Способ регулирования емкости тонкопленочного конденсатора

 

(ОП И САНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

С(овз Советских

Социалистических

Респтблик

За висимое от авт. свидетельства №

Заявлено 07.1Ч.1971 (№ 1651267/26-9) с присоединением заявки,№

Приоритет

Опубликовано ЗI.Х.1972. Бюллетень № 33

Дата опубликования описания 25.1.1973

М. Кл. Н OIg 13/00 .Номитет оо делввт ктзсбретеиий и открытий лри Совете Мииистров

СССР

УДК 621.,396.6-181.5:621..,319.4 (088.8) Авторы изобретения

В П Попов и Е А Бузницкий

Заявитель

Львовский отдел Всесоюзного научно-исследовательского института физико-технических и радиотехнических измерений

СПОСОБ РЕГУЛИРОВАНИЯ ЕМКОСТИ

ТОНКОПЛЕНОЧНОГО КОНДЕНСАТОРА

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных конденсаторов высокой точности.

Известные способы регулировки емкости тонкопленочного конденсатора, основанные на изменении площади одной из его обкладок, имеют низкую точность подгонки емкости конденсатора под номинал и сложную автоматиз а цию процесса подгонки.

По предлагаемому способу повышение точности подгонки емкости конденсатора под номинал и упрощение автоматизации процесса подгонки достигается тем, что на верхнюю обкладку одним из известных методов наносят диэлектрическую пленку, на которой размещают дополнительный плоский электрод, после чего удаляют часть поверхности верхней обкладки путем подачи импульсного напряжения на эту обкладку и дополнительный электрод.

Предлагаемый способ регулировки емкости тонкопленочных конденсаторов заключается в том, что на верхнюю. обкладку изготовленного конденсатора методом опыления или окисления наносят тонкую диэлектрическую пленку.

На эту пленку накладывают внешний плоский электрод, соединенный с одним из выводов-ис- точника импульсного напряжения. Второй вывод упомянутого источника подключают к верхней обкладке регулируемого конденсатора.

С помощью импульсного напряжения производят пробой конденсатора, нижней обклад5 кой которого служит верхняя обкладка регулируемого конденсатора, диэлектриком — напыленная или окисная пленка, нанесенная на эту обкладку, а верхней обкладкой, накладываемой на эту пленку, — дополнительный

10 плоский электрод. При этом происходит уменьшение площади верхней обкладки регулируемого конденсатора за счет кратеров, образовавшихся при пробое.

Выбором толщины диэлектрической пленки, 15 нанесенной на верхнюю обкладку регулируемого конденсатора и параметров импульсного напряжения, достигается удаление частей обкладки диаметром 1 — 10 мк, что дает возможность производить подгонку емкости с вы20 сокой точностью. Изменение величины емкости производится непрерывно в процессе регулировки. При достижении заданной величины емкости процесс регулировки автоматически прекращается.

- П р е д м е т и з. о б р е т е и и я (Способ регулировки. емкости тонкопленочно.го конденсатора, основанный на изменении

30 площади одной из его обкладок, отличающий357607

Составитель А, Тулинов

Редактор А. Батыгин Техред А. Бидонов Корректоры: Л. Кириллова и Л. Новожилова

Зака,з 190/9 Иад. № 1686 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 45

Типография, пр. Сапунова, 2

3 ся тем, что, с целью повышения тОчности подгонки емкости конденсатора под номинал и упрощения автоматизации процесса подгоики, на верхнюю обкладку одним иэ известных методов наносят диэлектрическую пленку, на ко4 торой размещают дополнительный плоский электрод, после чего удаляют часть поверхиоети верхней обкладки путем подачи импульсного напряжения на эту обкладку и до3 полнительный электрод.