Паста для металлизации керамики
О П И С А Н И Е 399490
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социвлистических
Респу пик
Зависимое от авт. свидетельства М—
Заявлено 27.XI I.1971 (№ 1730134/29-33) М. Кл. С 04Ь 41/14 с присоединением заявки М
Гасударственный камитет
Савета Министрав СССР
il8 делам изаеретений и аткрытий
Приоритет
Ойубликовано 03.Х.1973. Бюллетень М 39
Дата опубликования описания 15.11.1974
УДК 666.3.056.5 (088,8) Авторы изобретения
В. Ф. Попов, В. И. Преснов и Е. А. Лиоренцевич
Заявитель
ПАСТА ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ КЕРАМИКИ
53 — 58
33 — 35
7 — 12
МпО
SiOg
А1еО; и, кроме того, г1еОо
0,5 — 1
Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронной промышленности для изготовления вакуумноплотных спаев с металлом алюмооксидной керамики и монокристаллического сапфира.
Известны пасты, применяемые дл 1 мста1лпзации керамики с малым содержанием стеклофазы или монокристаллического сапфира, совсем пе содержащего стеклофазы. Эти пасты изготовлены на основе тугоплавкого металла, например, молибдена и марганцевого стекла, содержащего окислы марганца, кремния и алюминия в различных соотношениях.
Однако нестабильность адгезионных свойств вследствие большой вязкости стеклофазы и недостаточная прочность получаемы. спаев не позволяют широко использовать известные пасты.
Цель изобретения — получить прочный вакуумплотный спай.
Достигается это тем, что стекло, вводимое в пасту, содержит указанные компоненты, вес. о/о.
Наилучшими соотношениями компонентов пасты при этом являются следующие, об.
Металл (молибден) 60 — 62
Стекло 38 — 40
Введение двуокиси гадолшп|я, активирующей добавки, приводит к образованию в металлизирующем слое комплексного окисла при взаимодействии двуокиси гадолиния с окислами алюминия и марг311Ll3. Комплексный окисел обладает большой энергетической прочностью, что способствуе упрочнению спая металла с керамикой.
Предложенпьш состав пасты для металлизации позволяет использовать обычные технологические процессы при варке стекла, при металлизации керамики и при изготовлении спая металла с керамикой. При этом вжигание пасты в керамику при металлизации возможно проводить в атмосфере как влажного формиргаза, так и сухого водорода. Кроме того, температура вжигания не превышает
1400 С. 3аметаллизированные с помощью стекломолибденовой пасты керамические и сапфировые детали после пайки их в металлокерампческие узлы выдерживают без потери вакуумной плотности 80 — 100 термоциклов в режиме 20" С вЂ”: 600=С вЂ”: 20 С при длительности цикла 20 мин.
399490
Предмет изобретения содержит указанные компо53 — 58
7 — 12
33 — 35
0,5 — 1
Составитель Г. Полуэктова
Техред T. Ускова
Редактор С. Ежкова
Корректор Е. Хмелева
Заказ 275/20 Изд. № 61 Тираж 576 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Паста для металлизации керамики, включающая тугоплавкий металл, например, Мо и
MnO — A12O> — SION стекло, отличающаяся тем, что, с целью получения прочного вакуумплотного спая, стекло ненты, вес. /о.
МпО
А120з
5 ЯОз и, кроме того, з 2ОЗ