Тонкопленочный резистивный материал
320835
О П И С А Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 15.VI.1970 (№ 1449773/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 04.Х1.1971. Бюллетень № 34
Дата опубликования описания 12.1.1972
МПК Н Olc 17/00
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.316.849 (088.8) Автор изобретения
Т. Н. Болгарина
Заявитель
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ
Изобретение относится к технике изготовления радиодеталей и может быть использовано в производстве прецизионных и высокочастотных резисторов.
Известны тонкопленочные резистивные материалы на основе окиси олова с добавкой окислов цинка и сурьмы.
Эти материалы имеют величину температурного коэффициента сопротивления (ТКС)
+40 — — 100 10 — j С, что недостаточно для высокостабильных и прецизионных резисторов.
Целью изобретения является получение резисторов с низким значением ТКС при расширении диапазона сопротивлений в низкоомную и высокоомную область. Для достижения этой цели в состав резистивного материала введена смесь окислов висмута, железа, алюминия, титана, хрома, тантала и ниобия. При этом тонкопленочный резнстивный материал может содержать исходные компоненты в следующих количественных соотношениях, в вес. %:
Окислы олова 85 — 98,5
Окислы цинка 0,5 — 3,0
Окислы сурьмы 1,0 — 12,0
Окислы висмута 0 — 15,0
Окислы алюминия, титана, тантала, хрома, железа и ниобия 0 — 15,0
Предложенный резистивный материал позволяет получать металлоокисные пленки для резисторов с величиной ТКС, изменяющейся в интервале 100.10 — / С, и величиной удельного поверхностного сопротивления от 0,5 Ола до 1 ком/кв при этом величина коэффициента влагостойкости не превышает 1%.
Коэффициент электростарения при рассеивании удельной мощности 0,75 вт/кв при температуре +70 С и длительности испытаний
100 час не превышает -1%, а коэффициент
10 импульсной нагрузки <1%.
Предмет изобретения
1. Тонкопленочный резистивный материал на основе окиси олова с добавкой окислов
15 цинка и сурьмы, отличающийся тем, что, с целью получения резисторов с низким значением температурного коэффициента при расширении диапазона сопротивлений в низкоомную и высокоомную область, в его состав
20 введена смесь окислов висмута, железа, алюминия, титана, хрома, тантала и ниобия.
2. Материал по п. 1, отличающийся тем, что он содержит исходные компоненты в следующих количественных соотношениях (в вес. %).
Окислы олова основа
Окислы цинка 0,5 — 3,0
Окислы сурьмы 1,0 — 12,0
О иислы висмута 2 — 15,0
Окислы алюминия, титана, тантала, хрома, железа и ниобия 3 — 15,0