Инструмент для абразивной резки тонких пластин

 

бибк,отека 3 ЕА

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 22.IX.1970 (№ 1474741/29-33) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 11.IV.1972. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 10.V.1972

М. Кл. В 28d 5/04

Комитет па делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 679.8,053.3 (088.8) Авторы изобретения

В. P. Сластин, В. С. Бутузов, В. А. Киселев и A. А. Гусев

Заявитель

ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ АБРАЗИВНОЙ РЕЗКИ

ТОНКИХ ПЛАСТИН

Изобретение относится к производству активных элементов в микроэлектронике, в частности, к операции резки пластин, например кремниевых на отдельные кристаллы.

Известны инструменты для абразивной резки тонких пластин, у которых в качестве режущего инструмента применен набор натянутых стальных полотен с определенным шагом, закрепленных в прямоугольной рамке с помощью стяжных винтов и разделенных прокладками.

Недостатками таких инструментов являются малая их долговечность и отсутствие возможности его быстрой реставрации без значительных затр ат.

Цель изобретения — увеличить долговечность режущего инструмента и уменьшить ширину реза, а также улучшить качество разрезанных кристаллов.

Достигается это тем, что набор,полотен консольно закреплен в рамке, а режущие кромки полотен выполнены выступающими за рамку и расположены ближе к стяжным винтам, причем прокладки проложены по всей длине полотен.

На фиг. 1 изображен описываемый инструмент, продольный разрез; на фиг. 2 — то же, поперечный разрез на фиг. 1.

Режущий инструмент .представляет собой жесткую рамку 1, в которую установлен набор стальных полотен 2 толщиной 0,03 мм, что позволяет полнее использовать кремниевую пластину с заданным шагом, определяемым прокладками 8.

5 Для фиксации набора в рамке имеются стяжные винты 4.

По мере износа режущие полотна могут,подаваться на любую величину, что значительно увеличивает долговечность инструмента.

10 Установка, в которой применяется описываемый инструмент состоит из поворотного стола, на котором неподвижно крепится кремниевая пластина, совершающая возвратнопоступательное движение,,и режущего инстру15 мента, прижимаемого к пластине с регулируемым усилием.

B процессе резания пластина поливается абразивной эмульсией.

Для контроля глубины реза над режущим

20 инструментом устанавливается индикатор.

Для первоначальной установки пластины относительно режущих кромок инструмента в установке имеется микроскоп. Результаты испытаний показали значительное повышение

25 производительности операции резания кремниевой пластины на кристаллы, Предмет изобретения

Инструмент для абразивной резки тонких

30 пластин, например кремниевых, содержащий

ЗЗ51 О

Фиг. f

Фиг Г

Составитель М. Моргунова

Техред 3. Тараненко Корректор Л. Вадылама

Редактор Г. Кузьмина

Заказ 1293)16 Изд № 4P Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Р 1инистров ССС -.

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4)5

Типография, пр, Сапунова, 2 набор режущих полотен, разделенных прокладками и закрепленных с помощью стяжных винтов в прямоугольной рамке, отличаюи4ийся тем, что, с целью увеличения долговечности и уменьшения ширины реза, набор полотен консольно закреплен в рамке, а режущие кромки полотен выполнены выступающими за рамку и расположены ближе к стяжным винтам, причем прокладки проложены по

5 всей, длине полотен.