Способ изготовления термокомпенсированиых однонитевых тензорезисторов

 

О II И C--A - ФМЕЙ.

ЙЗОБРЕТЕН ИЯ

3I88O5

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Ь!ПК G 01h 7/18

Заявлено 06.1т/,1970 (№ 1424001/25-28) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 28.Х.1971. Бюллетень № 32

Дата опубликования описания 5Х.1972

Комитет по делам иаооретеиий и отнрытий при Совете Министров

СССР

УДК 08) 083 8.531 787.913 (088,8) Авторы изобретения

С. И. Балабан, M. В. Гивельберг, Э. С. Друбецкий и В. Г. Скворцова

Заявитель

Кишиневский научно-исследовательский ииституl электроприборостроения

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕРМОКОМПЕНСИРОВАН11ЫХ

ОДНОН ИТЕВЫХ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ

Предмет изобретения

Изобретение относится к электротензометрии и может быть использовано при производстве тензорезисторов с одиночной нитью из литых м11кропр оводов.

Известен способ температурной компенсации тензорезисторов с одиночной нитью, заключающийся в том, что чувствительный элемент соединяют с концами термочувствительного элемента, длина и сечение которого известны.

Однако термокомпенсация таких тензорезпсторов представляет серьезные трудности и не всегда является возможной пз-за малого поперечного сечения чувствительного элемента (3 — 5 мкм).

Целью предлагаемого способа является термокомпенсация тензорезисторов при IIx изготовлении, что повышет точность измерения.

Термокомпенсация тензорезисторов предлагаемым способом осуществляется путем напыления в вакууме на чувствительный элемент слоя термочувствптельного материала.

На чертеже показана схема для осуществления предлагаемого способа, На решетку из токопроводов 1 натягивают отрезки микропровода 2. Затем на участки микропровода, равные 0,2 его длины, папыляют слой 8 металла, например никеля, диаметр

110крытпя котор01 О Определяется ИО фор.iI) .tlñ. где р †удельн сопротивление никеля, 1 — радиус микропровода, Pi -- сопротивление покрытия, 10 l — длина участка

Изменяя длину участка покрьппя и е» 1(1,( щпну, можно полу вить термокомпенспровапные тензорезисторы для различных мат рп;1лов.

Способ изготовления тер;гокомпенсвр(>в;1п

HbIx одпонитевых течзорезпсторов, заключ;1и.

20 щпйся в том, что чувствительный элем(.пт соединяют с термочувствптельпьтм элема lllolll, о(лича/ои)ийгя(. тем, что, с целью повып1е1гп» точности измерения, термочувствптельны и элем(II I. выполняют в виде напылепного слоя, Iulle(.ell25 ного на чувствительный элемент.

Редактор К. Шанаурова

Составитель О. Малеева

Техред Л. Евдонов

1(оррекгор Т. Бабакина

Заказ 1166;1! Изд. № 485 Тирана 473 Полип"нос

ЦН11ИПИ 1(омптета по делам изобретений и открытий при Совете Министров CCCP

Москва, 7К-З5, Раушская наб., д. 4 5

Типография, пр. Сапунова, 2