Электростатическая линзабмб.и.-:о"ген.а
О П И С А Н И Е 286094
ИЗОЬРЕтЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”
Заявлено 05. т .1969 (№ 1333246/26-25) с присоединением заявки ¹вЂ”
П риоритет—
Опубликовано 10.Х!.1970. Бюллетень ¹ 34
-Дата опубликования описания 8Х!.!971
Кл. 21р, 21/10
Комитет по делам изобретений и открытий прн Совете Министров
СССР."1ПК Н Olj 3/18 . ДК 539.188 (088) (088.8) Авторы изобретения
Л. А. Баранова, T Я. Фишкова, E. В. Шпак и С. Я. Явор
Физико-технический институт имени А. Ф. Иоффе AH СССР
Заявитель
ЭЛ ЕКТРО СТАТИ Ч ЕСКАЯ Л И Н3А
Изобретение относится к оптике заряженных частиц.
Известная электростатическая линза, состоягцая из двух квадрупольных линз, образованных двумя коаксиальными цилиндрами с вырезами, дает стигматичное изображение.
Предложенная линза, образованная тремя коаксиальными цилиндрами, имеет меньшую аберрацию, чем известная линза. Третий ц линдр расположен между внешним и внутренним цилиндрами и имеет две пары вырезов, расстояние между которыми не менее суммы длин внутреннего цилиндра и выреза в среднем.
На чертеже показана предло>кенная электростатическая линза, состоящая из трех коаксиальных цилиндриков 1, 2, 8 с IBblðåçàìè, например |пря|моугольными, в двух внутренних. В цилиндрах 1 и 2 имеются четыре выреза 4 7.
Размеры вырезов в одежном цилиндре могут отличаться,от,размеров вырезов в другом цилиндре. Вырезы раополо>кены попарно, симметрично двум взаимно перпендикулярным плоскостям, т. е. одна .пара повернута относительно другой на угол 90 . Кроме того, ларя сдвинуты одна относительно друтой вдоль оси системы таким образом, что в цилиндре 1 вырезы 4, 5 не перекрываются, а в цилиндре 2 находятся за .краем цилиндра 1. Расстояние между центрами вырезов, относящихся к различным парам, в цилиндре 1 должно бы:ь больше длины выреза, а m цилиндре 2 — оольше суммы длин цилиндра 1 и выреза в цилиндре 2. Длина внешнего цилиндра 8 дол;к5 на быть такой, чтобы вырезы б, 7 в цилиндре
2,находились внутри цил инд ра 8.
При подаче на цилиндры потенциалов
Vq u Vq за счет провисания полей в вырезы циjo линдров образуются четыре послодовательпо расположенные квадрупольные л инзы. Они создают правильное электронного-оптическое изображен ие и,работают подобно квадруплету
15 Для чередования фокусирующего и дефокусирующего воздействия расположенных посл,довательно линз необходимо соответствующим образом расположить внутренние цилиндры один OTHQIcIITcëbío другого. Если разности потенциалов Vg —,и Vg — Vg имеют одинако вы11
2р знак, то вырезы б, 7 в цилиндре 2 должны быть подвернуты относительно лежаших рядом вырезов 4, 5 в цилиндре 1 на угол 90 (фиг. 1, а). Если разн ости потенциалов V.— Vl и V3 — V2 противоположны по знаку, то этог угол поворота равен нулю (фиг. 1, б). Меняя потенциалы Vt и V3, можно,регул иро вать оптические силы внутренних и внешних ивадрупольHblx линз. Изменением .потенциала V одновременно;изменяют оптические силы внут30 ренних,и внешних линз.
286094
Пред м ет изобретения б 2
Составитель Н, С. Соловьев
Редактор Т. 3. Орловская Тскрсд Л. Я. Левина Корректор Т. А. Абрамова
Заказ 8121 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Областная типография Костромского управления по печати
Злектростатичсская линза, состоящая пз дуплета,квадрупольных линз, образованнык коаксиальными цилиндрами с вырезами, со.держащая внешний сплошной цилиндр, внутренний цилиндр с двумя 1парами вырезов, повернутык одна относителыно другой на угол
90 и вдвинутых друг относительно друга вдоль оси цилиндров, и источники питания, отличаюи,аяся тем, что, с целью уменьшения аберраций, между цилиндрами соосно с ними расположен третий цилиндр с;двумя парами вырезов, расстояние между которым и не менее суммы длин внутреннего цилиндра и вы5 реза в .среднем, соседние пары:вырезов во внутреннем и среднем цил индрBx повернуты одна относительно другой на угол, определяемый знаком разности потенциалов, между средним цилиндром и остальными цилиндра10 ми.
