Способ получения легированных бором слоев

 

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ БОРОМ СЛОЕВ, например, двуокиси кремния, осаждением их на подложку из газовой фазы с добавкой соединения бора, отличающийся тем, что, с цепью обеспечения безопасности процесса и повьнпения воспроизводимости параметров получаемых слоевf 'в качестве соединения бора используют карбонаты общей формулы В^С^Н^^^и их производные, например, изопропилкарборан B,gC,jH|g.

00IO3 СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

А (. Юф С 30 В 31/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЬ(ТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 1670148/23-26, 1678236/23-26

t 22) 09.06.71 (46) 30.03.86. Бюл. У 12 (72) А.В.Бакун, Ю.П.Докучаев, К.И;Лапидус, Ю.В.Московский, К.М.Скворцов, Н.П.Базаров и Б.Г.Анохин (53) 621.315.592(088.8) (54) (57) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕ1ИРОВАНHbIX БОРОМ СЛОЕВ, например, двуокиси кремния, осаждением их на подложку из газовой фазы с добавкой соединения бора, отличающийся тем, что, с целью обеспечения безопасности процесса и повьипения воспроизводимости параметров получаемых слоев, в качестве соединения бора используют карбонаты общей формулы В„С Н„,„и их производные, например, изопропилкарборан В< С, Н 8.

Техред И.Верес

Корректор И. Эрдейи

Редактор Л.Письман

Подписное

Заказ 1627/4 Тираж 349

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035» Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул. Проектная, 4

Известен способ получения легированных бором слоев, например, двуокиси кремния, осаждением их на под ложку из газовой фазы с добавкой соединения бора.

Концентрация легирующего вещества в окисле контролируется относительными концентрациями легирующего вещества и вещества, содержащего полупроводниковый материал, в частности кремния, в газовой фазе.

Однако, известный способ связан .с использованием взрывоопасного и. высокотоксичного диборана. Разбавление диборана аргоном приводит к нестабильности смеси во времени изза разложения диборана, что существенно влияет на воспроизводимость результатов °

Цель изобретения — обеспечение безопасности процесса и повышение воспроизводимости параметров получаемых слоев.

403241 2

Для этого по предложенному способу в качестве соединения бора используют карбораны общей формулой

B„C H„,„ è их производные, например изоп рохнлкарборан В, С Н®.

Использование карборановых соединений в качестве легирукщих веществ позволяет повысить воспроизводимость процесса легирования слоев, 10 а также получать слои с низким содержанием бора, что затруднено при использовании других методов.

Пример. Для получения диффузионных слоев глубиной от 0,2-3 мкм д с поверхностной концентрацией от

2 10 -5.10 ат/см используют изо.пропилкарборан СД В, жидкость с темпе.

:ратурой кипения (при 760 мм рт.ст.)

287 С, упругостью насыщенного пара

;р при 25 и 20 С соответственно 10 и

10 мм рт.ст. В результате достигнута воспроизводимость результатов от процесса к процессу -3X, разброс по подложке не превышает «+ 10X,