Интерферометр для контроля качества оптических
О П И С А Н И Е 3735!9
И ЗОБРЕТЕ Н ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
М.Кл. 6 01b 9, 02
Заявлено 06.1V.1971 (№ 1644726/25-28) с присоединением заявки № ——
Комитет по делам иаабретеиий H открытий ари Совете 1линаатрав
СеС1
Приоритет—
Опубликовано 12.111.1973. Бюллетень № 14
Дата опубликования описания 19Х11.1973
УДК 531.715.1 (088.8) Авторы изобретения
Д. Т. Пуряев и Н. Л. Лазарева
Заявитель
Московское ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени высшее техническое училище им Н. Э. Баумана „
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ОПТИЧЕСКИХ
ДЕТАЛЕЙ
Изобретение относится к области orrrнческоro приборостроения и предназначено для контроля оптических деталей, например, асферических зеркал и линз большого диаметра.
Известен интерферометр для контроля качества оптических деталей, например асфернческих зеркал и линз большого диаметра, содержащий монохроматический источник света, например, оптический квантовый генератор, объектив, создающий точечный источник света, светоделительцый блок в виде плоскопараллельной пластинки, эталонную, рабочую и наблюдательные ветви и компенсатор, установленный в рабочей ветви.
В известном интерферометре эталонный волновой фронт и волновой фронт сравнения создаются с помощью светоделительного элемента — плоскопараллельной пластинки, к которому предъявляются высокие требования к точности его изготовления и установки в интерферометре.
Кроме того, эталонный волновой фронт в известном интерферометре создается с помощью специальной оптической детали — сферического или плоского зеркала, установленного в эталонной ветви.
Нал|ичие высокоча5стотного разделительного элемента и эталонной ветви усложняет конструкцию интерферометра.
Предлагаемый интерферометр отличается от
5 зве<лного reir, что, с цечью x проитения его, компенсятор установлен между ооъективом и контролируемой деталью и выполнен так, что центр кривизны первой вогнутой сферической
5 r.orråpõrroñòè компенсатора совмещен с задним фокусом объектива, и лучи, отраженные от этой поверх55ости, создают эталонный волновой фронт сравнения. я .1учи. пре,чомленные или отражешияе при участии всего компенсаI0 торя в целом — — эталонный волновой фронт заданной формы; кроме того, с целью контроля менисковых положительных линз, компенсятор выполие в виде плосковогнутой линзы, плоская поверхность которой обращена и конгро15 лпруемой линзе.
Ня фиг. 1 изображена принципиальная схема интерферометра; на фиг. 2 — ряоочая пствь пнтерферометра прп контроле менисконых положительных линз.
20 Иптерфсрометр содержит монохроматический источник света 1, например, оптический квантовый генератор, полупрозрач ную пластинку 2, объектив 3, компенсатор 4, экран,);
6 — контролируемая деталь, например, линза
2) большого диаметра.
Рабочая ветвь образована компенсатором 4
r оптролирусмой детальm О, паолюдательная -- экраном 5.
Работает предлагаемый интерферометр сле30 lу5oщHм образом.
373519
Параллельный пучок лучей, идущий из оптического квантового генератора, проходит через полупрозрачную пластинку 2 и направляется к объективу 8, который фокусирует лучи в заднем фокусе F . После объектива 8 рас- 5 положен компенсатор 4, у которого первая поверхность является вогнутой сферической, причем центр кривизны С этой поверхности совмещен с задним фокусом F объектива 8.
Лучи, отраженные от первой поверхности ком- 10 пенсатора, создают эталонный сферический волновой фронт сравнения. Преломленные компенсатором лучи после выхода из него также создают эталонный волновой фронт, форма которого определяется параметрами контро- 15 лируемой детали. Например, для случая, изображенного на фиг. 1, волновой фронт, выходящий из компенсатора, является асферическим, но после преломления на первой поверхности контролируемой линзы б преобразуется 20 в сферический, совпадающий с теоретической формой второй, выпуклой поверхности линзы б. Поэтому после отражения от нее лучи повторяют свой путь в обратном направлении и интерферируют с лучами, отраженными от 25 первой поверхности компеисатора 4. По возникающей интерференционной картине, которую наблюдают при помощи экрана 5, делают заключение о качестве контролируемой детали.
Отличительной особенностью интерферомет-;10 ра является устройство и положение компеисатора, с помощью которого одновременно создаются два эталонных волновых фронта: сферический волновой фронт сравнения и рабочий волновой фронт, форма которого определяется 35 параметрами контролируемой детали.
К полупрозрачной пластинке 2 и объективу 8 не предъявляются высокие требования, так как через них всегда проходят только совмещенные пучки лучей. Поэтому в предлагае- 40 мом интерферометре, в отличие от известных, содержится только одна деталь, к которой предъявляются высокие требования, — — компенсатор .
Интерферометр может быть применен для контроля качества вогнутых асферических поверхностей и линз большого диаметра. На фиг. 2 показано взаимное расположение компенсатора 4 в виде плосковогнутой линзы и менисковой линзы б, диаметр которой в несколько раз превышает диаметр компенсатора 4.
Предлагаемый интерферометр позволяет с помощью компенсатора малого диаметра получить интерференционную картину одновременно всей контролируемой поверхности, а ие отдельных ее участков, что повышает падежIIOCTb И ТОЧНОСТЬ KOHTPOJISI.
Предмет изобретения
1. Интерферометр для контроля качества оптических деталей, например, асферических зеркал и линз большого диаметра, содержащий монохроматический источник света, например, оптический квантовый генератор, обьектив, создающий точечный источник света, рабочую н наблюдательные ветви, и линзовый компенсатор, отличающийся тем, что, с целью упрощения интерферометра, компенсатор установлен между объективом и контролируемой деталью и выполнен так, что центр кривизны первой вогнутой сферической поверхности компенсатора совмещен с задним фокусом обьектива, и лучи, отраженные от этой поверхности, создают эталонный волновой фронт сравнения, а лучи, преломленные пли отраженные при участии всего компенсатора в целом, — — эталонный волновой фронт заданной формы.
2, Интерферометр по и. 1, отличшощийся тем, что, с целью контроля меписковых положительных линз, компенсатор выполнен в виде плосковогнутой линзы, плоская поверхность которой обращена к контролируемой линзе.
373519
Составитель Лобзова
Редактор Н. Перышкова Техред Т. Курилко Корректоры Л. Царькова и Т. Гревцова
Заказ 2527 Изд. № 1278 Тираж 755 Подписное
ЦНИИПИ Комитечва по делам изобрете пй и открытий цри Совете Министров СССР
Москва, 34-35, Раушская няб., д. 4 5
Обч. тип. Костромского управчения издательств, полиграфии и книжной торговли
