Патентно-техи',1'1е:наябиблиотека

 

О П И С А Н И Е 298492

Союз Советских

Социалистических

Республик

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 15,1Ч.1968 (№ 1233899/28-12) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 16.111.1971. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 14Л 1,1971

МПК В 43! 13/02

Комитет по делам

:аабретений и открытий чи Соао е Министрое

СССР

УДК 744,34(088.8) Авторы изобретения

С. П. Андреев, В. А, Зайцев и Я. А. Райхман

Заявитель

МАШИНА ДЛЯ ВЫЧЕРЧИВАНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ТОПОЛОГИИ

МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ СХЕМ

Изобретение относится к контрольно-измерительным чертежным машинам с программным управлением, служащим для вычерчивания в увеличенном масштабе контуров элементов топологии микроэлектро1гиых схем по программам, составленным для работы микрофотопаборных устройств. Машина, кроме того, позволяет бь1стро и качественно производить визуальный контроль правильности составления как самих программ, так и правильности подготовки исходных данных.

Машина содержит программное устройство, координатный чертежный стол, имеющий две взаимно перпендикулярные направля1ощие с кареткой на каждой из них, приво,чимой в движение от самостоятельного привода, свя а«IIoI.o с программным устройством. 11а одной из кареток укреплен предметный стол для крепления черте>кной бумаги, на другой каретке смонтирована чертежная головка, содержащая четыре подвижных упора, образую1цих прямоугольное окно переменного профиля. По контуру окна обкатывается сменный держатель с пишущим приспособлением, закрепленный в переставном относительно плос1 ости окна шаровом шарп11ре. Держатель и упоры имеют приводы.

На чертеже изобра>кена предлагаемая мапIипа.

Машина содержит программное устройство 1, координатный чертежный стол 2 и черте>кную головку 8.

Координатный чертежный стол имеет основание 4, на котором укреплены две взаимно перпендикулярные направляющие 5 с установленными на каждой из них каретками б и 7.

Каретка б несет на себе предметный стол 8 для крепления чертежной оумаги, а каретка 7 — чертежную головку 8. Каждая из кареток связана собственнои парой винт--гайка 9 с самостоятельным управляемым электроприводом 10 и датчиком 11 обратной связи.

Обе каретки с приводами и,чатчиками одинаковы по конструкции и независимы в работе.

Управление электроприводами карсток в отдельности осуществляет программное устройство в зависимости от задаваемых координат.

Черте>кпая головка содержит четыре подвижных упора 12, представляющие собой пластины, размещенные попарно одна под другой в направляющих пазах корпуса чертежной головки т ак, что перемещение одной пары пластин нс препятствует перемещению другой пары. Упоры имеют попарный электропривод с датчиками положения и образуют прямоугольное окно перемен1юго профиля, в котором находится сменный держатель 18, закрепленный в переставном относительно плоскости стола шаровом шарнире 11. .,в Держате.чь несет пишущее прпстк>соблеш1с

298492!! записное

Тира.к 473

Заказ 2374

Загорская типография

)! выполнен с возможностью обкатывапия по контуру окна.

B примере исполнения привод держателя содержит поводок 15, связанный через наклонную пружину (6 с электродвигателем 17. Поводок прижат пружиной к профилироваппому диску 18, находится в зацеплении с червяком, расположенным на валу электродвигателя.

Наклоны пружины выбраны такими, чтобы ее усилие одновременно передавалось через качающийся в отверстии шарового шарнира поводок (б на держатель 18 и прижимало его к одному из упоров 12.

При вращении профилированпого диска 18 пружина 1б, совершая круговое движение, через поводок 15 поочередно прижимает держатель к упорам и перемещает его по прямоугольному контуру окна, образоватп!о!о упорами, с остановками в углах.

Обход окна начинается и заканчивается в одном и том же углу. Во время остановки держателя в углу поводок опускается под действием пружины (б во впадину на профилированном диске и приподнимает держатель, после Чего диск останавливается.

При работе машпны информация, нанесенная па бумажную перфоленту, последовательно вводится в программное устройство 1, по командам которого каретки б и 7 координатного стола !.сремегцаются р нужную позицию, а подвижные упоры 12 чертежной головки образуют необходимый размер окна, после чего держатель 18 совершает обход контура окна, вычерчивая на .тисте бумаги на столе 2, соответствующий прямоугольный элемент топологии микросхемы. После этого держатель поднимается в исходное положение.

Предмет изобретения

)0

Машина для вычерчивания элементов топологип микроэлектронных схем, отличающаяся тем, что, с целью ускорения процесса, она содержит программное устройство, координатный чертежный стол, имеющий две взаим!ю перпендикулярные направляющие с каретксй на каждой из них, приводимой в дви>кение от самостоятельного привоча, связанного с программным устройством, предметный стол для

20 крепления чертежной бумаги и укрепленный па одной каретке, чертежную головку, смонтированную на другой каретке и содержащую помещенные в корп .се четыре подвижных упора, образующих прямоугольное

25 окно переменного профиля, и сменный держатель с пишущим приспособлснсием, оокатывающийся по контуру окна и закрепленный в переставпом относительно плоскости окна шаровом шарнире, привод держателя и привод

30 l поров.