Устройство для подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов

Авторы патента:

Ю. Д. Чист ков, Л. А. Ермолаев, А. И. Мочалов, Г. А. Фрлнк , В. А. Демь ненка

H01C17/232 - регулированием температурного коэффициента; доведение величины сопротивления регулированием температурного коэффициента

37I62I

О П И СА Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сыз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 22Л!!.1971 (№ 1638212/24-7) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.11.1973. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 17.IV,.1973

М, Кл. Н 01с 17/ОО

Комитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621 316 849(О88 8) Авторы изобретения

1О. Д. Чистяков, Л, А. Ермолаев, А. И. Мочалов, Г. A. Ф1танк....и В. А. Демьяненкт

Заявитель и

ll i т

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДГОНКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ

ПРЕЦИЗИОННЫХ РЕЗИСТОРОВ

Предмет изобретения

Изобретение относится к технологии микроэлектроники и предназначено для использования при изготовлении тонкопленочных прецизионных резисторов.

Известно использование для подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов лазера, снимающего часть резистивной пленки с резистора.

Применение лазера для подгонки тонкопленочных резисторов имеет следующие недостатки: дискретность изменения сопротивления, сложность в управлении процессом подгонки, низкую точность подгонки, не превышающую

0,1 %, больши е га б а риты.

Целью изобретения является упрощение процесса подгонки резисторов и повышение точности подгонки.

Указанная цель достигается тем, что в качестве устройства для механической подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов применен микротвердомер, например, типа

ПМТ-З.

Микротвердомер представляет собой устройство, состоящее из микроскопа с предметным столиком и механизма нагр ужения алмазного резца.

Предметный столик микротвердомера позволяет закрепить на нем с помощью его npu5 жимов подгоняемый резистор или резистивную схему.

Микроскоп микротвердомера позволяет с помощью микрометрических винтов предметного столика совместить центр окуляра мик10 ротвердомера, центр соприкосновения алм азной иглы и подгоночный участок резистора.

Перемещением предметного столика с помощью микрометрических винтов можно произвести скрабирование подгоночной части ре15 зистора алмазной иглой, обспечивающее точность подгонки не ниже &0,010/0.

Применение микротвердомера, например, типа ПМТ-3, в качестве устройства для механической подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов.

Устройство для подгонки тонкопленочных прецизионных резисторов

Устройство для подгонки величины сопротивления тонкопленочных резисторов // 338923

Патент 162878 // 162878

Способ точной подгонки пленочных резисторов // 382152

// 402073

Узел крепления стекол к металлической оконной раме // 729331

Способ подгонки сопротивления проволочных резисторов // 907591

Способ изготовления резисторов // 1051591

Способ балансировки и температурной компенсации мостовых схем тонкопленочных тензорезисторных датчиков // 1373079

Способ изготовления проволочного измерительного резистора // 2504035

Способ изготовления резистора включает намотку резистивной проволоки на цилиндрический каркас двумя секциями различных типов проволоки, которые электрически соединяют металлическим хомутом. Место их соединения разделяет каркас в отношении, близком по предполагаемому отношению температурных коэффициентов сопротивления (ТКС) материалов проволоки секций, полученных по температурным характеристикам отжига. Осуществляют регулировку характеристики температурной зависимости сопротивления путем сматывания проволоки с каркаса. Выполняют термообработку резистора, добиваясь получения заданных ТКС резистивных секций различного знака, регулируя режим термообработки. Определяют отношение величин ТКС секций и поочередным сматыванием с них проволоки, используя промежуточные измерения сопротивлений секций, обеспечивают выполнение соотношений: R=R1+R2, где α1, α2 - ТКС секций; R1, R2, ρ1, ρ2 - их электрические и удельные сопротивления; n, m - количество витков первой и второй секций; R - полное электрическое сопротивление резистора, - таким образом, чтобы при сматывании сохранять установленную пропорцию витков секций, обеспечивая ТКС резистора равным нулю и доводя его полное сопротивление до номинального значения. Технический результат - достижение низкого абсолютного значения ТСК резистора и высокой точности доводки его сопротивления до номинального значения при упрощении способа изготовления резистора. 3 ил.