Способ получения контактов в пленочныхрезисторах
ОПИСАНИЕ 3l538l
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К ПАТЕНТУ
Зависимый от патента №
МПК H 01с 7/00
Заявлено 06.11.1968 (1че 1221417/22-1) Приоритет 09,III.1967, № 621863, США
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР ДК 621 316 84(088 8) Опубликовано 21.IX.1971. Бюллетень № 28
Дата опубликования описания 02.XI.1971
Автор изобретения
Иностранец
Поль Маркус Джонсон, мл. (Соединенные Штаты Америки) Иностранная фирма
«Вестерн Электрик Компани, Инкорпорейтед» (Соединенные Штаты Америки) Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОНТАКТОВ В ПЛЕНОЧНЫХ
РЕЗИСТОРАХ
Предмет изобретения
Изобретение относится к способам получеHHB контактов в резисторах из нитрпда тантала.
Известен способ получения контактов в пленочных резисторах, состоящий в том, что резистивный слой покрывают слоем золота.
Предложенный способ отличается от известного тем, что перед нанесением слоя золота на резистор послойно напыляют другие металлы, обеспечивающие улучшение паяемости контактов после термообработкп резисторов из нитрида тантала.
Предложенный способ заключается в том, что на нитрид тантала чаносят, например, напылением в вакууме слой хрома или хромоникелевого сплава, содержащего до 80 /О никео ля, толщиной 100 — 800 А, затем слой металла, выбранного из группы: палладий, родий, плао тина, рутений, толщиной 2500 — 3500 А, поверх которого наносят слой золота толщиной
3200 †45 А.
Контактная оконечность резистора из ингрида тантала, состоящая из последовательно напыленных слоев хрома толщиной 250, палладия толщиной 2875 и золота толщиной о
3550 А, подвергнутая длительному нагреву при температуре выше 475 С, сохраняет способность к панке. Проводник, припаянный и такой контактной оконечности, прп воздействии на него достаточного усилия сохраняет
5 прочную связь в месте контакта, и до отделения проводника в месте контакта происходит разрушение подложки.
1. Способ получения контактов в плено lп11х резисторах путем напыления слоя золота, от15 личающийся тем, что, с целью улучшения паяемости контактов после термообработкп резистора пз нитрида тантала, перед нанесением слоя золота на нитрид тантала напыляют хромсодержащий слой, затем металл, выб20 ранный из группы: палладий, родтш, платина, рутений.
2. Способ по и. 1, отличающийся тем, что в качестве хромсодержащего слоя на нптрид тантала напыляют слой хрома.
25 3. Способ по п. 1, отличающийся тем, 1то в качестве хромсодержащего слоя па ннтрид тантала напыляют хромоникелевый сплав, содержащий до 80% никеля.
