Интерферометр для контроля качества вогнутых отражающих поверхностей вращения
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
32I674
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 27.XII.1968 (№ 1294560/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 19.XI.1971. Бюллетень ¹ 35
Дата опубликования описания 2.II.1972
МПК G 01Ь 9/02
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 531.72(088.8) Авторы изобретения
М. В. Лобачев, М. H. Сокольский, С. С. Аксельрод и К. М. Груздева
Заявитель
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ВОГНУТЫХ
ОТРАЖАЮЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВРАЩЕНИЯ
Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано для технологического контроля точности изготовления вогнутых отр ажающих поверхностей вращения.
Известен интерферометр для контроля качества вогнутых отражающих поверхностей вращения, содержащий эталонную и рабочую ветви с устаповленш ими в последней контролируемой деталью и компенсатором сферической аберрации.
Недостаток этого пнтерферометра заключается в фиксированном расположении компенсатора на значительном расстоянии от центра кривизны контролируемой поверхности, что ведет к требованию отдельного компенсатора для каждой поверхности определенной кривизны и эксцентриситета.
Предлагаемый иптерферометр позволяет расширять диапазон контролируемых поверхностей по радиусам кривизны и эксцентриситетам, а также контролировать качество вогнутых отражающих поверхностей П-го порядка. Это достигается тем, что компенсатор установлен между центром кривизны и контролируемой поверхностью на расчетном расстоянии от нее.
На чертеже показана рабочая ветвь описываемого интерферометра.
Интерферометр выполнен по схеме Майкельсона. Его рабочая ветвь образована объективом 1, компенсатором 2 сферической аберрации и контролируемой деталью 8, причем компенсатор установлен между параксиальным центром кривизны 0 и контролируемой поверхностью П-ro порядка детали на расстоянии от нее, равном
Re "
10 R— где R — радиус кривизны в вершине контролируемой поверхности 3; е — эксцентриситет поверхности т ;
15 р — постоянный параметр компенсатора
2, зависящий от увеличения, с которым он изображает центр кривизны О в точку О, совмещенную с фокусом объектива 1.
20 Параллельный пучок света падает на объектив, собирается в его фокусе О и, пройдя компенсатор, отражается от контролируемой поверхности детали, возвращаясь в точку 0 и выходя из объектива снова па25 раллельным пучком, который соединяется с эталонным пучком света, образуя интерференционную картину (ход одного из лучей показан стрелками).
Как видно из приведенной формулы, при
30 контроле поверхностей различных радиусов
321674
/ e2
Р/
Составптсль Е. Афанасьев
Тскрсд Е. Борисова
Корректоры О Зайнева и О. Волкова
Редактор H. Корченко
Заказ 3998/14 Изд. № 1713 Тираж 473 Подппспое
ЦНИИПИ Комитета по делам нзоорете гй и открытп::1 прн Совете Мннпстроз СССР
Москва, /К-35, Раугнская нао., д. 4, 5
Типография, пр. Сапунова, 2 кривизны и эксцентриситетов компепсатор следует устанавливать па расчетном расстояIiии от контролируемой поверхности.
Предмет изобретения
1. Иптерферомет1з p IH KOHTpO III IIBtICCTBB вогнутых отражающих поверхностей вращения, содержащий эталоннуIO и рабочую ветви с установленными в последней контролируемой деталью и компенсатором, отличаю1иийся тем, что, с целью расширения диапазона контролируемых поверхностей по радиусам кривизны и эксцентриситетам, компспсатор установлен между центром кривизны и контролируемой поверхностью.
2. Интерферометр по п. 1, отличающийся тем, что, с целью контроля качества вогнутых отражающих поверхностей П-го порядка, компепса.гор установлен между центром кривизны и контролируемой поверхностью на расстоянии от пее, равном
10 где R — радиус кривизны в вершине контролируемой поверхности;
e — - эксцентрисптет контролируемой поверхносги;
15 р — постоянный параметр компенсатора.
