Полупроводниковый вакуумметр
348902
ОП ИСАН ИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Саветскик
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
М. Кл. 6 01l 21/00
Заявлено 04.11.1970 (№ 1402040/26-25) с присоединением заявки №
Приор.итет
Опубликовано 23ХШ.1972. Бюллетень ¹ 25
Дата опубликования описания 2.11.1973
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете твинистров
СССР
УДК 531.788(088.8) Авторы изобретения
А. В. Харченко и В. С. Белов
Заявитель
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ВАКУУММЕТР
Изобретение относится к устройствам для измерения вакуума.
Известны полупроводниковые вакуумметры, содержащие в качестве чувствительного элемента полупроводниковые терморезисторы.
Недостаток таких вакуумметров — узкий диапазон температурной компенсации, равный -5 С.
Целью изобретения является обеспечение компенсации температуры окружающей среды при работе полупроводникового вакуумметра в широком диапазоне температур.
Для этого компенсатор и позистор вместе с сопротивлением подгонки позистора включены последовательно в цепь дополнительного источника напряжения малой величины, отделенного от источника разогрева дросселем.
Один вывод дросселя соединен с выводом позистора и выводом разделительной емкости, а другой включен в цепь постоянного тока, причем сопротивление шунта позистора через емкость или индуктивность и второй вывод емкости подключены к цепи переменного тока.
На чертеже показана принципиальная схема предложенного ва куум метра.
Вакуумметр состоит из датчика 1, содержащего в качестве чувствительного элемента терморезистор с положительным температурным коэффициентом, компенсатора 2, индикатора 8, подключенного к выводам резистора 4, разделительной емкости 5, исключающей попадание постоянного напряжения в цепь переменного, а также дросселя 6, препятствующего шунтированию датчика по переменному току через внутреннее сопротивление источника напряжения 7, генератора напряжения малой амплитуды, не влияющего на тепловой режим компенсатора, а также сопротивлений шунта
8 и 9 и подгонки 10, 11, служащих для линеа10 ризации температурных характеристик датчика и компенсатора, генератора переменного напряжения 12. Емкость 13 шунтирует источник напряжения 7 по переменному току.
Так как шунтирование датчика 1 осуществ15 ляется только по переменному току, то наличие сопротивлений 8 и 10 не ухудшает релейности чувствительного элемента при включеtsii» Haripax eiina niiTaiinz. Так Kaid температурные характеристики разогретых терморезисто20 ров с положительным температур ым коэффициентом близки и линейным при мощности рассеивания 0,4 — 0,8 вт, то включение последовательно с терморезистором компенсатора, имеющего отрицательный температурный ко25 эффициент, по абсолютной величине равньш температурному коэффициенту разогретого терморезистора с положительным температурным коэффициентом, позволяет осуществить температурную компенсацию при колебании
30 температуры окружающей среды в широком
348902
Предмет изобретения
Составитель Е, Халатова
Редактор T. Орловская
Техред А. Евдонов
Корректоры: H. Аук и 3. Тарасова
Заказ 71/3 Изд. ¹ 1854 Тираж 406 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, %-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 диапазоне. Чтобы исключить разогрев компенсатора током, разогревающим датчик, произведено разделение цепей источника тока разогрева и тока компенсации с включением компенсатора в цепь компенсации.
При включении вакуумметра сопротивление датчика в результате разогрева релейно увеличивается. При этом ток, проходящий через терморезистор, уменьшается. Мощность рассеивания I2 чувствительном элементе ограничивается в пределах допустимой. При изменении вакуума сопротивление датчика изменяется из-за изменения условий теплоотвода.
P.îëüòìåòð, проградуированный в миллиметрах ртутного столба, показывает измеряемое давление. При изменении температуры окружающей среды компенсатор, включенный в цепь тока переменного напряжения, компенсирует изменение сопротивления датчика.
Полупроводниковый вакуумметр, содержащий позистор, терморезисторный компенсатор температуры среды, источник для разогрева позистора и индикатор, отличающийся тем, что, с целью компенсации температуры окружающей среды в широком диапазоне при исключении разогрева компенсатора током, ком10 пенсатор и позистор вместе с сопротивлением подгонки позистора включены последовательно в цепь дополнительного источника напряжения малой величины, отделенного от источника разогрева дросселем, один вывод кото15 рого соединен с выводом позистора и выводом разделительной емкости, а другой включен в цепь постоянного тока, причем сопротивление шунта позистора через емкость или индуктивность и второй вывод емкости под20 ключены к цепи переменного тока.
