Установка для нанесения покрытий в вакуумена ленту

 

О П И С А Н И Е 1323469

ИЗОБРЕТЕН Ия

Союз Советски»

Са11иалистическия

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства М—

3;-,явлено 08.VI.1970 (№ 144395-1.22-! ) .Ч. Кл. С 23с 13,08 о присоединением заявки ¹â€”

Кое!итет по делак изобретений и открытий при Соеете Министров

СССР

Приоритет—

Опубликовано 10.XII.1971. Вюл",ere«!, Л 1:;i 19, :

Дата опубликования описания 13.!11.1972

УД К 621.793.14.002..52(088.8) Авторы изобретения

В. А. Демидкин, В. С. Ковальчук и Б. А. Мовчан

Ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени институт электросварки имени Е. О. Па.она

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

НА ЛЕНТУ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известна установка для нанесения покрытий в вакууме на ленту, содержащая камеру, внутри которой расположены испаритель и приводные бобины, закрепленные на шта::— гах, связанных с приводом вращения.

Однако в известной установке для перематывания ленты с одной бобины на другун! необходимы вспомогательные ролики, установленные внутри камеры, что усложняет конструкцию установки.

Целью изобретения является создание такой установки, в которой отсутствуют вспомогательные ролики, устанавливаемые внутри камеры.

Эта цель достигается наличием механизма слежения, выполненного из двух храпововинтовых передач, связанных посредством собачек с рычагом. ось которого соединс.»;, p одной из штанг приводной бобины.

На фиг. 1 изображена установка, оощий вид; на фиг. 2 вид по стрелке А на фиг. 1.

Установка включает камеру 1, внутри которой расположены испаритель 2 и приводные бобины 3 и 4, закрепленные на штанга;

5 и б, связанные с приводом вращения {на фиг. не показан) и укрепленного вне камеры механизма слежения, выполненного из двух храпово-винтовых передач 7 и 8, связанных посредством собачек 9 и 10 с рычагом 11, ось

12 которого соединена со штангой 5 приводI:ojI бобины 3.

За пределами камеры 1 штанги 5 и б свя5 заны посредством гаек 13 и 14 с механизмом слежения за перемоткой ленты. Гайки могут персмсщаться по двум ходовым винтам 15 и 15, на которых крепятся храповые колеса 17 и 18 с большим количеством зубьев. Штанга 5 риьодной бооины 3 выполнена полой и внутри нее проходит вал 19 для передачи враще«ия бобине. На валу 19 закреплен эксцентр!1

20, воздействующий при вращении вала на ролик 21, связанный с концом рычага П тягой 22 и прижимающийся к эксцентрику 20 посредством пружины (на фиг. не показано).

Враще11ис приводной бобине 3 передается через вал 19, причем поддержание напыляемой поверхности ленты на одном и том же расстоянии от испаряемой поверхности осуществляется за счет подъема бобины с наматываемой на нее лентой на величину толщины ленть::.а каждый оборот бобины. Подъем бобиii ;1 1!роизводится гайкой 13 ходового I!I!Illa 15.

I.0T0oûII, в свою Oчсрсдь, пол 1аст ври!1101;lip оТ «рапового механизма. Хра1101100! меха!1изм повор;-.:I !изет;одовой ви1:.т . а lipooxo,ölìI."é (00тв тству!сщllй тол!пине,(01!ты за c IOT

Ii0в0р0Та на Од !11 0001.0Т эксlIPIITpIII!11 - -0;! IIP; -!! Iгя ро з111:,а 2 на (ООТ110Т T13i .0(нес 11ас-!

323469 стояние. Опускание ведомой бобины 4 производится от проворота ходового винта !6 и перемещения гайки 14, Ходовой винт 16 вращается от храпового колеса 18, иа который воздействует собачка 10, получающая движс ис от зксцситрика 20 через рычаг 11 с переменHbDIEi длинам/и плеч. Максимально возможное соотношение соответствует соотношению napiжного диаметра рулона ленты и виут1реииего,и имеет место в начале и в конце процесса 10 напыления. Таким образом, благодаря примененной конструкции установки опускание ведомой бобины будет происходить в соответствии с количеством сматываемой ленты за каждый се оборот, и расстояние иапыляемой повсрхио15 сти ленты иа ведомой бобине (как и иа веду1цсй) от поверхности испарения поддерживается постоянным. Бобину устанавливают в вакуумной камере с обрабатываемой лентой, после

20 чего камеру гсрметизируют и вакуумируют.

Процесс нанесения покрытия осуществляется при включении испарителя, механизма перемотки ленты и механизма слежения за псремоткои лепты. После окончания процесса на75 пыления камеру вакуумируют, бобины снимаот и всеь процесс повторяется.

Предмет изобретения

Установка для нанесения покрытий в вакууме на ле1пу, содержащая камеру, внутри 30 которой расположены испаритель и приводные бобины, закрепленные на штангах, связаннык с приводом вращения. отличающаяся тем, что, с целью исключения вспомогательных роликов, устанавливаемых внутри камеры. установка 35 снабжена укрепленным вне камеры механизгиом слежения, выполнсиныгм из двух храпововинтовых передач, связанных посредством собачек с рычагом, ось которого соединена с одной из штанг приводной бобины.

/5

Составитель И. Резник

Texpeд Л, Богданова

Корректоры Т. Бабакина и Н. Шевченко

Редактор И. Квачадзе

Тип. Харьк. фил. пред «Патент>.

Заказ 58914 Изд. ¹ 1809 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, /К-35, Раушскал наб., д. 4/5

Установка для нанесения покрытий в вакуумена ленту Установка для нанесения покрытий в вакуумена ленту 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для нанесения защитных, упрочняющих и декоративных покрытий на внутренние поверхности изделий

Изобретение относится к электротехнике, а именно к использованию электрического разряда для нагрева и химико-термической обработки изделий в электромагнитном поле индуктора

Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий, в частности к устройству для контроля толщины покрытий в процессе нанесении их в вакууме, и может быть использовано в приборостроении, электронной промышленности и машиностроении для контроля толщины покрытий при нанесении их в вакууме

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для нанесения защитных, упрочняющих и декоративных покрытий на внутренние поверхности изделий

Изобретение относится к машиностроению, в частности к обработке в вакууме поверхности металлических изделий путем воздействия на нее пучком ионов металлов, и может быть использовано в авиационной и газовой промышленности для поддержания оптимального сочетания элементного состава ионов и энергетического уровня воздействия при подготовке поверхности изделий, например компрессорных лопаток, к нанесению на них защитных покрытий, формировании модифицированного поверхностного слоя изделий, повышающего их эксплуатационные характеристики, а также проведении исследовательских работ в области ионно-плазменной технологии

Изобретение относится к устройству для нанесения многослойных оптических покрытий и может быть использовано при изготовлении лазерной техники при создании просветляющих и отражающих покрытий на торцевых поверхностях полупроводниковых лазеров

Изобретение относится к способу и устройству нанесения покрытий и может быть использовано в приборостроении, электронной промышленности и машиностроении

Изобретение относится к отражающим покрытиям для оптических линз, в частности к композициям для формирования просветляющих покрытий

Изобретение относится к устройствам для напыления пористых покрытий на ленту и может быть использовано при производстве электронных компонентов, магнитных носителей записывающих устройств, декоративных покрытий

Изобретение относится к способу осаждения вещества на подложку, импульсному источнику питания для магнетронного реактора и магнетронному реактору
Наверх