Вакуумная электропечьвсесоюзнаяnatehtho- texhsilofiбиблиотека

 

344Ol3

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советокиз

Социалистических

Реопублин

Зависимое от авт. свидетельства № 298673

Заявлено 08Л.1971 (№ 1613967/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 07.VII.1972. Бюллетень № 21

Дата опубликования описания 18.VII.1972

М. Кл. С 214 9/52

С 23с 13/00

Комитет по делам изобретений н открытий ори Совете Миниотров

СССР

УДК 621.783.223-418.2, (088.8) Авторы изобретения В. К. Энман, В. Н. Трегубов, Д. И. Белый и E. А. Лукьянов

Заявитель Филиал ордена Ленина Института химической физики АН СССР

ВАКУУМНАЯ ЭЛЕКТРОПЕЧЬ

Изобретение относится к устройствам для получения, гибких сверхпроводников.

Известная вакуумная электропечь по основному авт. св. № 298673, содержит вакуумную систему, рабочую камеру, в которой расположены печи отжига — очистки, расплава олова и термообработки, и механизм протяжки изделия. Весь процесс получения сверхпроводящего покрытия ведется в высоком вакууме и происходит следующим образом. Ниобиевая лен- 1р та с постоянной скоростью протягивается че- рез печь отжига — очистки при 900 — 1100 С для удаления с поверхности проводника загрязнений и адсорбированных газов. Затем ее протягивают через расплав олова либо при 600 — 15

750 С, при которой она покрывается слоем олова толщиной несколько микрон,-либо при

950 — 1050 С, при которой в расплаве олова начинается процесс образования соединения

Nb3Sn на ниобиевой подложке. После чего 2р ниобиевую ленту пропускают через печь окончательной термообрабогки, в которой дополнительный рост сверхпроводящего слоя

Nb>Sn на ленте происходит за счет избыточного слоя олова (толщиной 3 — 4 мк) при тем- 2s пературе 950 — 1050 С.

Однако ввиду высокой упругости паров оло ва при такой температуре термообработки одновременно с процессом образования соединен|ия Nb>Sn, происходит интенсивное испарение Зр олова с поверхности проводника и это в определенный момент приводит к прекращению роста слоя соединения Nb3Sn.

Изобретение усовершенствует известную вакуумную электропечь с целью повышения производительности установки и увеличения токовых характеристик получаемого сверхпроводника.

Это достигается тем, что к рабочей камере вакуумной электропечи подсоединяется дополнительно рабочая камера с трубчатой печью и окончательная термообработка проводника ведется ступенчато: сначала покрытая оловом лента термообрабатывается в первой печи термообработки при 800 †9 С, при которой образуются соединения ниобия с оловом, а затем во второй печи при 950 †10 С происход ит образование интерметталида Nb Sn.

Снижение температуры образования соединения олова с ниобием на первой ступени термообработки позволяет значительно уменьшить испарение олова, избыток которого необходим при проведении длительного процесса роста сравнительно большой толщины сверхпроводящего слоя Nb>Sn.

На чертеже изображена вакуумная электропечь, разрез по технологическим печам установки.

Вакуумная электропечь состоит из основной 1 и дополнительной 2 рабочих камер, в

344013

Составитель Д. Михайлова

Техред Т. Ускова

Редактор Е. Дайч

Корректоры: А. Николаева и Е. Ласточкина

Заказ 2187/6 Изд. лй 943 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4j5

Типография, пр. Сапунова, 2 которых происходит весь технологический процесс образования соединения NbqSn на ниобиевой ленте; вакуумной системы, состоящей из механического, бустерного и диффузионных насосов.

Внутри основной рабочей камеры 1 расположены трубчатая печь 8 отжига — очистки, печь 4 расплава олова и трубчатая печь б первой ступени термообработки. Печи 8 и б смонтированы с графитовой державкой б на штанге 7. В патрубке основной рабочей камеры 1 установлена съемная кассета 8. Печь 4 расплава олова может перемещаться вертикально при помощи пневмоцилиндра 9 двустороннего действия. В дополнительной рабочей камере 2 монтируются трубчатая печь

10 второй ступени термообработки, охлаждаемый ролик 11, приемная кассета 12 и задатчик 18 скорости.

Ниобиевая лента с кассеты протаскивается через печь 8 отжига — очистки, огибает державку б, через печь 5 первой ступени термообработки, направляющие ролики и печь второй ступени термообработки, наматывается на приемную кассету. В ванну печи расплава олова загружается олово, закрываются все монтажные люки и включаются насосы вакуумной системы. При давлении в рабочих камерах 5 (10- им рт. ст. включаются все технологические печи, При достижении в печах заданных температур включается привод приемной кассеты, а печь расплава олова при помощи пневмоцилиндра поднимается в рабочее положение: движущаяся лента погружается в расплав олова, Лента с постоянной скоростью протягивается сначала через печь 8 отжига — очистки, в которой происходит отжиг ленты и очистка ее поверхности от адсорб ированных газов при 900 —:1100 C. Затем лента проходит через печь 4 расплава олова, где покрывается слоем олова при 600 —:970 С, 15 а термообработка проводника ведется в два этапа: сначала в печи б первой ступени термообработки при 800 †: 850 С и печи термообработки второй ступени при 950 †10 С.

20 Предмет изобретения

Вакуумная электропечь по авт. св. № 298б73, отличающаяся тем, что, с целью осуществления ступенчатой термообработки, 25 она снабжена дополнительной рабочей камерой, в которой установлена трубчатая электропечь.