Устройство для послойного стравливания
36I4I3
О П И СА Н И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
М. Кл. G 01п 1/32
Н 011, 7/68
Заявлено 26.1V.1971 (№ 1645278/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.79.025 (088.8) Опубликовано 07.X11 1972. Бюллетень № 1 за 1973
Дата опубликования описания 19.1.1973
Авторы изобретения Л, А. Гончаров, Г. И. Шманенкова, Г. И. Александрова и П. А. Леонов
Заявитель Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОСЛОЙНОГО СТРАВЛИВАНИЯ
МАТЕРИАЛА
Для послойного стравлигания материала на поверхность обрабатываемой детали наносят маски. Недостатками такого способа травления являются ограниченность температурного интервала, длительность процесса, неточность получаемого контура. .Изобретение позволяет расширить температурный интервал обработки до температур
200 †3 С, ускорить процесс и обеспечить высокую точность обработки контура за счет выполнения реакционного сосуда в виде стакана без дна, оканчивающегося острой кромкой, упругого прижимаемой к поверхности образца.
Стакан выполнен, например, из полимерного фтороорганического соединения, химически стойкого к агрессивным средам и сохраняющего упругость в широком интервале температур. Профиль стакана задается контуром травления поверхности.
На чертеже показано предложенное устройство.
Устройство состоит из расположенных соосно реакционного сосуда 1 и корпуса 2, предметного столика 8, на котором размещен образец 4, и резиновой подушки 5. Реакционный сосуд имеет профиль, сечение которого в точности соответствует контуру травления.
Нижняя кромка реакционного сосуда скошена так, что в сечении образуется зуб с углом
50 — б0 .
Герметичный прижим реакционного сосуда к образцу осуществляют при ввинчивании сосуда в корпус. Наличие резиновой подушки под предметным столиком позволяет исследовать хрупкие материалы.
Предмет изобретения
1. Устройство для послойного стравливания материала, содержащее реакционный сосуд, отличающееся тем, что, с целью ускорения и
15 повышения точности травления в широком интервале температур, реакционный сосуд выполнен в виде стакана без дна, оканчивающегося острой кромкой, упруго прижимаемой к поверхности обрабатываемого материала, 20 расположенного на предметном столике соосно с реакционным сосудом.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что реакционный сосуд выполнен, например, из полимерного фтороор "анического соедине25 ния, химически стойкого к агрессивным средам и сохраняющего упругость в широком интервале температур.
3@413
Составитель Г. Борисевич
Техред Т. Миронова
Корректор Е. Миронова
Редактор Т. Орловская, Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 4401/15 Изд.. № 26. Тираж 404 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
