Вакуумная установка для нанесения покрытий

 

Сена Соеетсник

Социалистическик

Рессуб)!ни

K АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Завися)>>(oс> QT (113т. сВидстсл) OTB i ¹

Заявле)ю 25.111.1971 (№ 1641197.29-33) Кл. С 26с !,": 08

С 23с 17, )4 с присоединением 33511!) ¹

Приоритет

Опубликовано 29.! Х.1972. Б(0()лстснь Л 29

Дата о) убликования описания 1 ). ) ). ) 972

Комитет ло делам нзобаетоннй и от)());: ):!) орн Сосете Г()нннстсс>

> )Г 621 . 93 72 (О<-. ) !.->> ВТОР Ь)

I! 3 О (> Р С Г С ) i П 51

A. A. Гордеев, Ю. В. Фадеев, Л. А. Луковников, В. В. Яшуков

«А. Д.Хабаров

Заявитель

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к установкам, предНаЗпаЧСННЫМ ДЛЯ НаНСССНИЯ ИОКРЫтп!! В Â3куумс на подложки, например, из стекла.

Известны вакуумные установки для нанесения покрытии на подложки, содержащие разъсмну)о вакуумную камеру, оправу для крсплеш)я подложки, дисковый испарнтель, экранирующсс устройство с повороти)ыми лепестками, укрепленными на кроиштс!(нах поворотного на роликах кольца, и имеются такif<0 I

Недостатком известных установок является невозможность одновременного нанесения 110крытия на подложки разных размеров. Кроме того, привод контактного устройства»e обе>сисчиваст плавного вращения, а экранирующес устройство имеет недостаточно надежный меха!шзм поворота его лепестков, что нс позволя(.т получить высококачеств(Ill(0(покрытие.

H пре (JIc)(3cìoé установке контак l(o"> устройство снабжено волновым редуктором, содержащим генератор волн, зубчатую шсстсршо и гибк(ш элемент, служащий одновременно уплотнением при исрсдачс вращсшгя oi силового двигателя.

Оправа для крепления подложек состоит из кольца с равномерно расположенными пo

L i О 01<Р>> жНОС 1 ll ПОВОРО ГН! 1 МИ PI>I>)(1 ГОМИ-Д(.РЖа ГЕ.)51МП ПОДЛОЖСК.

)) cT))o)Ic1 B0 снабжено

>III, КППСМа ГИЧЕ I<)l Сl)5)3bIB3)0(if)IM)I ЭКР И!ПР >К>5 Ill)IL З(11LCT I I) с Опор пы i(i) ))0 T (II< 3)(l() повор>от ) (О! О oT I. 11 lobo(0,(вп 11 !с 151 ко. 1ьц(i н 3 КО ГОром лсиестк!! смои п(роь".)иы.

) ) 3 (pl(i . 1 п300р () жеl! I, ;))< > м >l));)51 уc ) 3((Oüка, Общий Вид; II;i (1и)г, 2 — кон Гактное уcTро)!0(ьо; 11;1 ())I),) — оправ; ) для креплен!Гя под.шжек, В плане>; il;i (1п!г. 4 — экр;)пирующее СTPОI)СТВО, В ИЛ)111("..

1>1)куук!ная 3 с Гановка Oc Гои г из поворотной верин и камеры 1 и неподвижной нижней

15 камеры >. На опоре 3 ш)жней камеры смонтирован гидроцилиндр 4, шток 5 которого через ось 6 связан с кронштейном 7 верхней камеры, повор((чи)га!0(цейся вокруг оси (5.

Б нижней как: рс i)3 «алу 9 рогора вращаю20 шс(ocЯ контакт пОГО > ОГРОй() >33 10 уI(и )ICI(3p)> I Cл ь 1 1. П !1 )<0))II) CC I OTP0ÉcTI)() > ii)1(п,1cпl>1 вогlнОВОй Рсдмктор 1, состоящий из 1;нсратор» волн (3, зубч)ггой шест«рпи 1-1, гибкого элемс)гг(1 !5. Бо>1-!

К!вой редуктор обссиечпвасг 1).z;)II))0. измспсIIl(c числа оборогов li вращает дисковый исII;ip i)Tcл1> чс>рсз 3) О>1!1тос КОлссо 16, > 1

lI 0(Н;) (пi, У РО >ОР;) I<0(I T;) I> CTPOIICTB3, Оправа 17 для крщ)лсния подложки прсд30 ставляст собой кольцо 18 с 03nl(0»epf)0-р3с352969

1О (f070>Ke(II(bl ilIt lI0 OKp) iKl(OC }l1 j)hl \;1T;!)IlI-деj)жателямн 19, поворачивающимися на осях 20.

Сднн конец рычага осью 21 соединен с тягой

22 для установки IIo размеру 1!одложки; другой конец соединен осью 28 с оашмаком 24, предназначенным для размсгцсния ко:(трольных свидетелей.

Зкранирую(цсе устройство 26 сосгонт из расположенных по окружности лепестков 26, оси 27 когорых прикреплены к крон птсйнам

28 IIOBOpoTHQIO K07b}(2 29. Последнее ош!расгся на ролики 80, 1(axoTHI}f(tcc5(в кронштсй нах 81 нижней камеры. с<,с(>К Ь(!(Р ОЛ IIK ЧЕР СЗ )с(<1) СПГ!С пи Ы }! Н сl КР Ы (Нкс 82 штырь со сфсрнческои головкой 8, ) соепше;-t тягой 84 со штырем, 35 г!Сиест(а. Рол:t« с помощью вилки 86 наход!ггся в зацеплении

C,(I0I30 KO)! 87 IIOBOpOTIIOI 0 K07b((2, CB5132}I(IOго рычагом 88 с гидроприводом 89.

Установ <а снабжена ло>к нпым в г}(дробаке 40, а также закууми а с ос а ми 41.

Усгановка работает следуюшим образом.

Г}!дроп}(линдром 4 поворачивают всрхшою камеру 1 и загр) жают дисковый испаритель

11 пспаряемым веществом. Тягой 22 рыча!!l де)жатсли 19 оправы 17 устапавливспот по ра))(сру подложки. Последние фиксируются

I (<) 2 !) )12!<ах 24 паяла;)К2)(}I 42. Верхи(010 К2мсру 1 иозврагцают в исходное положение, заI(РЫ Бспо! Ii Г РМЕТИЗИР) IOT 1<2)1 j)) Н! (IV() 1ми 48. Приводят во врагцснпс дисковый нснарнтель 11, к которому через контактное устройство 10 подается электрический ток. Бо время разогрева испаряемого всщсстB (лспсс;ки 26 экранирую(цего устройства 26 опущены для предохранения 110BC()K»ocT}I подложки от попадания»0112ðHå(5(oão вещества до начала возгонки, 15 гз

25 зо

130 время (i21iccvlili» !скрытия лепестки

OhlTb 1I0 (IIHThl. с),Л5(3TÎ! 0 l ИДРОП()Иâîä 89 воздействует 1(;1 рычаг 88, заставляющий кольцо 29 повернуться на заданный угол.

Кольцо вращает ролик 80, который посред— ством THI (84 12CT23 >НВТ л" l(LCTOK IIO IHHTbCH.

При из»te:(el(1(I(направления подачи рабочей жидкости l! гllдj)0(lp(IBoд 89 лепеспки 26 опуск а 10 Т с 51. ((() С ч >(O T И 3 О О Р С T С II (I Л (. В с!КУX МН 251 ) C1 2 ÍOÂK2 ДЛЯ I! 2 !1< CCНИЯ ПОкрыт}гй на подложку, напр((мер,:(з стекла, содержащая раз ьсмныс верхнюю н нижнюю камеры, оправу для крепления подложки, дисковый llcïàðHTåëh, экран}(р !Ощее устройсгво с повороти!!ми лс!!Сетка)!и, укрепле!шыми на кронштейнах поворотного на роликах кольца, контактное устройстзо, вакуумные насосы, привод, силовыс двигатели и контрольно-изМЕРнтЕЛЬНУ!О аннаРатУРУ, ОтсгиЧаЮШаЯСЯ тСМ, что, с целью повышения качества покрытия и надежное(!i раооты экран!!ру(огцего устройства, лепестки;!оследнсго кинсматичсски связаны с помощью тяг с опорными роликами поворотногo кольца, 2. Установка по п. (, от>((гча>ощаяся тем, что, с. целью одновременного нанесения поКРЫТНЯ llсl НОДЛОЖКИ j) 23НЫХ Р23МЕРОВ, 0(1Pс(Bcl Д:IH КРС!(ЛЕНИ5! 1107 (0>KC1< OCTO((7 113 KOЛЬПс!

С j) (131(O:5(C P I I O Р сl С Н О Л 0 ж С Н Н ()1(I I (0 С Г 0 0 К () У >Кности по((оро! Яыми ры (Ill ((ми-д ржатслямн.

3. Установка но и. (, oT.ãè÷à(oòèÿñÿ тем, Ч1 О, C ЦЕ;Пз!О 3P сl(ЦСНИЯ КоптаКТНО! О 5, CTPОIIства, на Kop((5,c0 последнего c)10}(TI(pован волновой редуктор, содержащий генератор волн, зубчатую шестершо и гибкш! элемент. г ф ф

Рc÷äи гор 3. !Пибасва

3:.и;га ЗЖ1, 17 113;и Л 1111! ТИ1га ж !!)г! Под!и!сиос

Ц111!И11И &очигсги ио,гсиага .аог!рс сиии и огары ии и!,ii !. ивы Мииил р: ï C:С(:(о ! эиси>с< ии

Тииогриф, и, .р С.игисггови, "

С3(Ill llI H г!. 1!рива ,рс" дори(or;;

1,оррскы ры Г. Сапуиова и Н. Прокуравова

Вакуумная установка для нанесения покрытий Вакуумная установка для нанесения покрытий Вакуумная установка для нанесения покрытий Вакуумная установка для нанесения покрытий 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области общего машиностроения, в частности к способам формообразования листовых пружин

Изобретение относится к химико-термической обработке жаропрочных сплавов и может быть использовано в машиностроении

Изобретение относится к области нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме
Наверх