Интерферометр для контроля качества вогнутых цилиндрических поверхностей
Союз Советски>
Са((иалистическиз
Реслталиь
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬт."ТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹
М. Кл. Ci Olb 9/ 02
Заявлено 29.V. l 970 (№ 445255/26-25) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Нов(итет по велаи изааретеиий и открытий ари Савете Министров
GGG1
Ъ ДК 535.854 (088.8) Опубликовано 16.Х,1972. Б10ллетен? ¹ 31
Дятя опубликования описания 16,Х1.1(172
Авторы изобретения
И. И, Духопел и T. В. Симоненко
Заявитель
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ВОГНУТЫХ
ЦИЛ И НДРИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ
Изобретение относится к оптическим контрольно-измерительным приборам н может быть использовано для контроля качества вогнутых цилиндрических поверхностей оптических деталей на предприятиях оптической промышленности.
Известные интерферометры для контроля цилиндрических поверхностей позволяют проводить измерения и небольшом диа!!азоне радиусов кривизны проверяемых поверхностей.
Для ?Ix работы требуется образцовая цилиндрическая поверхность.
Особенностью предложенного ннтсрфсромстра является ограничение разделе!ных зрачков интерферометра с помощью узки.; (дифракционных1 щелей, которые снижают влияние аберраций интерференционной системы. В результате становится возможным использовать в качестве образцовой поверхности плоскость невысокого качества и контролировать на одном приборе цилиндрн !сские поверхности любых радиусов кривизны.
Предложенный пнтерферометр показан на чертеже.
Интерферометр содержит газовый лазер 1, I(oHJlcIIcop 2, «на(1ря! а(у 8, 3cpt(3 lo 4, об.hc((TIlв колли,, атора 5, цилиндрическую линзу б, кубик 7 с полупрозрачной диагональной гранью, цилиндричсску!о линзу 8, плоскую зеркяльноотражающую поверхность 9, проверяемую деталь 10, цилиндрическую линзу 11, объектив коллиматора 12, Выходящий нз объектива коллиматора 5 параллельный пучок ?!яправляетс5! на цилнндри:ескую линзу б, с помощью которой ня гран?гх а и б кубика 7 собирается в прямыс ли5 нии, параллельные образующим цилиндрических поверхностей линзы 8 и проверяемой детали 10 El расположенныс, соотвстстве!!!!О, в фокальной плоскости линзь! 8 !1 1!лоскости центров кривизны проверяемой поверхности.
10 Пя гранях ((н б на!(есс!!ы tept(aatt ttt tc нол з(ки, в середине которых прорезаны узкие прозрачныс !цели (см. внд но стрелке Л). Щель на гра!ш 6 совмещена с фокальной tltlttttc11 линзы б и пропуска T к поверхности нроверяс15 мой детали тольку ту часть пучка, которая
«ифрчгировала на щели. После отра t(c»»5I (?г детали 10 пучок направляется в интерфсрометр мимо зеркальной полоски, IIII(oé хо« пучка обеспечивается соответствуюн?и t смс20 щенисм детали 10 в плоскости чертежа. Рсферентный пучок проходит к линзе 8 мимо зеркальной полоски, нанесенной на грянь и.
Б обратном направлении он пропускается !срез щель, (To достигается соответству!ОщнAI
25 наклоном поверхност!! 9. 15 мест(5 .!Сталей 8 и 9 мож T быть установлено воп(утое цнлн!!д1111 !Ссt(()с зсpкало, лl!!!115I ц(нтp()в кp?!в?!3!1ьl которо! О ряс положсн(1 в илоскост!! рян11, а OTpa>I(eltt!I tc от поверхности 9 и «стали 10
30 пучки соединяются на светодслительной грани кубика и ?!н?ерфернруют между собой. Перемещениями и наклонами детали 10 добиваются получения полос, параллельных или перпендикулярных образующей цилиндрической поверхности. По их непрямолинсйностн судят
«качсствс проверяемой дсгалн. !(а н ство больши»ства деталей схемы, в том числе и поверхности 9, не оказывают "-аметного влияния на точность контроля.
Предмет изобретения
Интерферометр для контроля качества вогнутых цилиндрических поверх»1остей ог тичсских деталей, содержащий оптические узлы для форк|ирования рабочей и референтно11 волн цилиндрической формы и 11аблюдсния !
»ITI. ðôåðåI»Ièîííoé картины, отличающийся тем, что, с целью обеспсче ня абсо»o.!11«!о метода контр«л» качества цилиндрических новсрхностс и н расширения диапазона измерений, в фокальной плоскости цилиндрической линзы осветительного узла и за светодслительным устройством установлены две дифракцнонные щели, причем щель в рабочем пучке установлена па пути прямого хода, а в реферснтном — на пути обратного хода лучей.
Составитель Б. Арлов
Редактор Т. Орловская Тсхред Т. Курилко Корректоры: Е. Давыдкина и В. Петрова
Заказ 3688/15 Изд. № 1483 Тираж 406 Подписи ос
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, iK-35, Рауьоская наб., 4/5
Типография, пр. Сапуновы, 2
