Фотоэлектрический способ измерения толщины пластин из прозрачного л1атериала

 

ОБНИЩАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

СОюз СОыятскиат

Стоциалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 16.VI.1971 (№ 1672045 25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано ОЗ.Х.1973. Бюллетень № 39

И. Кл. G 01b 11/06

Государстоеннь и комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий т

УДК 531.715.2 (088.8) Дата опубликования описания 24.II.1974

Авторы изобретения

Заявитель

А А, Бялик и C. И. Кадлец

Киевский филиал Всесоюзного научно-исследовательского „=.:,:.,:,;, и прас«тно-«0«c«pó«òîpñêîãо ныстт тута по анто«тати«анни предприятий промышленности строительных материалов

ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ TOJlЩИНЫ

ПЛАСТИН йЗ и РОЗРАЧ НОГО МАТЕРИАЛА

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к области бесконтактного измерения толщины пластин из прозрачного материала, например толщины листового стекла.

Известен фотоэлектрический способ измерения толщины пластин из прозрачного материала, например листового стекла, заключающийся в том, что на пластину направляют луч света наклонно к ее поверхности и определяют временной интервал, пропорциональный смещению луча, вызванному его преломлением.

Луч моделируют поперечными смещениями непрозрачного стержня, пространственный сдвиг теневых проекций которого с помощью фотоэлемента преобразуют в сдвину|ыс по времени сигналы, по разности которых и судят о толщине пластины.

Известный способ, основанный на использовании комплекса оптических явлений «отражение — преломление — отражение — преломление», практически не пригоден для технологического контроля толщины пластины, так как непараллельность (клиновидность пластины) приводит к снижению точности за счет нарушения параллельности отраженных от обеих поверхностей световых потоков.

Предлагаемьш способ отличается те", что, с целью повышения точности измерения, производят непрерывное сканирование луча в одной плоскости. Толщину определяют по скорости прохождения луча между точками, расположенными в поле сканирования прошед5 шего через пластину светового луча, которая обратно пропорциональна величине временного пнтервала.

На чертеже изображена схема измерения

10 толщины листового стекла.

Она содержит источник 1 света, блок 2 сканирования, объектив 3, фотоприемники 4 и 5, цифровой блок б, высокостабильный генератор 7, счетчик 8, цифровое табло 9, пзмеряе15 мую пластину 10.

Предлагаемый способ осуществляют следу«опшм образом.

Световой луч от источника 1 света попадает в блок 2 сканирования, который псремс20 щает луч в фокальной плоскости обьектива 3 так, что выходящий пз объектива 3 луч непрерывно сканирует и, преломляясь в стекле пластины 10, попадает поочередно на фотоприемники 4 и 5, установленные по разные

25 стороны от оптической оси объектива па равном удалении от пее. Импульсы напряжения. возникающие при этом на фотоприемниках ч п 5, поступают в цифровой блок б измерения времени, которьш определяет интервал вре30 менп между импульсами.

399723

4 г(р е -1 з! (! T! 3 0 0 р с т е !I и .7

Составители A. Лобзова

Тсхрсл Л. Богданова

Корректоры A. Николаева и Л. Корогод

I сдактор Л. Народная

Заказ 222!8 Изд. № 42 Тираж 755

Ц11ИИПИ Государстве:.ного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-85, Раугпская пао., д. 4 5

Типография, пр. Сапунова, 2

Измерение временного интервал I 17 блоке

6 осуществляют путем счета I!iIпульсов высскостабильпого генератора 7. зюпуcI когорого пр01!звод!! т 1! !17 льсо;! и апряже1!ия с фотоприемп1!ка 5, а выклю !01!ис — импу льсом с 5 фотоприемника 4. Счетчик 8 caII7aeг количеСТВО ИМПУЛЬСОВ И ПО ОКОНЧаНИИ CeIÅò7 ВЫДает сигнал на цифровое табло 9, которое осугцсствляет индикацию результата измерения в единицах толщины. 10

При изменении толщины стекла /1, I. IïðIIмер при увеличении ее на величину Л/2, скорость прохождения луча света между фотоприемниками уменьшается и, следовательно, увеличивается временной интервал между из1- 15 пульсами напряжения с фотоприемников. Этот време!Гной интервал, пропорциональны!7 новой толщине стекла, регистрируется цифровым бло-,îì 6 измерения времени.

Фотоэлектрический способ п3мсрепп;! -.О.",1цпцы I!7àeIè!I нз прозра-111010 матерна Iа. 1!апример листового с7екла, заклю !а:о1цийся в том, что на пластину направляют луч све!а наклонно к ее поверхности и измеря!от временной интервал, пропорциональный е. IåùeI1810 луча. вызваHIIoму ег() преломлением, ох.!и !аю!иийс.! тем, что, с целью повышегп!я точности измерения, производят непрерывное сканирование луча в одной плоск<>сти. à 017. ределсние толщины производят по скорости прохождения луча между точками, расположенными в поле сканирования про:IIe7111eI о через пластину светового луча, которая обратно IIpoIIopLIHoIIHëhIIà величине времен.ol"î интервала.

Фотоэлектрический способ измерения толщины пластин из прозрачного л1атериала Фотоэлектрический способ измерения толщины пластин из прозрачного л1атериала 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости
Наверх