Полупроводниковый преобразователь механических величин

 

I о и мод, н и s

И ЗОБ РЕТЕ Н ИЯ

324524

Саюэ Советских

Социалистических

Республик

Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

За висимое от акт. свидетельства ¹â€”

Заявлено 23.111.1970 (№ 1421887/25-28) с присоединением заявки №вЂ”

Пр нор итетв

Опубликовано 23.Х|1.1971. Бюллетень ¹ 2 за 1972.Ч.K. G 011 120 комитет по делам иаойретений и открытий прм Совете Министров

СССР

УДК 531.781 (088.8) Дата опубликования описания 28.11.1972

Авторы изобретения

Н. И. Фирсов, В. Ю, Кальнус и В. С. Шадрин

Новосибирский электротехнический институт

Заявитель

ПОЛУПРОВОДНИКОВЪ|Й ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ

МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для преобразования механичвских величин, например, давлений, у окорений, перемещений в электрический сигнал.

- Известны полупроводниковые преобразователи механических величин в электрический сигнал, содер>кащие пластины из полупро водникового материала и расположенный между ними слой металла.

В качестве пластин из .полупроводникового материала в известных преобразователях использованы пластины из полупроводникового материала с проводимостью р типа и п типа, в качестве металла — золото.

Недостатком известных преобразователей является невысоская точность измерения из-за температурной за висимости выходных характеристик.

Предложен ны и полупроводниковый пр еобр азователь отличается от известных тем, что на одной стороне каждой пластины выращены р-и переходы, обращенные в сторону металла и имеющие,с ним оммический контакт, а в качестве металла использован алюминий.

Указанное отличие, позволяет повысить точность измерения, так как значительно уменьшает за висимость выходных характеристик от температуры.

На фиг. 1 показан предложенный преобразователь н схема его включения на основе п-р — М вЂ” р-и кремниевой сгруктуры; на фиг. 2 — вольт-амперная характеристика кремниевой и-р — Al — р-и структуры. Режимы сме5 щения р-и переходов подобраны таким образом, что при изменении температуры Л01=Л|уа.

Преобразователь содержит два встречно включенных перехода 1 и 2 р-п, типа, разделенных слоем металла 8, к которому присоедиlр нен токовывод 4. Два других токовывода 5 и 6 изгота влнваются нанесением никеля с последующим его .выжиганием.

При изменении температуры вольт-амперная характеристика прямосмещенного р-п перехода

l5 сдвигается к оси токов, а вольт-амперная характеристика обратносмещенного р-и перехода сдвигается в область больших напряжений. Используя токовьгвод 4, можно задать р-и переходам такие режимы, когда смещения вольт-амперной характеристики обоих переходов, вследствие изменения температ .ры, будут равны по абсолютной величине и противоположны по знаку. Коэффициент, преобразования предложе I!Ioro преобразователя К= 120 — . 15 >.

Предмет изобретения

Полупроводниковый преобразователь механических величин в электрический сигнал, соЗр держащий пластины из полупроводникового

324524

Риг. / и, Риг. 2

Составитель P. Старцева

Tea,род Е. Борисова

Редактор М. Макарова

Ксрректоо Н. Коваленко

За каз 346 Изд..чв !848 Tl I,P»æ 448 Поти»о»ос

liHHHBH Комитета ио делам изобретений и открытий ири Совете Министров СССР

Москва, $(-35, Раушскаи наб., сь 4/5

Оо застив н ти иосра()и и Косвромск» о управ тенин io иеч 1 nr материала и расположенный между ними слой металла, от,гичающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, на одной стороне каждой пластины выращены р-и переходы, обращенные в сторону металла и имеющие с ним оммический контакт, à B качесгве металла использован алюминий.