Способ прецизионного травления печатных схем

 

354008

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистицеских

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 14.I V.1971 (№ 1650078/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 09.Х,1972. Бюллетень № 30

Дата опубликования описания 17.XI.1972

М. Кл, С 23Ь 3/00

Комитет оо аелам изобретений и открытий

llpH Совете Министров

СССР

УДК 621.794.44(088.8) Автор изобретения

В. Я. Мере

Заявитель

СПОСОБ ПРЕЦИЗИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЕЧАТНЫХ СХЕМ

Предмет изобрете ни я

Изобретение относится к способам производства печатных плат, Известный способ прецизионного травления печатных схем, заключающийся в том, что пробельные участки схемы удаляют химической обработкой, например, в растворе хлорного железа, не обеспечивает постоянной скорости травления, позволяющей осуществлять управление процессом.

Предлагаемый способ не имеет этого недостатка и отличается от известного тем, что предварительно перед проведением химической обработки пробельные участки схемы подвергают электрохимической обработке в травильном растворе на основе фосфорной кислоты.

В растворе, состоящем из чистой концентрированной фосфорной кислоты (уд. вес 1,7) или с добавкой н-бутилового спирта 20—

200 мл/л, удаляется электролитическим способом основное количество меди. Скорость растворения меди, например, при напряжении 6 в постоянная (1,6 мкм/мин) и не зависит от срока использования раствора. Состав раствора в течение процесса не меняется, медь в виде ионов накапливается в растворе только до 12 г/л, остальное количество меди выделяется на катодах в виде металлической меди, откуда она время от времени отделяется. Предлагаемый электрохимический травильный раствор требует только дополнения объема ввиду уноса электролита. Раствор не оказывает разрушающего воздействия на за5 щитную пленку эмульсии или фоторезиста, используемую в качестве маски в процессе травления. Травление заканчивают химически в известных растворах хлорного железа (уд. вес 1,3 — 1,4) в течение 1 мин. Сокращение

10 времени химического травления позволяет вести процесс под визуальным наблюдением, вовремя заканчивать его и избегать тем самым подтравливания проводников, а также сэкономить химикаты для травления и соби15 рать вытравленную медь.

Способ прецизионного травления печатных

20 схем, заключающийся в том, что пробельные участки схемы удаляют химической обработкой, например, в растворе хлорного железа, отличаюшийся тем, что, с целью обеспечения постоянной скорости травления, позволяющей

25 осуществлять управление процессом, предварительно перед проведением химической обработки пробельные участки схемы подвергают электрохимической обработке в травильном растворе на основе фосфорной кислоты.