Патент ссср 277962
ЬП ИСАНИ Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
277962
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства № 222572
Заявлено 12.! Ч.1968 (№ 1232163/26-23) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет—
Опубликовано 05.VIII.1970 Бюллетень № 25
Дата опубликования описания 24.XI.1970
Кл. 21g, 21/01 комитет по делам изобретеиий и открытий лри Совете Мииистрав
СССР
МПК Н 011
Н 02h
УД К 621.384.6 (088.8) ф ! )
1
Автор изобретения
В. В. Соколов
Заявитель
ИСТОЧНИК ИОНОВ
Изобретение относится к электровакуумным приборам.
По основному авт. св. № 222572 известен источник ионов, эми1тер которого выполнен из вещества с ионной проводимостью. Применение такого эми1тера в многопучковых приборах не обеспечивает четко очерченных границ пучков.
Предлагаемый источник ионов позволяет улучшигь фокусировку пучков и обеспечить четко очерченные границы ионных пучков.
С этой целью не эмиттирующие ионы области ионизатора выголнены из электроизоляционного вещества, а эмиттирующие области имеют профилированные внутренние и наружные поверхности.
Для повышения плотности ионного тока ускоряющий электрсд напылен на не эмиттирующие ионы области.
На чертеже изображен описываемый источник ионов.
С корпусом 1 соединен ионизатор 2 из ионопроводящего вегцества, на который нанесен слой 3, не пропускающего ионы электроизоляционного материала, например из А1 0г. Слой должен быть плотным, без пористости. В областях, где неэмиттирующего слоя нет, ионизатор имеет профилированную толщину для обеспечения фокусировки. На внутренней поверхности ионизатора имеется электропроводящий пористый электрод 4, соединенный с корпусом 1, Электрод необходим в случае применения вещества, подлежащего ионизации, в газообразном состоянии. При жидком веществе электрод не нужен, его роль выполняет сама жидкость. Для разогрева ионизатора служит нагреватель б.
Разность потенциалов по толщине ионизатора, необхсдимая для перемещения через него
1.1 ионов, и напряжение, вырывающее ионы из ионизатора и ускоряющее их, создаются путем подачи высокого напряжения на внутренний электрод 4 и на электрод б системы ускорения.
Электрод б может располагаться как на по15 верхности ионизгтора, так и вне его. В рассматриваемом источнике ионов электрод напылен на неэмиттирующие области. Высокое напряжение создается источником 7.
Таким образом, внутренний электрод 4 ока20 зывается электрически соединенным через корпус 1 и источник с электродом б системы ускорения.
Работает источник ионов следующим образом.
25 На электроды 4 и б подается высокое напряжение от источника 7, и включается нагреватель б. По мере повышения температуры подвижность ионов в ионизаторе возрастает, и ионы под действием разности потенциалов на30 чинают перемещаться в направлении электри277962
Предмет изобретения
Составитель Н. С. Соловьев
Редактор Л. В. Калашникова Техред Л. Я. Левина Корректор О. И. Усова
Заказ 2239/l8 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, )К-85, Раушская иаб., д. 4/5
Типографии ВДНХ СССР ческого поля. После выхода ионов на поьерхность они отрываются от нее и ускоряются системой ускорения.
Из-за профилирования по соответствующим эквипотенциалам электрического поля поверхностям ионизаторов ионы не попадают в электроды.
Изобретение можно применять и в существующих источниках ионов с поверхностной ионизацией.
1. Источник ионов по авт. св. № 222572, отличающийся тем, что, с целью обеспечения четко очерченных границ ионных пучков и их фокусировки, не эмиттирующие ионы области ионизатора выполнены из электроизоляционного вещества, а эмиттирующие имеют профилированные внутренние и наружные поверхl0 ности.
2. Источник ионсв по и. 1, отлачаюарис» тем, что, с целью повышения плотности ионного тока, ускоряющий электрод напылен на не эмиттирующие коны области.
