Способ получения монокристаллических пленок олова

 

282298

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства ¹

Заявлено 02.IV,1969 (№ 1320759/22-1) Кл, 12@, 17/28

48Ь, 13 с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 28.llX.1970. Бюллетень № 30

Дата опубликования описания 15.IV.1971

MIlK В 01j 17/28

С 23с

УДК 669.68-172.002.2 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

3, Ф. Чайковский и Н. М. Лобода

Заявитель с» а

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ

ПЛЕНОК ОЛОВА

Описываемый способ может быть применен для получения пленок, используемых для исследований в области физики твердого тела.

Известные способы получения монокристаллических пленок олова осаждением в вакууме на монокристаллическую подложку позволяют получать пленки олова ориентации (200) в условиях остаточного давления газа 10 з— — 10 9 лл рт. ст.

Отличием описываемого способа является то, что осаждение осуществляют со скоростью

450-110А/сек на подложку из. хлористого калия, нагретую до температуры 320 — 350 К, при остаточном давлении газа 5 10 — — 10 лл рт. ст.

Осуществление осаждения в таких условиях дает возможность получать пленки олова ориентации (020) в вакууме 5 10 — 10 лл рт. ст., в связи с чем упрощается аппаратурное оформление процесса.

Получение пленок производится следующим образом. В качестве исходного материала используют олово чистотой 99,9998%, дополнительно очищенное зонной плавкой. Подложку размером 20Х20 ллем устанавливают в полости вакуумной камеры на расстоянии 50 — 55 лл от испарителя исходного материала. Во время разогрева исходного олова подложку экра5 нируют, защищая ее от попадания легколетучих примесей олова, Испарение олова производят в вольфрамовой лодочке, нагреваемой периодическим пропусканием тока так, чтобы скорость осаждения олова на подложке была в пределах 450+10 Л/сек. В камере поддерживают остаточное давление 5. 10 — 10 лл рт. ст.

Предмет изобретения

Способ получения монокрисгаллических пленок олова осаждением на монокристаллическую подложку в условиях вакуума, отлича ощийся тем, что, с целью получения пленок ориентации (020) и упрощения аппаратурного оформления процесса, осаждение осущесто вляют со скоростью 450 -10 А/сек на подложку нз хлористого калия, нагретую до температуры 320 †3 К, при остаточном давлении

25 газа 5 10 — 10 лл рт. ст.