Фотоимпульсный способ контроля геометрии периодических структур

 

О П И С А Н И Е 382939

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 20.1 т1.! 970 (Лй 1430400i26-25) с присоединением заявки ¹â€”

Приоритет—

Опубликовано 23. 1Г.1973. Бюллетень ¹ 23

Дата опубликования описания I З.IX.1973

М. Кл. б ОЦ 3/36

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 535.853(088.8) Авторы изобретения

V

Ю. Н. Биенко, В. Я, Сунка и Б. С. Колосницын

Лаборатория электроники AH Белорусской ССР

Заявитель

ФОТОИМПУЛЬСНЪ|й СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕОМЕТРИИ

ПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР

Изобретение опносится к области из1ме рения неэлектрических величин электричеокими .методами и мо жет быть использовано при хангроле изделий с периодической структурой, образован|ной,множеством чередующихся цветных полос, на пример, в устройствах .цветного телевидения (штриховые эк|р а н ы ц вегных кинескопов со сплошным нанесением трехцветных люминофорных полсс,,полосчатые цветофильтры видиконов и т. п.).

Извесгным фотоэлектричеоким способом контроля невозможно получить .первичную информацию о погрешностях геометрии цветовой полосчатой структуры из-за отсутствия контраста перехода границ цветных . полос.

Предлагаемый способ позволяет определить шHpHiHv элементов конгролируемой структуры, различакхщих ся цветностью с известной последовательностью;повторяющихся цветов. Для этого формируют ступенчатый видеоим пульс, преобразуя световые сигналы в электрические на монотонно изменяющемся участке спектральной хара(ктеристикп фотоприемника с существенно различной чувствительностью к длина м волн чередующихся цветовых полос, а затем определяют длительности сту пеней ви деоимпульса, характеризуюоцих шири ну цветовых полос.

Перемещение (сканирование) контролируемой свруктуры с чередующими|ся цветными полосами огностгтельно фотоприемника вызывает в этом случае ступенчатое изменение его выходного тока.

В длительности полос получаемого ступенчатого электрического сигнала заложена пол ная информация о геометрии структуры.

На фиг. 1 иллюстрируется принцип получения ступенчатого электрического сигнала при контроле цветных полосчатых структур, 1о где 1 — спектральная хараютеристика фотоэлектрического,приемника; 11 — хсн про.тируемая структура; 111 †ступенчат электрический сигнал фотоэлектрического приемника, тде ширина сту пеней (т) пропорциональна ширине цветных полос (К вЂ” красная полоса, 3 — зеленая, С вЂ” синяя).

На фит. 2 изображена блок-схема устройства автоматического контроля геометрии экрана цвегного .кинескопа со сплошным лю20 минофорным покрытием, реализующего цредлатаемый способ.

Устройсгво имеет источни к ультрафиолетового излучения 1, конгролируему1о структуру экрана 2, электромеха ничеокий блок перемещения 8, обbGKtHIB 4 оптического проектора, экран 5 оптического проектора, фотоэлектрический воспринимающий блок б со щелевым шаблоном — диафрагмой, блок 7 формирования импульсов, измерительное и вычислительное устройство 8 и выходное устройство 9.

382939

Источник ультрафиолетового излучения 1, состоявший из ртувно-ива р цевой лампы, увиолевого фильтра и кварцевого конденсора, возбуждает свечение участка люминофорных полос штрихового экрана 2 цветного, кинескопа, перемещаемого с,помощью электромеханического блока 8 перед объеитивом 4 оптического проектора.

У величенное изобра жение светя шихся цветовых полос (крас ного, зеленого и синего цветов), пе ремещаясь по экрану 5 оптического проектора, пересекает щелевые диафрагмы фотовоспринимающего блока б, вызывая ступенчатое изменение анодных токов фотоэлектрических приемников.

Предмет изобретения

Фотоим пульсный способ контроля геометрии периодических структур, основанный на оканиравании изображения структуры относителнно щелевых диафрагм с фотоприе1мниками, преобразовании световых сигналов

5 в электрические с последующей их обработ,кой время-им пульсньгм методом, отличающийся тем, что, с целью Определения ширины элементов контролируемой структуры, различающихся ц вепностью с известной последователь10 постыл повторяющихся цветов, фор миру ют ступенчатый видеоимпульс, преобразуя свето,вые сигналы в электрические на монотонно изменяющемся участке спектральной харакTQlpHIcTHKH фотоприемника с существенно разI5 личной чувствительностью к длинам волн чередующихся цветовых полос, а затем определяют длительности ступеней видеоим|пульса, характеризующих шири ну цветовых полос.