Полый катод для приборов дугового разряда
289458
О П И С А Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
МПК Н Olj 17/06
Заявлено 27.V1.1968 (¹ 1251137/26-25) с присоединением заявки №
Комитет по делам
Приоритет изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.3.032.213.6 (088.8) Огубликовано 08.Х11.1970. Бюллетень ¹ 1
".а 1971
Дата опубликова;1пя описания 2.I I.1971
Автор изобретения
В. И. Донин
Институт физики полупроводников Сибирского отделения АН СССР
Заявитель
ПОЛЫЙ КАТОД ДЛЯ ПРИБОРОВ ДУГОВОГО РАЗРЯДА
Изобретение относится к приборам самостоятельного дугового разряда с пониженным давлением рабочего газа и холодным катодом.
Известны приборы тлеющего разряда, содержащие полый катод, в отверстие которого вставляется втулка из изолирующего материала, уменьшающая скорость катод ого распыления за счет ослабления краевых эффектов.
Однако эффсктивность такой конструкции в приборах дугового разряда невелика, так как в них распыление или испарение катода происходит со всей поверхности, а не только с краевых участков.
Предложенный катод отличается тем, что втулка выполняется из тугоплавкого материала и теплоизолируется от внутренней пОверхности катода. В результате она нагревается при разряде до температуры, обеспечивающей удаление с поверхности ка года напыленного материала и возвращение последнего на катод.
Описываемьш катод показан на чертеже.
Катод состоит из тела 1 катода, рабочей»олости 2, на поверхности которой возможно существование «дуги с холодным» катодом, и втулки 8 из тугоплавкого материала для крепления втулки 4, В момент дугового разряда втулка т нагревается за счет энергии, выделяемой прп разряде. Отводя тепло от втулки, регулируют ее температуру, в чаcTIIocTII, устанавливают температуру стенок втулки, равную температуре кипения материала в рабочей полости.
Предположим, что теплоогвод от втулки осуществляется только за счет излучения в сл1 чае тонких стенок Втулки и низких давлений газа в рабочей полости. Тогда размеры втулки, обеспечивающие необходимую температуру, определяют, исходя из баланса мощ10 ности, выделяемой разрядоз! на степках втулKII и Отводимой От IIII излучением. Требуемые размеры ьтулки могут быть подобраны и эксгериментально.
Вследствие высокой температуры втулки
15 материал рабочей полости, распыляемый в катодных пятнах дуги и попадающий на стенки втулки, испаряется с гптх и вновь оседает на стенки рабочей полости. Если рабочая полость имеет форму сферы, то нет участков рабочей
20 поверхности, íà KQTopblx бы катодные пятна существовали дольше, чем на других; следовательно, катодпые пятна будут «блуждать» по рабочей полости, и полость сохраняет свою форму. Если»;е полость произвольной формы, 25 в начале работы катода имеются участки, на которых катодные пятна «задерживаются», Но поскольку это привод:iT к pBcllbl IQIIIIIo так1!х участков, полость в процессе работы примет форму, исключающую участки с преимущестЗО венным удержанием катодных пятен, 289458
Предмет изобретения
Составитель И, Ратенберг
Корректоры: А. Николаева и JI. Корогод
Редактор Т. Орловская
Изд. № 20 Заказ 8/2 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4,, 5
Типография пр. Сапунова, 2
Полый катод для приборов дугового разряда с пониженным давлением рабочего газа со втулкой, расположенной в выходном отверстии, отлача(осцийся тем, что, с целью увеличений срока службы, втулка выполие1.а из тугоплавкого материала и теплоизолировапа от вяу1реппей поверхности катода.
