Патент ссср 329252

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сока Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от явт. свидетельства ¹

Заявлено 28.III.1970 (¹ 1418963 22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликги!япо 09.II.1972. Б!оллстсш ¹ 7

Дата опубликования описания 5.Ю.1972

М. Кл. С 23с 13. 08

Коми(вт по делам иаобре)еиий и открытий ори Совете Министров

СССР

УДК 021.793.14.002.52 (088.8) Авторы изобретения

Б. A. Александров и С. В. Шалимов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ИОКРЬ1ТИЙ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой размещены распыляемый катод с экраном и анод. Однако это устройство ие позволяет наносить покрытия на заготовки, размеры которык превыша!от размеры камеры, тяк как заготовка должна непосредственно помещаться в камеру.

Предлагаемое устройство отличается от известного тем, что для нанесения покрытий на заготовки, превышающие размеры камеры, в стенке камеры, имеется отверстие, закрытое загоговкой, причем ме>кду заготовкой и камерой имеется прокладка, повторяющая с одi:îé стороны кривизну заготовки, а с другой ——

«ривизпу стенок камеры.

На черте>ке представлено описываемое устройство, общий вид.

Устройство содержит камеру 1, внутри которой размещены распыляемый катод 2 с экраIIo»I,). В стенке камеры имеется отверстие 4, закрытое заготовкой 5, причем между заготовкой и камерой имеется прокладка 6, повторяющая с одной стороны кривизну заготовки, а с другой — кривизну стенок камеры. С неработающей стороны катода на изолирующик ((1)01<11, I«IIx / устяиов l(!! э«раи, предок1)яияк)ший «а!од от распыления с нерабочей cTоро- 30 иы. Высоковольтный ввод 8 сосдииси с минусом источника высокого напряжения, плюс источника соединен с заземленной камерой.

Откачное отверстие 9 служит для создания необкодимого разрежения в камере. Заготовка, иа поверкиость которой необ>;одимо нанести покрытие, закрывает отверстие 1 в камере. При создании в вакуумной камере разрежения в результате перепада давлений заготовка плотно прижимается и Открытой части камеры. По достижении в камере давления порядка 5.10 — 2 10 — о .)(л рт. ст. при помощи иатекателя 10 вводят рабочий газ, например аргон,:1 давление повышается до 2—

5 10 11.11 рт. ст. К катоду из распылясмого материала прикладывают потенциал. Положит(льиыс попы газа ускоряются отрицательным потенциалом катода и бомбардируют его. Выбитые частицы вещества катода осаждаются иа повсркности заготовки. По достижении исоб.;одимой толщины иапыляемого слоя, что определяется временем напыления, в вакуумиу(0 камеру напускают воздух, после чего

«ямсря подина!ястс(1, освооождая заготовку.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения покрытий в ва«1"х . IL, содеp>I ящее камеру, внутри которои р(!1)(с!цси,llclо гии«материала покгытия, от.!пои ОП/С. . C. I 1ЕХ(, (ТО, С ЦЕЛИО И((И -(ЕН!((1 ПО329252 о 8

Составитель Б. Либерман

Тс.:ред 3. Тараненко! сдактор Л. Жаворонкова

Корректор Л. Бадылама

1, (-(((1(П(1 (.

Заказ 726/3 113д. " 2-(U Тиратк 148 I1;1 одиисиос

1- 11 11 Комитета Ilo делам изобрстсиий и открытий ири Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, 1 ауи(скан lld6., д.-: 1, 5

Тииограф и, Ilð, Саl уиова, . ? крытий на заготовки, превышающие размеры камеры, г, стенке камеры имеется отверстие, закрытое заготовкой, ириисм между заготовкой и камерой имеется прокладка, повторяющая с одной стороны кривизну заготовки, и с другой — кривизну ггсиок камеры.