Способ измерения величины зазора между двумядеталями
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
3) 9839
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 27 1Ч.1970 (№ 1429934/25-28) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 02.XI.1971. Бюллетень № 33
Дата опубликования описания 22.XIII.1971
МПК G Olb 11/14
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 531.717.621.53(088.8) Авторы изобретения
Г. Г. Земсков, В. Т. Стогиушеико, В. В. Архипов, В. А. Савельев, В. А. Фаткин и М. Г. Баранов
Севастопольский приборостроительный институт
Заявитель
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ ЗАЗОРА МЕЖДУ ДВУМЯ
ДЕТАЛЯМИ
Изобретение относится к области измерения линейных размеров в машиностроении.
Известен способ измерения величины зазора между двумя деталями с использованием интерферометра, заключающийся в том, что контролируемый узел устанавливают так, чтобы измеряемый зазор был расположен параллельно перемещению каретки интерферометра, пучок света интерферометра направляют на кромку одной из деталей, образующей измеряемый зазор, исполняющей роль подвижного зеркала интерферометра.
Но так как измерение осуществляется визуально, непосредственным счетом количества интерференционных полос, то точность полученного результата измерения зависит от степени квалификации оператора, кроме того, повышение производительности контроля ограничено возможностью восприятия перемещения интерференционных полос человеческим глазом.
Цель изобретения — повысить точность и производительность измерения.
Достигается это тем, что световой поток, направляемый на неподвижное зеркало интерферометра, разделяют на два вспомогательных пучка света, один из которых направляют на фотоэлектронный умножитель, предназначенный для регистрации начала и конца измерения зазора по изменению освещенности фото2 катода. Другой пучок света направляют на неподвижное и подвижное зеркала, отразившись от которых, интерферированный пучок света направляется на второй фотоэлектрон5 ный умножитель для непосредственной регистрации количества интерференционных полос, проходящих через фотокатод.
На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.
1о Световой поток от ОКГ 1 разделяют светоразделительной пластиной 2 на два пучка 1 и II. Поток лучей пучка 1 объективом 8 фокусируют в плоскости, образующей измеряемый зазор 4, расположенный в фокальной плоско15 сти объектива. Отразившись от кромки одной из проверяемых деталей, поток лучей попадает на светоразделительную пластину 2 и далее на фотоэлектронный умножитель 5. Поток лучей пучка II полупрозрачным зеркалом б раз2о деляют на два пучка II, и Пп. Пучок II, направляют к зеркалу 7, а световой пучок 11о— к зеркалу 8. При изменении расстояния между плечами II, и Пп отраженные световые потоки от зеркал 7 и 8 на полупрозрачном зеркале б, 25 образуют интерференционную картину и далее поступают на фотоэлектронный умножитель 9 в виде темных и светлых полос. При изменении освещенности фотокатода фотоэлектронного умножителя 5 (а это происходит при рас30 фокусировке светового пятна в момент его по3!0830
Составитель Л. Кениг
Техред 3. Н. Тараненко
Редактор С. П. Ежкова
Корректоры: Л. Корогод и А. Николаева
Заказ 3636/12 Изд. № 1556 Тираж 473 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская нао., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 падания в проверяемый зазор) включается фотоэлектронный умножитель 9, непосредственно регистрирующий количество интерференционных полос, проходящих через фотокатод, По окончании прохождения зазора световое пятно снова попадает на кромку детали, находящуюся в фокальной плоскости объектива, изменяется величина отраженного светового потока, приходящегося на фотокатод фотоэлектронного умножителя 5, который фиксирует конец измерения. Истинная величина измеряемого зазора определяется в величинах кратных длине волны оптического квантового генератора и определяется в мм в соответствии с известным уравнением:
S=n Х, где и — число полос, зарегистрированных счетчиком;
Х вЂ” длина волны ОКГ.
Предмет изобретения
Способ измерения величины зазора между двумя деталями с использованием интерферо-
4 метра, заключающийся в том, что контролируемый узел устанавливают так, чтобы измеряемый зазор был расположен параллельно перемещению каретки интерферометра, пучок света интерферометра направляют на кромку одной из деталей, образующей измеряемый зазор, которая исполняет роль подвижного зеркала интерферометра, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и производительщ ности измерения, световой поток, направляемый на неподвижное зеркало интерферометра, разделяют на два вспомогательных пучка света, один из которых направляют на фотоэлектронный умножитель, предназначенный для
15 регистрации начала и конца измерения зазора по изменению освещенности фотокатода, а другой — на неподвижное и подвижное зеркала, отразившись от которых, и нтерферированный пучок света направляется на второй фотоэлектронный умножитель для непосредственной регистрации количества интерференционных полос, проходящих через фотокатод.
