбранных спектральных интервалах.

Изобретение относится к подложке для исследований усиленного поверхностью комбинационного рассеяния. Подложка содержит полупроводниковую поверхность с формированными на ней нитевидными кристаллами, покрытыми пленкой металла, выбранного из группы, состоящей из серебра, золота, платины, меди и/или их сплавов.

Изобретение относится к области микробиологии, пищевой и промышленной биотехнологии, а именно к способам и устройствам оптического определения и идентификации в жидкостях микрообъектов, содержащих ДНК.

Группа изобретений относится к области медицины и может быть использована для лабораторной диагностики. Датчик для обнаружения целевой мишени содержит: контейнер, расположенный в контейнере и конфигурированный для связывания с целевой мишенью зонд, циркуляционное устройство для циркуляции веществ в контейнере, источник света, приемник света, блок выбора света и детектор, конфигурированный для генерирования электрического сигнала, величина которого отражает количество света, которое принимается приемником света.

Изобретение относится к способу идентификации живых и мертвых организмов мезозоопланктона в морских пробах, который включает отбор пробы, крашение организмов соответствующими красителями, визуальную оценку интенсивности окраски особей под микроскопом, которую выполняют одновременно с микрофотосъемкой организмов, используя настройки фотокамеры в ручном режиме, сохраняя эти настройки неизменными на протяжении фотосъемки по крайней мере одной пробы, после чего в полученных изображениях, применяя редактор растровой графики, например программный пакет Adobe Photoshop, измеряют средние для каждой особи цветовые и яркостные характеристики и относят особи к классу живых или мертвых, осуществляя дискриминантный анализ измеренных цифровых величин. .

Изобретение относится к области фотометрии и касается пламенного фотометра. Фотометр включает горелку, оснащенную устройством впрыска раствора исследуемого вещества.

Изобретение относится к медицине и может быть использовано при исследовании биологической активности клеток крови. Устройство для определения относительных размеров водной оболочки клеток крови включает систему формирования светового луча, поступающего через исследуемый материал, гнездо для размещения светопрозрачной кюветы в виде капилляра с цитратной кровью, снабженное нагревателем, приемник для регистрации угловых зависимостей интенсивностей света, рассеянного клетками крови (индикатрис светорассеяния) при углах наблюдения 0=0-30°.

Изобретение относится к области медицинского приборостроения и применяется для определения оптических и биофизических параметров биоткани. Сущность способа: посылку излучения на ткань в одну или несколько точек осуществляют на длинах волн λ из диапазона 350-1600 нм, измеряют диффузное отражение P(L, λ) на длинах волн посылаемого излучения для каждой из точек освещения, определяют абсолютный R(L, λ) или нормированный r(L, λ) спектрально-пространственный профиль коэффициента диффузного отражения ткани, а оптические и биофизические параметры (X) определяют на основе аналитических выражений, представляющих собой множественные регрессии между Х и R(L, λ) или между Х и r(L, λ), которые получают путем измерения или расчета методом Монте-Карло R(L, λ), r(L, λ) для множества образцов биоткани или моделирующих ее фантомов с известными оптическими и биофизическими параметрами, накопления ансамбля реализации оптических и биофизических параметров биоткани и соответствующих им спектрально-пространственных профилей R(L, λ), r(L, λ) для возможных диапазонов вариаций оптических и биофизических параметров ткани.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и направлено на повышение точности определения положений дефектов на асферических поверхностях как второго, так и более высокого порядка в процессе их формообразования.

Изобретение относится к области метрологии, в частности к системам для определения положения неровностей поверхности, их размеров и количества на расстоянии. Заявленный способ бесконтактного определения рельефа поверхности материалов включает получение информации об объекте с помощью считывающего устройства, обработку информации путем формирования универсальной матрицы поверхности, состоящей из информационных ячеек, содержащих информацию об эталонных и фактических координатах меток поверхности.

Изобретение относится к средствам контроля микронеровностей поверхностей, полученных в результате воздействия машиностроительных технологических операций на шероховатую поверхность.

Изобретение относится к области измерительной техники и может служить для бесконтактного автоматизированного контроля неровностей внутренней вертикальной цилиндрической поверхности, например ракетной шахты.

Изобретение относится к устройствам для внутритрубного контроля трубопроводов и может быть использовано для диагностики трубопроводов среднего диаметра, а также составления профиля трубопровода.

Изобретение относится к области материаловедения и может использоваться для оценки микронеровностей на плоских поверхностях без применения специальных дорогостоящих измерительных средств.

Изобретение относится к способам определения складок. Устройство определения складок включает в себя: световой проектор, который при перемещении относительно многослойного объекта, сформированного посредством укладки электродов и сепараторов, проецирует щелевой свет на крайний внешний из сепараторов, также свет проецируется на камеру, которая выполняет съемку формы щелевого света на сепараторе; и модуль управления, который вычисляет градиент сепаратора на основе отснятой формы щелевого света и определяет наличие складки на основе вычисленного градиента.

Изобретение относится к технике проведения измерений и определения отклонений от плоскостности плоских поверхностей различной площади и протяженности, в частности поверочных, монтажных и разметочных плит, элементов технологического оборудования и устройств, требующих обеспечения плоскостности или горизонтальности установки.

Способ бесконтактного измерения параметров шероховатости поверхности объектов относится к информационно-измерительной технике. При измерении шероховатости направляют на измеряемую поверхность пучок зондирующего излучения, формируют область освещенной излучением поверхности, измеряют характеристики отраженного излучения, изменяют размер освещающего пятна х на измеряемой поверхности в диапазоне от 0 до L, определяют функцию распределения среднеквадратического отклонения высоты шероховатости зависимости Rq(x) и ее производную Rq'x(x), при этом среднеарифметическое значение высоты шероховатости определяется по формуле: R a = 1 L ∫ 0 L R q 2 ( x ) + 2 R q ( x ) R q x ' ( x ) x d x ,                           ( 1 ) причем поверхность освещают поочередно на двух длинах волн, регистрируют в направлении зеркального отражения оптические изображения освещаемых областей поверхности объекта, а среднеквадратическое значение высоты неровностей Rq определяют по формуле: R q = λ 1 λ 2 π cos ψ ⋅ − ln k 12 + ln a λ 1 2 − λ 2 2 ,                     ( 2 ) k12 - отношение видеосигналов для всех элементов; i и j изображений; uij - величины видеосигналов изображений, полученных на длинах волн λ1 и λ2; ψ - угол освещения пластины; N - число элементов в строке изображения поля зеркально отраженного излучения поверхности объекта; K - число строк в изображении поля зеркально отраженного излучения поверхности объекта.

Устройство относится к средствам контроля геометрических параметров макродефектов внутренней поверхности труб, например, нефтяного сортамента. Заявленное устройство контроля макродефектов на внутренней поверхности труб содержит излучатель, приемник излучения, цилиндрический корпус направляющую трубу, механически связанную с электроприводом и установленную вдоль оси корпуса, концевой выключатель, блок управления, блок питания, связанный через блок управления с концевым выключателем, при этом на внутренней поверхности цилиндрического корпуса выполнены симметричные пазы, в каждый из которых установлены четыре пары направляющих роликов с шагом в 90°, ось каждого ролика жестко связана с кронштейном, имеющим возможность перемещения вдоль нормали к поверхности цилиндрического корпуса, при этом каждый кронштейн подпружинен относительно цилиндрического корпуса, другой конец пружины опирается на датчик давления, направляющая труба установлена с помощью подшипников в цилиндрическом корпусе с возможностью вращательного движения, направляющая труба и цилиндрический корпус связаны между собой зубчатой парой, одно из колес которой связано с электроприводом, на одной оси с корпусом установлен с возможностью осевого перемещения шток, опирающийся на пружину, второй конец пружины опирается на датчик давления установленный на фланце цилиндрического корпуса, при этом на части штока, находящейся вне внутренности цилиндрического корпуса, концевой выключатель установлен на штоке вне корпуса и касается торца контролируемой трубы, на торце направляющей трубы укреплен излучатель, перед излучателем размещена мембрана, в которой выполнены параллельные щели, имеющая угол наклона в сторону приемника излучения, в направляющей трубе выполнено окно между мембраной и приемником излучения.

Устройство для контроля углового положения дифракционных порядков дифракционного элемента состоит из координатного стола, оптически связанных рассеивающего экрана с пропускающим окном, контролируемого дифракционного элемента, расположенного между координатным столом и рассеивающим экраном, источника излучения, фокусирующего объектива, видеокамеры, блока обработки и управления. Рассеивающий экран выполняется в виде асферического мениска или оптоволоконного элемента. Видеокамера устанавливается вдоль оси, соединяющей центр рассеивающего экрана и область фокусировки излучения. Технический результат заключается в увеличении скорости и точности контроля в широком диапазоне углового положения дифракционных порядков, а также в упрощении конструкции. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к визуальной оценке качества поверхностей плоских подложек для оптико-электронных компонентов и может быть использовано при техническом контроле состояния поверхности крупных партий деталей в электротехнической промышленности. В заявленном способе контроля поверхности на фоновой поверхности располагают деталь с контролируемой поверхностью, обращенной к источнику света, освещают контролируемую поверхность косонаправленным пучком света, имеющим цветовую окраску, и наблюдают дефекты контролируемой поверхности при аддитивном смешивании цвета контролируемой поверхности и цвета окраски косонаправленного пучка света. Технический результат - повышение производительности процесса контроля поверхностей. 2 ил.

Наверх