Патент ссср 313874

Авторы патента:

F27B9/14 - отличающиеся способами или средствами перемещения нагреваемого материала (F27B 9/28 имеет преимущество; подвижные платформы или контейнеры для загружаемого материала F27D 3/12)

F27B5/13 - размещение разгрузочных устройств

F27B5/12 - размещение загрузочных устройств

F27B5/04 - для нагрева материала в вакууме или в особой газовой среде

3I3 874

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республнк

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 07.VI II.1969 (№ 1355267/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 07.IX.1971. Бюллетень ¹ 27

Дата опубликования описания 18.XI.1971

МПК С 21d 9/00

F 27d 3/00

Комитет по делам изобретений н открытий прн Совете Министров

СССР

УДК 621.783.244 (088.8) Авторы изобретения

В. В. Анохин, В. И. Иванов, Н, М. Мытарев и Г. А. Фомин

Заявитель

МЕТОДИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЬ ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОЙ

ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

14зобретение относится к методическим печам для прецизионной обработки преимущественно полупроводниковых материалов при производстве интегральных схем и может быть использовано в процессах диффузии, 5 окисления и других, требующих высокой точности поддержания температуры, чистоты процесса и определенной скорости перемещения изделий в рабочем пространстве.

Известна методическая печь для прецизион- 10 ной термической обработки, содержащая термическую камеру с реакционной трубой и у стройство для перемещения изделий через рабочее пространство печи, выполненное в виде конвейера. 15

Однако с точки зрения термической обработки полупроводников в этой печи из-за наличия трущихся механизмов возникает недопустимая для обработки полупроводников за- 20 пыленность.

Цель изобретения вЂ” обеспечение возможности проведения прецизионной обработки полупроводниковых материалов при высоких температурах и в агрессивных средах. 25

Для этого устройство для перемещения изделий выполнено в виде подвижной трубы, имеющей продольный паз. Труба может быгь изготовлена из стойкого к высоким температурным и агрессивным средам материала, из 30 гысокочистого кварца, графита с различными покрытиями, окиси алюминия и т. д.

На фиг. 1 представлена предлагаемая печь, продольный разрез; на фиг. 2 вЂ” то же, поперечный разрез.

Печь имеет основание 1 и термическую Kdмеру 2 с реакционной трубой (муфелем) 8.

Внутри реакционной трубы 8 проходит подвив.ная труба 4, жестко связанная через стойки 5 с устройством перемещения б, которос условно представлено в виде эксцентричных валов. Шлюзы 7 соединены с концами реакционной трубы и обеспечивают герметичность рабочего пространства печи, подачу кассеты 8 с размещенными в ней изделиями 9 в реакционную трубу 8 и на опорные кромки паза подвижной трубы 4. Ввод стоек 5 в шлюзы 7 осуществлен через сильфоны.

Устройство 6 через опорные стойки передает подвижной трубе 4 движение в вертикальной продольной плоскости по замкнутому циклу заданной формы (окружность, прямоугольник и т. д.). При этом оси труб 8 и / остаются параллельными. Совершая движсгн е, труба 4 поднимает кассету 8 за выступы кромками своего паза от пода реакционной трубы 8, перемещает ее на определенное расстояние вдоль оси печи, затем опускает на под печи, освобождае я от нагрузки и