Э. п. золотое и г. а. ливенскийnateiuho"vai;:r'^'pp:^

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 15.XII.1969 (№ 1384815/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 24.V.1972. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 29Л1.1972

М. Кл. В 24Ь 29/00

Комитет по делам изобретений и открытий чри Совете Мииистрав

СССР

УДK 621.922.7(088.8) Авторы изобретения

В..И. Дюжиков,. Э. П. Золотов и Г. А. Ливенский

Заявитель

СПОСОБ ДВУСТОРОННЕГО ПОЛИРОВАНИЯ ТОНКИХ

КВАРЦЕВЫХ ПЛАСТИН

Изо бретение относится к тех1нологии изготовле1ния тонких плос1ко1параллельных к1варце1вых пла1стин и может быть использовано 1в раз1личных отраслях промышлен1ности, tB част1ности в эле1ктрон1ной и радиотех1нической при изготовле1нии пьезоэлементов вы1сокочаcToTIHbIx и прец изио нных кварце1вых резо1натор OiB.

Известны способы одностороннего полирован1ия плоско1параллельных пластин, за1кре1плен1ных различными, способами íà стекля нных плоскопараллельных колодках, ко1гда при1мен1яют1ся полировальники из шерсти в виде су1ина, фетра, войлока или из пекока1нифольных смол. 01ни дают вы1со1кую произ1водитель1ность 1процесса полирова1ния и широ1ко применяются при ручных опера1циях. П1ри это1м по|верх1но1сть получается слепка волнистой со з1начительными за валами на краях пластин.

1При полировании по1верхностей с оптической то1чностью п1риме няют смоляные полировальники, что связа1но со з1нач1ительными затратами руч1ного труда тсвалифицирован1ных

01HTHKolB и низкой произ1водительностью.

Одно1сторон1нее полирование тонких ива р1цевых пластики связано с деформациями пластин,,вызываемым1и нару ше нием си1мметрии распределе1ния напряже1ний по толщи1не пластин, блокиров1кой, асимметрией TBIIJIoiBoI потока, а та1кже с труд1ностью получе1ния толIHiHbI пластин с высо1кой точностью.

Цель изобретения состоит в разработке вы1сокопроиз1водительного способа д1вустороннего полирования тон1ких юва1рцевых пластин в свободном состоянии при высокой точности

5 и качестве обработки плоскопараллельных по1верхото1стей. Это достигается тем, что полиро1ва1ние тонких иварцевых пласти1н, уcTBHQIBлен1ных в отверстиях свободной или радиально растянутой ка1ссеты, .ведется на эксцент10 риковых станках между д вумя рабочими поверхностями верхнего и нижнего,кольцеобраз1ных полиро1вальни1ко1в, выпол ненных из ка1про1новой ткани типа «Боло1нья» толщиной

100 — 200 мкм, предварительно выдержанной

15 в д1истиллированной воде при 22 — 25 С и натянутой посредством в1нутреннего и наруж1ного колец из латуни толщиной стенки 1,5 лтм на отполиро1ванный с отлтической точностью торец стекля1нното кольцеобразного диска

20 толщиной 10 — 200 мм, наружным диаметром

105 — 130 мм и внутренним б0 — 70 лтм.

Полирование ведется с примене1нием 10% кро1кусной суспензии при удельном давлении б0 — 80 г/см и скорости 0,08 — 0,3 м/сек.

25 Благодаря тому что капроновая ткань выполняется с высокой точностью .по толщи не, из носостой1ка, неворсиста и не имеет промежуточного клеевого слоя, форма отполиро BBHHoI торца кольцеобраз1ного стеклянного

30 ди1ска обеспечивает высокую геометриче1скую точность рабочей поверхности полироваль339391

Составитель Л. Рубинчик

Техред 3. Тараненко

Корректор E. Усова

Редактор Т. Юрчикова

Заказ 1837/4 Изд. № 781 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, ж 35, Раушская паб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ника и удо бную заме ну капроновой ткани без последующей трудоемкой пра вк и рабочей поверхно,сти полиро ва лын ика.

Миироструктура ка проно вой ткани обе спечивает хорошие условная для подвода полиро вальной суспе|нзии к поверхности иварцевой пластины и от воду продуктов сполировыва ния по поверхности полировалыни ка.

Достигаемая при этом непло скостность иварцевой пластины не хуже 0,1 мкм.

Предмет .изобретения

Способ д вусторо ннего полирования тонких иварцевых пластин на станках эисцентри коeuro ти па с использованием полировалыников на основе TIKBíè и крокусной суспе нз ии, отличающийся тем, что, с целью улучшения ч истоты и точности обработки поверхностей

5 пластин, в качестве материала полировальников применяют капроновую ткань типа «Болонья» толщиной 100 — 200 мкм, процесс полирования ведут при удельном давлении полировальников, равном 0,060 — 0,080 кг/см, со

10 скоростью вращения их относительно обрабаты ваемых пласти1н, ра вной 0,08 — 0,3 м/сек, и при использовании, 10о/о крокусной сус пензии.