Двухлучевой интерферометр для контроля качества поверхностей оптических деталей и аберраций

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 22.Х11.1971 (№ 1727961/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 29Л 111.1973. Бюллетень ¹ 36

Дата опубликования описания 15.1.1974

М. Кл. G 01Ь 9/02

ГасудаРатаенкык камитР

G0BBTB 111,1:1истрае СССР

JIII делам изееретекий и аткаа1тий

УДК 531.715.1(088.8) Автор изобретения

1О. П. Контиевский

Заявитель

ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА

ПОВЕРХНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ И АБЕРРАЦИЙ

ОБЪЕКТИВОВ

Изобретение относится к об:!асти контрол:-но-измерительной техники и мо>кет быть icпользовано, в частности, для контроля полированных поверхностей в оптическом производстве, а также для контроля аоерраций объ- 5 ективов и других оптических систем.

Известен двухлучевой интерферометр, например интерферометр Цендера-Маха, содержащий осветительное и наблюдательное устройства и систему из плоских зеркал и свето- 10 делителей, имеющую две ветви.

Предлагаемый пнтерферометр отличается от известного тем, что с целью повьп11е ия точности контроля он снабжен оборачивающей системой, например, в виде трех плоских зер- 15 кал, установленной в одной пз ветвей с возмон(постыл IroeopoTB Относите Iьнo Опт!гчсс! Оп оси пнтерферометра.

В предлагаемом иптерферометре отступления поверхности от заданной формы, облада- О

Iощие осевой симметрией, не вызывают искривления наблюдаемых в по Ic зрения интерферометра полос равной толщины, в то время как В известных интерферометрах местные ошибки наблюдаются на фоне общи:(, допуск 25 на которые, как правило, в 5 — 10 раз больше, чем допуск на местные ошибки. Это приводи . к тому, что местные ошибки не могут быть;13мерены с достаточно высокой точностью. В предлагаемом интерферомстрс наблюдаются чо только местные ошибки. Общие ошибки не вызывают искривления IIолос раз!ой толщины и, следовательно,:1с ограничивают точности измерения местных ошибок.

На чертеже приведе!а схема iipeдтагаемого интерферометра I.IH cIó÷eÿ контроля плоских поверхностей.

Иптерферометр содержит осветительное устройство, вкл1очаю1цсе IicTQ нш(1 изл ченпя, конденсор 2 и диафрагму 3; объектив 4, в фокальной плоскости которого находится диафрагма 3; систему пз свстодслптелей 6, 6» зеркал 7, 8; оборачпвающую систему пз трех плоских зеркал 9, 10 и 11, выполненнуlo поворотной относ;!тельно оптической оси 0 — О1 интерфсрометра. 1(BpTIIII!I IIIITeрферепцпп двух пучков, отражеп:ых от контролируемой поверхности 12, рассматривается наблюдательным устройством (цапример, глазом), помещенным за диафрагмой 18, расположенной в фокальной плоскости обьектпва 11. Одна пз ветвей в пнтсрферометре образована светодс- лителем 5, зеркалом 7 и светоделптелем 6, а другая -- светодслптслем 5, зеркалом Ь и светоделптслем 6.

Контроль вогнутых сфер!1ческпх позер: ностей осуществляется оез объективов 4 и И.

Контролируемая поверхност. уста! .авлпвается таким образом, ITQ изображение центра сферы сов!!адает с диафрагмами 3 и 18.

396543

Предмет изобретения б—

Составитель Лобзова

Редактор О. Юркова

Корректор Л. Орлова

Техред Т. Курилко

Заказ 3684j6 Изд. № 1912 Тираж 755 Поди <си

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я(-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

При контроле аберраций проверяемый объектив устанавливается между светоделителем о и поверхностью 12, которой может служить, например, эталонное плоское зеркало.

Контроль местных ошибок поверхностей и аберраций объективов с помощью предлагаемого интерферрометра осуществляется по величине искривления полос равной толщины.

Поворот оборачивающей системы относительно оси Π— Oi разворачивает один из интерферирующих пучков, падающих на контролируемую поверхность. Таким образом, интерферирующие пучки развернуты один относительно другого на угол, вдвое больший угла между главным сечением оборачивающей системы и

4 плоскостью, проходящей через оптические оси осветительного и наблюдательного устройств.

Двухлучевой интерферометр для контроля качества поверхностей оптических деталей и аберраций объективов, содержащий осветительное и наблюдательное устройства и систе10 му из плоских зеркал и светоделителей, имеющую две ветви, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен оборачивающей системой, например, в виде трех плоских зеркал, установленной в од15 ной из ветвей с возможностью поворота относительно оптической оси нтерферометра.