Вакуумная установка для нанесения электрофотографических слоев на цилиндрические подложки

 

lg, i a

О П И С А Н "И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 25.VII.1969 (М 1353586/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 20. Ill.1973. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 14.VI,1973

М. Кл. С 23с 13/08

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СОР

УДК 621,793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения

P. К. Биктагиров, В. А. Ислямов, Р. В. Казакова, А. Ф. Коньков, В. Ф. Негодяева, П, М. Подвигалкии, Г. 3. Рейцман, Э. В. Тутова, А. И. Колосов, В. В. Броницкий и Г. Б. Шнейдман

Заявитель

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

ЭЛ ЕКТРОФОТО ГРАФИ ЧЕСКИ Х СЛОЕВ

НА ЦИЛИНДРИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме.

Известна вакуумная установка для нанесения электрофотографических слоев, содержащая вакуумную камеру, внутри которой расположены цилиндрические подложки, нагреватели и испаритель.

Однако в известной установке нерационально использован объем камеры и низка производительность.

Цель изобретения — увеличение производительности работы установки.

Предлагаемое устройство отличается тем, что нагреватели установлены вертикально на вращающихся опорах внутри цилиндрических подложек, а испаритель выполнен из последовательно надетых чашек на трубчатую печь.

На чертеже изображена предлагаемая схема установки.

Она состоит из вакуумной камеры 1, внутри которой расположены цилиндрические подложки 2, нагреватели 8 и испаритель 4.

Цилиндрические подложки 2 установлены на вращающихся опорах б, а испаритель 4 выполнен из последовательно надетых чашек б на трубчатую печь 7 и расположен по оси камеры.

В чашки б загружается испаряемое вещество. Цилиндрические подложки 2, подлежащие напылению, помещаются на вращающиеся опоры б, которые могут радиально перемещаться относительно испарителя 4. Во время напыления все опоры б приводятся в равномерное вращение. Температура цилиндричес10 ких подложек 2 может регулироваться за счет радиационного подогрева нагревателей 8, расположенных неподвижно по оси опор б.

Предмет изобретения

В акуумная установка для нанесения электрофотографических слоев на цилиндрические подложки, содержащая вакуумную камеру, внутри которой расположены цилиндриче20 ские подложки, нагреватели и испаритель, отличающаяся тем, что, с целью увеличения производительности, нагреватели установлены вертикально на вращающихся опорах внутри цилиндрических подложек, а испари25 тель выполнен из последовательно надетых чашек на трубчатую печь.

374387

Редактор Л. Лаврова

Заказ 1663)12

ЦНИИП

Изд. № 415 Тираж 826 П одписное

И Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель 5. Либерман

Техред Л. Грачева

Корректоры: Е. Давыдкина и Н. Луковцева