Устройство для выборки и укладки кристаллов

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

334653

Союз Саеетскнх

Социалистических

Ресоуйлик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 04.XI I.1970 (Эй 1498751/25-8) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано ЗО.I II.1972. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 27.IV.1972

М. Кл. Н 05k 13/09

В 25Ь 11/00

В 65R 47/91

Комитет по лелем изооретений и открытий прн Сосете Министров

СССР

УДК 621.757(088.8) Авторы изобретения

А. П. Токарев и А. И. Григорович

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫБОРКИ И УКЛАДКИ КРИСТАЛЛОВ

Изобретение касается микроэлектроники и может найти применение в автоматических сборочных процессах, предназначенных для выдачи годных кристаллов на кассету с сохранением их ориентации.

Известно устройство для выборки и укладки кристаллов, выполненное в виде крестовины с вакуумными держателями, насаженной на полный вал. Однако оно сложно, динамические нагрузки большие, что, в свою очередь, влияет на надежность и точность укладки кристаллов и на быстродействие устройства.

Предложенное устройство отличается тем, что оно оснащено толкателем, проходящим внутри вала и приводимым в движение электромагнитом, причем верхний конец толкателя соединен с пятой, связанной через систему рычагов с вакуумными держателями и имеющей выступы, количество которых соответствует количеству вакуумных держателей. Это уменьшает динамические нагрузки и повышает быстродействиее.

На фиг. 1 изображено предложенное устройство общий вид; на фиг. 2 — крестовина; на фиг. 3 — разрез вакуумного держателя; на фиг. 4 — кинематическая схема устройства.

Устройство состоит из крестовины 1 с вакуумными держателями 2, станины 8, вала 4, толкателя 5, верхней пяты б и нижней 7, механизма подъема толкателя, состоящего из рычага 8 и электромагнита 9, и механизма 10 привода.

При подаче кристаллов в зону выборки, оператор включает электромагнит (см. фиг. 1), который через рычаг 8 и нижнюю пяту 7 воздействует на толкатель, перемещая его вверх вместе с верхней .пятой б. Верхняя пята б имеет выступы, количество которых соответств, ет количеству опускаемых вакуумных держателей (для опускания двух держателей — два выступа, для трех — три и т. д.) и через рычаг 11 (см. фиг. 1, 4) воздействует на вакуумный держатель, опуская его вниз, после чего включается вакуум и захватывается кристалл. Электромагнит отключается, и под действием пружины 12 толкатель опускается вниз, а прад действием пружины 13 (см. фиг. 1, 3 и 4) вакуумный держатель поднимается вверх. Оператор включает привод (см. фиг. 1). Кресговина при помощи вала поворачивается на шаг.

Как только вакуумный держатель с кристаллом будет находиться над приемным устройством, оператор опускает вакуумный держатель и укладывает кристалл в кассету, одновременно вторым вакуумным держателем, находящимся под углом 180, захватывает очередной кристалл; затем цикл повторяется. Устройство может работать в автоматическом режиме при наличии соответствующей схемы уп30 равления.

Предмет изобретения

Устройство для выборки и укладки кристаллов, выполненное в виде крестовины с вакуумными держателями, насаженной на полый вал, отличающееся тем, что, с целью уменьшения его динамических нагрузок и повышения быстродействия, оно оснащено толкателем, про334653 ходящим внутри вала и приводимым в движение электромагнитом, причем верхний конец толкателя соединен с пятой, связанной через системы рычагов с вакуумными держателями и имеющей выступы, количество которых соответствует количеству вакуумных держателей. вериг.1

334653

Составитель С. Новик

Редактор Т, Шагова

Техред Л. Богданова

Корректор Н, Шевченко

Заказ 1167/18 Изд. № 484 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2