Патент ссср 271992

Авторы патента:

C23C14/32 - с использованием взрыва, испарения и последовательной ионизации паров (C23C 14/34-C23C 14/48 имеют преимущество)

О П И С А Н И Е 271992

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сова Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 11.Х1!.1967 (№ 1202302/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26 1/.1970. Бюллетень ¹ 18

Дата опубликования описания 27Х111.1970

Кл. 48Ь, 13/08

МПК С 23с 13/08

УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Комитет со делам изобретений и открытий ври Совете Министров

СССР

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее распылитель и ионный источник.

Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что ионный источник расположен вне распылителя и выполнен в виде цилиндра, внутри которого закреплен катод в виде спирали, ось которой совпадает с осью цилиндра, служащего одновременно анодом.

Это позволяет получить равномерные покрытия.

На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.

Устройство имеет распылитель 1 и ионный источник, расположенный вне распылителя и выполненный в виде цилиндра 2, внутри которого закреплен катод 8 в виде спирали, ось которой совпадает с осью цилиндра 2, служащего одновременно анодом.

В рабочую камеру 4 устанавливают барабаны 5 с подложками б, а в распылитель 1вЂ” распыляемый материал 7. После этого в рабочей камере 4 производится откачка всего объема до предельного вакуума с последующим напуском инертного газа в ионные источники до рабочего давления в пределах 1 10 ввЂ”

1 ° 10 4 мм рт. ст. При подаче соответствующих напряжений между анодами 2 и катодами 8 возникает дуговой разряд. При подаче на распыляемый электрод 8 напряжения ионы газа ускоряются в электрическом поле между анодом и распыляемым электродом 8 и бомбардируют распыляемый материал 7, в результате чего происходит распыление этого материала.

Атомы распыляемого материала через отверстие а прп открытом затворе 9 попадают на

10 подложки б. После напыления всех подложек, с распыляемого электрода 8 снимают высокое напряжение, выключают питание анода и катода, прекращают подачу газа, перекрывают затвор 9, производят напуск атмосферы в ра15 бочую камеру и смену барабанов.

20 Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее распылитель и ионный источник, ст.гичающееся тем, что, с целью получения равномерных покрытий, ионный источник расположен вне распылителя и выполнен

25 в виде цилиндра, внутри которого закреплен катод в виде спирали, ось которой совпадает с осью цилиндра, служащего одновременно ано дом.

271992

Составитель А, Кутибашвили

Рсдактор Т. Фадеева Текред A. А. Камышникова Корректор С. А. Кузовенкова

Заказ 2326,11 Тираж 480 Подписное

Ц11ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4 5

Типография, пр. Сапунова, 2

Патент 247001 // 247001

Патент 245253 // 245253

Устройство для высокочастотной электроимпульсной обработки металлов // 208766

Способ изготовления токопроводящих пленок и устройство для его осуществления // 2105083

Изобретение относится к области микроэлектроники

Устройство для электродугового нанесения покрытий // 2110605

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в машиностроении и станкостроительной промышленности

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Способ импульсно-периодического нанесения вакуумных покрытий и устройство для его осуществления // 2141004

Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технике, предназначенной для нанесения покрытий при их одновременном облучении ускоренными ионами и используемой для модификации поверхностей материалов и изделий в машино- и приборостроении, в инструментальном производстве и других областях

Катод электродугового испарителя // 2196847

Изобретение относится к области нанесения покрытия и может быть использовано для нанесения покрытий на режущий инструмент с помощью электрической дуги в вакууме в атмосфере химически активных газов

Способ упрочнения коленчатого вала двигателя внутреннего сгорания // 2231565

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при упрочнении коленчатых валов двигателей внутреннего сгорания

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253693

Изобретение относится к способу нанесения многослойного покрытия на режущий инструмент и может быть использовано в различных отраслях машиностроения при металлообработке

Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента // 2253694

Способ нанесения декоративного нитридтитанового покрытия на изделия из керамики, металла, стекла и полимерных материалов // 2266351

Изобретение относится к области нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме

Вакуумное электродуговое устройство // 2306366

Изобретение относится к вакуумно- электродуговому устройству для нанесения высококачественных покрытий и может быть использовано в машиностроении, инструментальной, электронной, оптической и других отраслях промышленности для модификации поверхностей материалов