Устройство для измерения удельного сопротивления
О П И С А- It" И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
387303
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 24.Ч1.1971 (№ 1673944/18-10) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 21Х1.1973. Бюллетень № 27
Дата опубликования описания 16.Х.1973
М. Кл. G 01г 27 /02
Государственный комитет
Совета Министров СССР оо делам иэооретений и открытий
УДК 621.317.73 (088.8) Авторы изобретения
В. А. Коновалов, Л. Н. Костинский, А, Д. Шалупова, Б. И. Котенев и В. П. Ширин
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО
СОПРОТИВЛЕНИЯ
Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть применено при производстве и контроле полупроводниковых электронных приборов.
Известно устройство для измерения удель.ного сопротивления методом четырех контактов, состоящее из изолирующего корпуса с направляющими втулками из рубина или сапфира и четырехпружинных контактов, которые одновременно являются зондами, Однако в известном устройстве расстояния между зондами колеблются из-за боковых усилий, возникающих при работе устройства, так как закрепление пружины одностороннее.
Для повышения точности и надежности в в предлагаемом устройстве на свободных концах зондов выполнены шлицевые прорези, через которые пропущены токопроводящие пружины.
На чертеже изображено предлагаемое устройство для измерения удельного сопротивления.
Устройство состоит из,изолирующего корпуса 1, зондов 2, токопроводящих пружин 8, проходящих через шлицевой паз зондов, и токосъемных пластин 4, на которые опираются токопроводящие пружины.
Устройство работает следующим образом.
При пропускании устройства вниз зонды 2 соприкасаются с полупроводниковым материалом и изгибают токопроводящие пружины 3.
В зависимости от величины хода устройства
5 меняется усилие на концах зондов 2.
При работе пружины 8 проскальзывают относительно кромок токосъемных пластин 4, что снимает боковые усилия на зондах 2 и способствует сохранению расстояний между ними.
10 Наличие шлица предохраняет зонд от проворота во время работы устройства. Это исключает колебания расстояния между концами зондов из-за,нецентричного положения острия зонда относительно его наружного диаметра.
Предмет изобретения
Устройство для измерения удельного сопро20 тивления, в котором перпендикулярно к корпусу размещены зонды, а по краям корпуса— токосъемные пластины, на которые опираются токопроводящие пружины, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и на25 дежности устройства, на свободных концах зондов выполнены шлицевые прорези, через которые пропущены токопроводящие пружины.
Редактор Т. Иванова
Составитель В. Степанов
Техред Т. Курилко
Коррскторы: А. Васильева и Е. Михеева
Заказ 2766/11 Изд. № 714 Тираж 755 Подписное
Ц11ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобре гений и открытий
Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4)5
Типография, пр. Сапунова, 2