Всесоюзная i
О П И СА Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Респтблни
Зависимое от авт. свидетельства №
М, Кл. 6 Oll 23/10
Заявлено 17.!К1969 (№ 1322963/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 23Х!!!.1972. Бюллетень ¹ 25
Дата опубликования описания 7.IX.1972
Комитет по делам ивобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.52:531.788.7 (088.8) ВСЕСОЮЭНЛд
O4r Srsa- èÿù(: . ù
БИБ)1ИОТЕМА
Автор изобретешгя
Н. И. Моженин
Заявитель
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМА
Изобретение может быть использовано для контроля и измерения вакуума.
Известен способ измерения вакуума по добротности резонансной характеристики колебательного контура, образованного объемом, в котором измеряют вакуум, и ультразвуковым датчиком. Пьезоэлемент датчика находится под воздействием синусоидальиой силы, а ток, текущий в электрической эквивалентной схеме пьезоэлемента, — под воздействием гармонического напряжения.
Известный способ пе обеспечивает высокой точности и безынерционности измерения прп давлении 10 — з — 10 — лья рт. ст.
Предложенный способ отличается от известного тем, что производят амплитудно-частотную модуляцию колебаний ультразвукового датчика, благодаря чему повышается чувствительность и безынерционность измерения вакуума.
Способ поясняется чертежом.
Импульсно-частотно-модулированные колебания, предназначенные для возбуждения пьезоэлемента и получения постоянной амплитуды во время измерения вакуума при низких температурах, вырабатываются совместно генератором синусоидальиых колебаний 1 и соединеш|ым с lltul лииией связи 2 генератором пилообразных колебаний 8, пилообразные колебания которого, кроме модуляции, обеспечивают сиихропиую работу схемы. Генератор синусоидальных колебаний через линию связи
4 возбуждает упругие колебавия одиолипей5 ного активного ультразвуког>ого датчика 5, колеблющегося на своей резонансной частоте.
Амплитудно-частотная характеристика этого датчика имеет определенную длительиость при постоянной амп.штуде н резонансной частоте
10 датчика.
Длительность амплитудl10-частотной характеристики зависит как от электромеханических постоянных датчика, так и от акустических параметров среды, в данном случае плотности (вакуума) среды. Амплитудно-частотHblli сигнал с изменяемой длительностью Ilo ступает через лиш:ю связи 6 в усилитель 7, усиливается II IEpp3;IIIHItto связи 8 проходит на демодулятор 9. Огибающая импульсно-чаcToTlIbIx колебаний после демодуляции через лшшю связи 10 поступает на нуль-индикатор
1l> соединенный линией связи 12 с генератором опорного иапряжепия 18. Нуль-индикатор с генератором опорного напряжения преобразуют длительность огибающей импульсно-частотно-модулированных колебаш и в фиксированный интервал г>ремеии.
Нуль-индикатор через линию связи И соедипеи с генератором 15 с контуром ударного
348904
Составитель Н. Дудкина
Текред E. Борисова
Корректор Т. Миронова
Редактор T. Орловская
Заказ 2680/12 Изд. М 1!71 Тираж 406 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 415
Типография, пр. Сапунова, 2 возбуждения, последний генерирует электромагнитные колебания высокой частоты, которые заполняют интервал времени, Генератор
15 через линию связи 16 соединены с генератором пилообразных колебаний, который синхронизирует его работу, а через лини!о связи
17 — со счетчиком импульсов 18. Одновременно через линию связи 19 с генератора пилообразных колебаний сигнал синхронизации подается на счетчик импульсов. Со счетчика импульсов сигнал через линию связи 20 поступает на индикатор 21, информация с которого может или регистрироваться записывающиМ устройством, или наблюдаться визуально.
Предмет изобретения
5 Способ измерения вакуума по длительности резонансной характеристики колебательного контура, образованного объемом, в котором измеряют вакуум, и ультразвуковым датчиком, отличающийся тем, что, с целью повыше10 ния точности и безынерционности измерения, производят амплитудно-частотную модуляцию колебаний ультразвукового датчика.
