Источник ионов

 

ОП ИСАЙИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 05.Х1.1970 (№ 1489777/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 16.Х.1972. Бюллетень ¹ 31

Дата опубликования описания 15.1.1973

М. Кл. С 23с 13/08

Н 01 3/38

Н Olj 37/08

Комитет по делаы изобретений и открытий ори Совете твинистрое

СССР

УДК 537.534.2(088,8)

621.793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения Б. Г. Беккер, В. Ф. Заболотнов, Ю. В. Заумыслов и Ю. Н. Храбров

Заявитель

ИСТОЧНИК ИОНОВ

Предмет изобретения

Изобретенеие относится к аппаратуре для ионного напыления, а также к ускорительной технике.

В известном источнике ионов, содержащем спиральный накальный катод и соосно расположенный с ним цилиндрический анод, плотность ионов в разряде мала.

Предлагаемый источник позволяет увеличить плотность ионов в разряде за счет того, что анод расположен внутри спирали катода.

На чертеже представлен предлагаемый источник, ионов, содержащий цилиндрический анод 1, спиральный накальный катод 2, вакуумную оболочку 8. Анод расположен внутри спирали катода. Ток накала катода поддерживает температуру катода 2,на определенном уровне и одновременно создает магнитное поле, требуемое для увеличения плотности ионов в плазме разряда между катодом и ано5 дом.

10 Источник ионов напылительной установки, содержащий спиральный накальный катод и расположенный соосно ему цилиндрический анод, отличаюш,ийся тем, что, с целью увеличения плотности ионов в разряде, анод распо15 ложен внутри спирали катода.

Редактор T. Орловская

Составитель Н. Соловьев

Техред Л. Богданова

Корректор О. Тюрина

Заказ 4245/10 Изд. ¹ 1815 Тираж 406 Подписное

ПНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова. 2

Источник ионов Источник ионов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области микроэлектроники

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в машиностроении и станкостроительной промышленности

Изобретение относится к вакуумной ионно-плазменной технике, предназначенной для нанесения покрытий при их одновременном облучении ускоренными ионами и используемой для модификации поверхностей материалов и изделий в машино- и приборостроении, в инструментальном производстве и других областях

Изобретение относится к области нанесения покрытия и может быть использовано для нанесения покрытий на режущий инструмент с помощью электрической дуги в вакууме в атмосфере химически активных газов

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при упрочнении коленчатых валов двигателей внутреннего сгорания
Изобретение относится к способу нанесения многослойного покрытия на режущий инструмент и может быть использовано в различных отраслях машиностроения при металлообработке
Изобретение относится к способу нанесения многослойного покрытия на режущий инструмент и может быть использовано в различных отраслях машиностроения при металлообработке

Изобретение относится к области нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме

Изобретение относится к вакуумно- электродуговому устройству для нанесения высококачественных покрытий и может быть использовано в машиностроении, инструментальной, электронной, оптической и других отраслях промышленности для модификации поверхностей материалов
Наверх