Способ получения покрытий

Авторы патента:

C23C10/06 - с использованием газов

3I7720

СПИ САНИ Е

H305P ЕТЕ Н ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Сопи алистических

Респубдик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 21 VIII.1968 (№ 1265395/22-1) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 19.Х.1971. Бюллетень ¹ 31

Дата опубликования описания 27,XII.1971

МПЬ; С 23с 11/00

С 23Ь 49/00

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.16(088.8) Лвтор изобретения

Ю. H. Токаев

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ flob, ÐÛÒÈ É

Изобретение относится к способам получения покрытий путем осаждения из газопаровой ф азы.

Известен спосоо получения покрытий путем восстановления галоидопроиз водных соединений водородом на нагретой поверхности подложки.

Однако такой способ обладает недостаточной производительностью и требует применения мощного нагревательного оборудования.

Предлагаемый способ отличается от известного тем, что восстановление осуществляют атомарным водородом.

Это позволяет интенсифицировать, а также упростить процесс осаждения за счет исключения дополнительного нагревательного оборудования.

При осуществлении способа источником тепла для нагрева поверхности подложки служит рекомбинация атомов водорода.

Ввиду большой активности атомов водорода и отсутствия стадии диссоциации скорость реакции увеличивается, что интенсифицирует процесс. Температуру поверхности подложки регулируют изменением ее расстояния до среза сопла атомно-водородной горелки, из которой атомарный водород подают к поверхности подложки, Одновременно к поверхности подложки подводят струю легколетучего галоидного соедипения, в качестве которого используют, например металлоорганические и другие химические соединения. Процесс осуществляют в конгролируемой àтмосфере при перемещении горелки lio всей покрываемой поверхности.

Путем регулирования скорости перемещения горелки получают покрытия различной толщины.

Пример. На поверхность графитовой под10 ложки) находящейся в атз!Осфсре аргона, подают струю атомарного водорода. В результате рекомбинации атомов водорода графит нагревается до 500 вЂ 6 С. Одновременно в зону соприкосновения струи водорода с поверх15 ностью графита подают струю газообразного гексафторида вольфрама. В результате взаимодействия гексафторида вольфрама с ато»apным водородом на поверхности подложки оса?кдае1ся сло11 металлического вольфрама.

20 Скорость оса?кдения 0,5 вЂ” 2 птл1/пас.

Предмет изобретения

Способ получения покрытий путем восста25 новления, например, галоидопроизводных соедипешш водородом на нагретой поверхности подложки, от.ш)1а)оп1пйся тем, что, с целью интенсификации процесса, восстановление oc)ществляют атомарным водородом.

Похожие патенты:

Патент 316759 // 316759

Способ получения покрытий тугоплавкихметаллов // 311983

Способ получения вольфрамовых покрытий // 291995

Способ нанесекия диффузионных покрытийна графит // 184093

Патент 155933 // 155933

Способ диффузионного легирования поверхности изделий металлами // 148427

Способ насыщения тугоплавких металлов в газовой среде, например, алюминием, кремнием и цирконием // 148318

Способ нанесения покрытий карбида кремния // 145106

Способ нанесения защитных покрытий на детали из жаропрочных никелевых сплавов с полостями и перфорационными отверстиями, изготовленными методом электроэрозионного прожига // 2176684

Способ повышения качества и эксплуатационной надежности лопаток турбины газотурбинных двигателей из жаропрочных никелевых сплавов // 2184178

Изобретение относится к области химико-термической обработки жаропрочных никелевых сплавов и может быть использовано при проведении горячего изостатического прессования (ГИП) охлаждаемых лопаток турбины стационарных, энергетических и транспортных газотурбинных двигателей

Способ нанесения покрытия // 2199605

Изобретение относится к области металлургии, в частности к способам диффузионного насыщения поверхностных слоев материалов, и может быть использовано в авиационной, судостроительной и энергомашиностроительной промышленности

Способ получения декоративного покрытия из сплава индия // 2220224

Изобретение относится к получению декоративных покрытий, которые могут использоваться в стоматологии или ювелирной промышленности

Способ получения на поверхности металла защитного покрытия, содержащего алюминий и цирконий // 2350685

Изобретение относится к способу получения на поверхности металлической подложки защитного покрытия, содержащего алюминий

Способ легирования поверхностных слоев твердых тел // 2060870

Изобретение относится к машиностроению и преимущественно может быть использовано для прецизионного легирования тонких листов, оболочек, для обслуживания поверхности "несмачивающим" материалом под последующую пайку химически пассивным припоем

Печь для химико-термической обработки деталей // 2016136

Изобретение относится к химико-термической обработке деталей из сталей и сплавов с использованием кипящего слоя

Способ формирования покрытия на рабочей охлаждаемой лопатке газовой турбины из никелевого сплава // 2486277

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий на лопатки газовых турбин из никелевых сплавов и может быть использовано в авиационной промышленности, машиностроении, энергетике и других отраслях промышленности

Устройство для объёмного металлирования // 2574947

Изобретение относится к производству изделий из композиционных материалов с металлической или карбидно-металлической матрицами, а также из керметов. Устройство для объемного металлирования заготовок содержит основные нагреватели, расположенные вокруг наружной реторты, и дополнительный нагреватель для подогрева тиглей с металлом, внутреннюю реторту замкнутого объема с размещенными внутри нее металлируемыми заготовками и тиглями с металлом, реактор проточного типа, теплоизоляцию из пористых углеграфитовых материалов и пневмо-газо-вакуумную систему. Наружная и внутренняя реторты выполнены из частей, расположенных по высоте, и размещены коаксиально друг другу с зазором. Наружная реторта снабжена патрубками для соединения межретортного зазора с пневмо-газо-вакуумной системой. Дополнительный нагреватель расположен вертикально по центру внутренней реторты, выполнен с возможностью обеспечения равномерного температурного поля по его высоте и размещен во вмонтированном в донную часть внутренней реторты герметичном защитном стакане из термостойкого материала, вокруг которого по всей высоте установлены тигли с металлом. В частном случае осуществления изобретения тигли с металлом выполнены в форме полуторов. Обеспечивается снижение длительности процесса металлирования при одновременном снижении брака как длинномерных, так и выполненных из керметов деталей. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Способ получения легированных порошков в виброкипящем слое // 2606358

Изобретение относится к области порошковой металлургии, в частности к области легированных порошков, и может быть использовано в различных областях техники, в частности для газотермического напыления покрытий. Способ получения легированного металлического порошка включает смешивание легирующего порошка с базовым порошком и проведение химико-термической обработки с обеспечением диффузионного связывания частиц легирующего порошка с базовым порошком, при этом смешивают базовый порошок фракционного состава 0,5-500 мкм и мелкодисперсный легирующий порошок, осуществляют нагрев полученной смеси до температуры, не превышающей температуры экзотермического эффекта смеси, при этом нагрев, химико-термическую обработку и охлаждение смеси осуществляют в виброкипящем слое в присутствии активатора. Изобретение направлено на повышение качества порошков при упрощении технологии и сокращении времени их получения. 7 з.п. ф-лы, 2 ил., 2 табл., 2 пр.