Способ определения величины газового потока при низких давлениях

 

382931

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республии

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

Заявлено 23. I V.1971 (№ 1645273/18-70) Кз 6 07f 3(22 с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 23.т(.1973. Бюллетень ¹ 23

Дата опубликования описания 13.1Х.1973

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 681.121.8(088.8) Авторы изобретения А. М. Григорьев, E. А. Пеичко, Л. А. Фальковский и А. И. Фурсов

Заявитель

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ ГАЗОВОГО ПОТОКА

ПРИ НИЗКИХ ДАВЛЕНИЯХ

Изобретение относится к ва(куумной технике и может быть использовано при измерении газовых потоков при низких давлениях.

Известный способ из(мерения газового потока, который состоит в том, что поTOK газа перепускают из откачиваемой камеры в камеру постоянного объема, периодически изменяюг с(корость откачки, измеряют давление в камере постоянного объема и по величине переменной составляющей этого давления судят 10 о величине газового лотока, обладает недостаточной точностью и ограниченной областью применения, что связано в основном с тем, что поток газа из от(качиваемой камеры в камеру постоянного ооъема необходимо перепускать через трубопровод малой проводимости (штенгель) .

Цель изобретения — повышение точности определения:велиочины газового потока и расширение области применения.

Для этого по предлагаемому способу поток газа непрерывно:порциями,перепускают через камеру постояннапо объема из лилии источни(ка потока в линию откачки и по известной зависимосги определяют величину газового потака.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства, реализующего предлагаемый способ.

Устройство содержит встраи(ваемую в липию потока камеру 1 постоянного объема, на входе и,выходе которой установ.пены заслонки 2 и 8. Да вление в камере замеряется мапо(метром 4.

Измерение потока производи гся следующим образом.

Заслонки 2 и 8 периодически коммутируют камеру: то к системе с источником газового потока (заслонка 8 перекрывает камеру, заслон(ка 2 не препятствует прохождению газового потока в камеру), то к откачл е (заслонка 2 перекрывает камеру, а заслонка 8 не препягствует откачке газа из камеры).

Если частоту эвакуации газа из камеры обозначить через / (число перепусков газа в секун(ду), то величина газового потока Q оп.ределяе гся выражением:

Q ((Р! Р2) где Ь вЂ” объем камеры 1; р, — отс.гт давления манометром 4 перед открыгием заслонки 8; р2 — отсчет давления манометром 4 перед открытием заслон(ки 2.

Если заслонки 2 и 8 работают нелрерывно с часготой f, то амплитуда, переменного сигнала давлен ия будет указывать на величину газового потока.

Q=U Р f

Предлагаемый способ обеслечивает изме382931 л 7т ау

Составитель О. Полев

Техред Т. Курилко

Корректоры А. Дзесова и Г. Запорожец

1 едактор Т. Иванова

Заказ 435/1277 Изд. № 583 Тира>к 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, K-35, Раушская наб., a. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» рение газового потока,при низких давлениях с высокой точностью, независимо от конструкции,всей ва куумной системы (ее объеиов, проводимостей коммуникаций, оыстроты откачки и т. п.).

Предмет изобретения

Способ определения величины газового потока при низких давлениях, путем измерения переменной составляющей давления в камере постоянного о бъема, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения области применения, поток газа непрерывно порциями перепускают через камеру лостоянного объема из линии источника потогка в линию откач ки и по известной зависимости определяют величину газового погока.